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서유석,박대규,정철모,김상범,손평근,이승진,김한민,양홍선,박진원,Seo, Yu-Seok,Park, Dae-Gyu,Jeong, Cheol-Mo,Kim, Sang-Beom,Son, Pyeong-Geun,Lee, Seung-Jin,Kim, Han-Min,Yang, Hong-Seon,Park, Jin-Won 한국재료학회 2001 한국재료학회지 Vol.11 No.6
통계적 방법을 사용하여 스퍼터 증착한 Ta 박막의 증착속도, 비저항, 면저항 균일도, 반사도, 응력 등의 물성을 측정하고 분석하였다. RS/1의 표면 반응 분석법에 의해 독립변수와 종속변수간의 함수관계를 예측하였으며. 이때 비저항과 면저항의 균일도 측면에서 최적조건은 증착 압력 2 mTorr, 증착 전력 8 W/$\textrm{cm}^2$ 및 기판온도 $20^{\circ}C$였다. 실험 모텔의 신뢰성 (fitness)은 풀링(pooling)하지 않은 경우 0.85 ~0.9의 값을 얻었다. 본 조건하에서 증착된 박막은 비저항 180$\mu$$\Omega$cm와 면저항 균일도 ~ 2%의 값을 가졌다. 투과전자 현미경과 X선 회절법을 이용하여 분석한 결과 증착된 박막은 100~200 정도의 결정립 크기를 갖는 $\beta$-Ta 임을 확인하였다. We report the characteristics and the dependence of sputter-deposited Ta films on the process parameters. The properties of as-deposited Ta films such as deposition rate, resistivity, Rs uniformity, reflectivity, and stress were investigated and analyzed as a function of process parameter using a statistical experimental method. The functional relationships between the independent and dependent variables were predicted by surface response. The optimal deposition condition of DC magnetron sputtered Ta films was obtained at the chamber pressure of 2 mTorr, power density of 8 W/$\textrm{cm}^2$, and substrate temperature of 2$0^{\circ}C$ by means of resistivity and Rs uniformity. The fitness value for quadratic model as evaluated by the R- square was 0.85~ 0.9 without pooling. The as-deposited Ta films exhibited the resistivity of ~180$\mu$$\Omega$cm with Rs uniformity of ~2%. The transmission electron microscopy and x-ray diffractometry identified that the phase of as-deposited film was $\beta$-Ta having the grain size of 100~200.
서유석 건국대학교 인문학연구원 2019 통일인문학 Vol.78 No.-
This paper firstly introduces the theory of reunification movement based on civic engagement proposed by Baik Nak-Cheong and LEE Nam-Ju ten years ago and secondly tries to reconsider it in various ways from the perspective of today. The reunification movement based on civic engagement is on the one side a movement trying to overcome the limits of the past and existing official unification policy and on the other side a movement trying to realize the values of civil society(human rights, ecology, environment, peace, economic justice, minorities, gender etc.). Conclusion of this paper is as follows : we have to find out and practice a desirable model of reunification and it should be definitely the one based on civic engagement. 이 글은 10여 년 전에 백낙청과 이남주가 주창한 시민참여형 통일운동론을 소개하고 특히 오늘날과 같은 남북미 관계의 경색국면에서 왜 다시 우리가 시민참여형 통일운동론에 주목해야 하는지를 여러 측면에서 밝힌 글이다. 시민참여형 통일운동론은 top-down 방식의 관(官)주도 대북정책이 갖는 한계를 극복하면서, 한편으로는 시민과 함께하는 아래로부터의(bottom-up) 운동이고 다른 한편으로는 시민운동의 가치(인권, 생태, 환경, 평화, 경제정의, 소수자, 여성 등)를 구현하는 통일운동이다. 이런 운동은 경색국면의 물꼬를 트는 정도의 소극적 의미가 아니라 바람직한 통일과정을 모색할 때 본질적으로 고민해야 하는 운동이다.