SF6/CF4 혼합가스의 절연파괴 및 코로나 특성

박신우 인하대학교 일반대학원 2008 국내석사

SF_(6) possesses many advantages as a dielectric gas, lead to wide range of application in the field of high voltage insulation. It is used primarily as a dielectric in electrical transmission and distribution systems, specifically as an insulator for gas insulation line, gas circuit breakers and gas switch gear. But SF_(6) is highly contributing to the global warming compared with CO₂, the GWP (global warming potential) of SF_(6) is 23,900 compared to a value of 1 for CO₂. Many investigations about SF_(6)/buffer gas such as CO₂, Dry-air, and N₂ have been studied to replace the pure SF_(6). Gaseous fluorocarbons possess many advantages such as non-flammable, non-toxic, low temperature of liquefaction and high dielectric strength. And CF₄ has lower GWP among the PFCs and has a much lower critical temperature and much higher critical pressure than other PFCs. In this study, we carry out experiments on breakdown and corona characteristics of SF_(6)/CF₄ mixtures under uniform and non-uniform field by changing the mixture ratio and gas pressure of SF_(6)/CF₄ mixtures. The total pressure of the SF_(6)/CF₄ mixtures was varied within the range of 0.1-0.5 MPa in the test chamber. In uniform field, breakdown voltage of SF_(6)/CF₄ mixed gas was increased slightly when pressure of SF_(6)/CF₄ mixtures and content of SF_(6) was increased under AC. But high increasement of breakdown voltage is observed with SF_(6) content ranging from 0 to 20 percent at all pressure of SF_(6)/CF₄ mixtures under impulse, showed nearly same breakdown voltage from 20 to 80 percent of SF_(6)/CF₄ mixtures. In non-uniform field, breakdown voltage of SF_(6)/CF₄ mixed gas in slightly increase when pressure of SF_(6)/CF₄ mixtures and content of SF_(6) was increased under impulse voltage, however some pressure, breakdown voltage in high pressure were decreased than it of lower pressure under AC. Corona inception voltage was high in content of 100% SF_(6) in case of low pressure 0.13MPa, but corona inception voltage was high in content of SF_(6) 80%/ CF₄ 20% over 0.13MPa. The phase of PD pulse was in 90° and 270°. SF_(6)가스는 여러 고전압 절연분야에서 절연가스로서 매우 좋은 특성을 가지고 있어 가스절연선로, 가스절연차단기나 가스절연스위치와 같이 송전 및 배전시스템에 많이 사용된다. 그러나 SF_(6)가스는 CO₂가스와 비교하였을 때 CO₂의 온난화지수를 기준으로 SF_(6)가스는 23900배로 지구온난화에 크게 기여한다. 그래서 SF_(6)가스를 대체하기 위한 연구는 SF_(6)가스와 CO₂, Dry-Air, N₂와 같은 버퍼가스와의 혼합가스에 대한 연구가 진행되어오고 있다. CF₄가스는 불화성, 무독성, 높은 절연내력을 갖는 등 전기적 특성이 우수한 물질이다. 이 가스는 PFC계열가스중에서 가장 낮은 지구온난화지수를 가지고 있으며 매우 높은 압력과 낮은 온도에서 액화점을 가지고 있다. 본 연구에서는 이 CF₄ gas를 버퍼가스로 사용하기 위하여 SF_(6)/CF₄혼합가스를 평등 및 불평등전계에서 SF_(6)가스의 함량 및 혼합가스의 압력을 변경하며 절연파괴특성 과 코로나 특성에 관한 실험을 수행하였다. 실험용 챔버에서 전체 혼합가스의 압력은 0.1-0.5MPa까지 변화시켰다. 평등전계에서 AC전압 인가시 혼합가스의 압력과 혼합가스에서 SF_(6)가스의 함량이 높을수록 절연파괴전압은 서서히 증가하였다. 그러나 임펄스 전압 인가시 0-20% 혼합가스에서는 큰 절연파괴전압의 상승되었으나 20-80%혼합가스에서는 거의 비슷한 절연파괴전압을 보여주었다. 불평등전계에서는 임펄스전압 인가시 SF_(6)가스의 혼합비율이 높을수록 절연파괴전압은 조금씩 높아졌지만 AC전압 인가시 0.2 및 0.5MPa 압력에서는 낮은 압력의 절연파괴전압보다 높은 압력의 절연파괴전압이 더 낮았다. 코로나 개시전압은 0.13MPa이하에서는 100% SF_(6)일 때가 가장 높았으며 0.13MPa 이상일 때는 80% SF_(6)/ 20% CF₄가스일 때가 가장 높았다. 불평등전계에서 코로나는 주로 90° 와 270° 위상에서 많이 발생하였다.

