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- 저자 : 김경석 (검색결과 1,244 건)
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Ti 함량 변화에 따른 X선 노광 마스크용 W-Ti 흡수체의 물성 연구
김경석,이규한,임승택,이승윤,안진호,Kim, Gyeong-Seok,Lee, Gyu-Han,Im, Seung-Taek,Lee, Seung-Yun,An, Jin-Ho 한국재료학회 2000 한국재료학회지 Vol.10 No.3
W-Ti film properties for X-ray absorber applications have been investigated with Ti composition have been investigated with Ti composition variation. W-Ti films were deposited by DC magnetron sputtering system. As the working pressure increases, film density decreases and film stress changes from compressive to tensile. The transition pressure (where the film stress in zero) and the stress gradient decrease by adding Ti into W-Ti(6.5 at.%) film shows the smallest stress gradient and transition pressure. It also shows high density ($17.7g/\textrm{cm}^3$) similar to that of pure-W ($17.8g/\textrm{cm}^3$) at the transition pressure. All the films show columnar structure, and its size decreases with increasing Ti composition. Surface roughness and thermal stability are improved by Ti-addition, resulting in a better property for X-ray absorber applications.
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Micromachining을 이용한 초소형 자왜 센서 제작공정 연구
김경석,고중규,임승택,박성영,이승윤,안진호 한국마이크로전자및패키징학회 1999 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.6 No.1
The fabrication process for miniaturizing the Electronic Article Surveillance (EAS) sensor was studied using micromachining technique. Two types of sensor structure, free standing membrane type and diving beard type, were proposed and researched for establishing the fabrication process. The membrane type structure was easy to change the sensor shape but had the limitation for miniaturizing, because the size of the sensor depends on the silicon substrate thickness. The diving board type structure has the advantage of miniaturization and of free motion. Since the elastic modulus is not trio high, SiN film is expected to be adequate for the supporting membrane of magnetic sensor. The selectivity of $H_2O_2$for sputtered W with respect to Fe-B-Si, which was studded for magnetic sensor materials, was high enough to be removed after using as a protection layer. Therefore, the diving board type process using the silicon nitride film for the supporter of the sensor material and the sputtered W for protection layer is expected to be useful fur miniaturizing the Electronic Article Surveillance (EAS) sensor.
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최소 부피 광음향 셀의 광음향 신호 재현성 향상에 관한 연구
김경석,이규승,안홍규,이응장,김대규,박승한,Kim, Kyong-Seok,Lee, Kew-Seung,Ahn, Hong-Gyu,Lee, Eung-Jang,Kim, Dae-Kyu,Park, Seung-Han 한국광학회 2011 한국광학회지 Vol.22 No.2
광음향 분광학 연구에 빈번히 사용되는 최소 부피 개방형 광음향 셀을 이용하여 광음향 신호를 측정할 경우 최소 부피 광음향셀의 밀폐상태는 광음향 신호의 재현성에 큰 영향을 미친다. 따라서 본 논문에서는 최소 부피 광음향 셀의 밀폐 효율을 높일 수 있는 고무오링 밀폐재를 적용한 구조를 설계하고 제작한 후, 제작한 구조체를 이용하여 다양한 재질의 고무 오링에 대한 광음향 신호를 주파수 별로 측정하고 분석하였다. 실험 결과 진공 그리스를 이용하여 광음향 셀을 밀폐하는 기존의 방식과 비교했을 때, 실리콘 고무 오링을 밀폐재로 사용하는 경우 광음향 신호의 진폭과 위상의 재현성이 각각 최대 53.4%와 80.4%까지 향상될 수 있음을 알 수 있었다.
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