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나노압입시험에서의 접촉형상 보정을 통한 유연소자 박막의 탄성특성 평가
김원준,황경석,김주영,김영천,Kim, Won Jun,Hwang, Gyeong-Seok,Kim, Ju-Young,Kim, Young-Cheon 한국마이크로전자및패키징학회 2020 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.27 No.3
최근 스마트폰 산업의 발전으로 인하여 실사용 환경에서 유연소자의 기계적 거동에 대한 연구가 많이 이루어지고 있다. 유연소자 박막은 두께가 나노 단위이고, 기존의 시험법으로 측정하기 어려워 주로 나노압입시험을 이용하여 경도, 탄성계수 등의 특성을 구하고 있다. 그러나 현재 널리 쓰이고 있는 분석법(Oliver-Pharr Method)은 기판의 영향이 이론적으로 고려되지 않아 단순히 적용하기에는 무리가 있다. 따라서 본 연구에서는 기판 영향을 고려한 타 연구자들의 모델에 대한 적용성을 확인하고, 압입자와 시편 표면에서 발생하는 소성쌓임 현상(pile-up)에 대해 압입깊이의 보정을 실시하였다. 유연소자 박막의 탄성계수를 평가하고 검증하기 위하여 폴리이미드 및 실리콘 웨이퍼 기판 위에 금속, 비정질 박막을 증착하여 실제 실험을 수행하여 비교하였다. The evolution of smartphones has led to numerous researches in the mechanical behavior of flexible devices. Due to the nano-size of the thin flexible film, nanoindentation is widely used to evaluate its mechanical behaviors, such as elastic modulus, and hardness. However, the commonly used Oliver-Pharr method is not suited for analyzing the indentation force-depth curves of hard films on soft substrates, as the effects of soft substrate is not considered theoretically. In this study, the elastic modulus of the thin film was evaluated with references to other reported models which include the substrate effect, and with calibration of the indentation depth for the pile-ups between the indenter and test surface. We fabricated test samples by deposition of amorphous metal film on polyimide and silicon wafers for verification of modified models.
김원준 영남퇴계학연구원 2017 퇴계학논집 Vol.- No.20
This study set out to collect and arrange Yulgok's reading methods scattered around the compendiums and investigate how his reading theory expanded through the roles and benefits of Gyeokchi(格致). As a reading method theory, Gyeokchi has different roles according to the variations of readers and the outcomes of reading trouble. Focusing on those aspects, the study shed light on how he expanded Gyeokchi as a reading method theory and thus achieved its results. In a discussion process, the investigator divided the utility of Gyeokchi in his reading method theory into two: the first was the application of Gyeokchi according to the objects. Yulgok was characteristic for applying the approach of Gyeokchi as a method theory fit for the levels of readers. The second was Gyeokchi as a way to overcome the reading trouble. He called wrong reading methods reading trouble, identified four major causes of reading trouble, and applied Gyeokchi as a solution. Those findings suggest that Yulgok provided a basis for the expansion of reading method theory through the utility of Gyeokchi. 본 연구는 《栗谷全書》에 산재한 독서론을 수집·정리하여 독서 방법론에 있어 격치의 역할과 공효를 통해 율곡 독서론이 어떻게 확장되어 나가는지 고찰한 것이다. 독서방법론으로서의 격치는 독서자의 편차에 따라 또는 독서 병통이 빚은 결과에 따라 역할을 달리한다. 이 점에 주안을 두어 격치를 독서방법론으로 어떻게 확장했는지를 율곡을 통해 밝힌 것이 본 연구의 성과라 할 수 있다. 논의는 율곡 독서방법론에 있어 격치의 효용을 크게 둘로 나누어 전개했다. 첫째, 대상에 따른 격치의 적용이다. 율곡의 격치 방법은 독서자에 따라 수준별 눈높이에 맞는 방법론을 제시했다. 聖學과 擊蒙이란 상이한 독자층뿐만 아니라 교유에 따른 개인 및 공적 글의 대상을 고려하여 적용 방법에 따라 격치의 효용성을 다르게 나타나고 있다. 둘째, 독서 병통 극복으로서 격치이다. 율곡은 그릇된 독서 방법을 일러 독서 병통이라고 하고 크게 4가지 병통의 원인을 제시한 후 그 해결 방안으로 격치를 적용했다. 눈으로 책만 보는 병통1의 극복을 위해 글 속에 켜켜이 숨어 있는 참 뜻을 격치를 통한 독서 방법론을 제시했다. 욕심이 빚은 그릇된 독서인 병통2는 자기의 역량에 맞는 깊고 정밀하며 완미하는 격치의 독서 방법론을 통해 극복할 수 있다. 실천에 이르지 못하는 독서인 병통3은 격물을 통한 치지의 독서가 체득에서 실천으로 나갈 때 극복된다. 고원하게 보거나 기이한 것에 현혹되는 병통4를 극복하기 위해서는 한 단락의 내용을 자신과 일체화하는 격치의 독서 방법이 필요하다. 이상으로 격치의 효용성을 통해 율곡 독서방법론 확장의 일단을 제시했다.