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평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁,김경남,염근영,Lim, J.H.,Kim, K.N.,Yeom, G.Y. 한국진공학회 2006 Applied Science and Convergence Technology Vol.15 No.3
본 연구에서는 대면적 플라즈마 공정에 적용 가능한 고밀도 플라즈마를 발생시키기 위하여 기존의 내장형 serpentine-type 안테나와 새롭게 고안된 내장형 유도결합형 multiple U-Type 안테나를 1020mm X 920mm(기판 880 X 660mm)의 챔버에서 연구하였다. 내장형 유도결합형 multiple U-type을 적용한 플라즈마는 serpentine-type과 비교하여 더 높은 플라즈마 밀도, 높은 radical 밀도, 좋은 균일도를 관찰할 수 있었다. 이는 serpentine-type의 경우와 비교하여 보다 적은 정상파 효과와 높은 유도결합에 기인한다. 내장형 유도결합형 multiple U-type 안테나의 적용으로 $2\times10^{11}/cm^3$의 높은 플라즈마 밀도를 얻을 수 있었고 5000W의 입력전압과 Ar 가스 15mTorr 공정압력조건에서 4%의 균일도를 관찰할 수 있었다. In this study, the characteristics of large area internal linear ICP sources of 1020mm X 920mm(substrate area is 880 X 660mm) were investigated using two different types of antenna, that is, a conventional serpentine-type antenna and a newly developed multiple U-type antenna. The multiple antenna showed a higher plasma density, a higher radical density, and more plasma stability compared to the serpentine-type antenna, and it appeared from the higher inductively coupling and less standing wave effect compared to the serpentine-type antenna. Using the multiple U-type antenna, the plasma density of $2\times10^{11}/cm^3$ with the plasma uniformity of 4% could be obtained using 15mTorr Ar and 5000W of RF power.
업무영향분석이 국가기반시설 보호계획에서의 필수 요인 연구
임종혁,박용진,정종수 한국재난정보학회 2019 한국재난정보학회 학술대회 Vol.2019 No.09
2019년 국가기반시설보호계획 지침에는 첫째 보호목표와 범위설정이고, 두 번째가 위험평가 마지막으로 위험관리전략 수 립으로 진행하도록 하고 있다. 가장 중요한 업무영향분석을 포함하고 있지 않아서 자원과 전략을 위한 기본 정보를 수집 하지 못하는 구성이다. 따라서 본 연구에서는 이를 보완하기 위하여 각 분야별 공통기능 분류, 보호대상 분류체계 세분화 및 대상별 중요도, 시설분류체계 및 유형의 정량적 보호목표 도출을 위한 계산식, 위험요인 식별을 위한 절차 및 방법 순서로 계획을 수립 하였다. 연구를 통하여 분야별 국가기반시설보호계획개선 방안을 제시하여 국가기반시설의 기능연속성계획을 수립하여 지속 적인 관리의 고도화를 위한 토대를 마련하고자 한다.
임종혁,송정은,이문규 한국차세대컴퓨팅학회 2014 한국차세대컴퓨팅학회 논문지 Vol.10 No.2
클라우드 컴퓨팅, 모바일 스마트 기기, 소셜 네트워크 등 새로운 컴퓨팅 환경과 서비스들이 등장함에 따라 데이터 유출 및 손실, 클라우드 서버의 서비스 장애 등 많은 문제가 대두되고 있다. 특히 외부 클라우드 서버에 데이터를 저장하고 계산하는 경우에 프라이버시 문제가 발생할 수 있는데, 동형 암호는 이런 문제를 해결하기 위한 기술 중 하나로 제시되었다. 본 논문에서는 Coron 등이 Crypto 2011에 제시한 부분 동형 암호화 방법의 암호화 연산을 가 속화하는 기법을 소개한다. 실험 및 분석 결과, 제안 기법에 의해 암호화 연산의 속도가 8.21배까지 향상되는 것을 확인할 수 있었다. 또한, 각 연산의 수행 시간을 측정하여 평균, 분산, 행렬곱셈의 동형 계산 시간을 분석한 결과 성 능이 현저히 향상되는 것을 확인하였다.