異種매질 중 압력변화에 따른 고체유전체의 沿面絶緣性 評價

이상호 영남대학교 대학원 2010 국내박사

산업사회의 발달과 더불어 신뢰성 높은 양질의 전기에너지의 운전 및 유지보수의 간편화, 계통 운용의 신뢰성, 안전성 확보가 절실히 요구되고 있다. 따라서 절연특성이 매우 우수한 SF6 Gas를 절연재료로 사용하는 전력기기의 사용이 증가되고 있다. 또, 현대사회가 첨단과학의 이기를 갈망하고 있으므로 현재보다 더 많은 전기 에너지를 필요로 하고 있다. 동시에 도시의 공간을 활용하는 효율적인 면에서 전력기기들의 소형화 및 고 신뢰화가 시도되고 있다. SF6 Gas를 적용하는 전력설비는 공급범위가 확대되면서, SF6 Gas가 온실가스를 배출하는 물질로 지정되어 점차 그 사용을 줄이거나 금지해야 하는 실정이다. 그래서 SF6 Gas를 대체할 친환경적인 절연매체의 개발이 절실히 요구되고 있는 현실이다. 이에 본 연구는 모의 GIS 내에서 혼합가스의 압력 및 갭 변화에 따른 전원별 연면절연특성을 究明하였다. 그리고 배전급과 송전급 전력설비에 적용하기 위하여 혼합가스와 SF6 Gas의 연면절연특성을 비교 평가하였다. 또한, 본 논문은 절연가스 내의 불평등전계하에서 연구한 고체절연물의 기본적인 연면방전특성에 대하여서도 기술한다. 모의 GIS 내에서 SF6 Gas와 친환경 가스인 N2/O2 혼합가스를 동일한 조건에서 실험하였다. 실험을 통하여 연면파괴전압에 대해서도 연구한 결과 가스의 압력이 증가함에 따라 매질효과에 의해서 연면절연파괴전압과 전계강도가 증가하는 경향을 보였다. 고체의 두께에 대한 연면절연파괴전압의 증가율에 대해서도 연구한 결과 연면절연파괴전압에 영향을 주는 것으로 밝혀졌다. With the improvement of industrial society, the high quality electrical energy, simplification of operation and maintenance, ensuring reliability and safety are being required. As a result, a power facility using high pressure SF6 gas excellent in insulation characteristics, is increasing and being established and operated domestically and internationally. Also, we request urgently change a SF6 for an environment friendly gas insulation material. In this paper the experiments of surface flashover characteristics by pressure and gap change of N2/O2 mixture gas in model GIS(Gas Insulated Switchgear) were described. And assess of surface flashover characteristics about N2/O2 mixture gas and SF6. Also, this paper describes the fundamental surface flashover characteristics of solid dielectric under non-uniform field in insulation dielectric gases. SF6 as conventional gas in Gas Insulated Switchgear(GIS) and environmentally friendly gases; N2/O2 mixture gas are used in the same experimental conditions. Surface flashover voltage is found out and sorted. These results are getting higher as increasing the gas pressure according to the medium effect. By researching the increasing rates of surface flashover voltage as following the solid dielectric thickness, it reveals that the thickness also affects the surface flashover voltage.

SF6-N₂ 혼합기체 중에서 아크 차단 특성에 관한 연구

김홍락 조선대학교 2000 국내석사

This study analyzes and investigates the characteristics for the breakdown process and the economic practical possibility of SF_(6) gas mixtures(mixed air with nitrogen and excellent in insulating resistance as an insulating materials of electric power system) by voltage and current to operate switchgear of electric equipments and breakers in the air insulation switchgear. SO, the SF_(6)-air and SF_(6)-N_(2) gas mixtures are usable in the breaker of very high voltage electric power system as basic insulating materials.

전력설비에서의 SF6회수 및 재활용 CDM방법론 개발

표정관 세종대학교 대학원 2012 국내석사

교토의정서(Kyoto Protocol) 12조에 규정되어 온실가스 감축목표를 달성하는데 기여하고 있는 청정개발체제(CDM; Clean Development Mechanism)사업은 지금 현재도 전 세계 여러나라가 다양한 사업을 등록하고 배출권을 확보함으로서 지속적으로 증가하고 있다. 하지만 사업 초기 적은 비용으로 다량의 배출권을 확보하는 산업가스를 이용한 사업은 CDM사업의 본래 취지를 역행하고 EU로부터 거래 금지 규제를 받기에 이르러 과거에 비해 배출권으로 확보하기가 여러모로 어려워졌다. 전력설비의 SF6 배출저감을 통한 CDM방법론 AM0035(Approved Methodology 0035. Ver1.0)를 적용한 사업은 CDM 집행위원회(EB; Executive Board) 41차 회의 결과에 따라 SF6의 운영상태 및 과정, 불확도를 포함한 베이스라인, 프로젝트 배출량 산정에 주요 매개변수의 직접 모니터링을 명확하게 입증해야 한다. 본 연구를 통하여 유지보수 시 회수율, 폐기․교체 전․후 가스순도, 재처리(Reclamation) 전․후 SF6 손실률, 회수설비 및 재처리 설비의 전력사용량에 의한 배출량, 운반 시 발생되는 기타 배출량의 다양한 모니터링 결과를 보수적으로 고려하였다. 기존 방법론(AM0035)와 본 연구결과에 의한 개정사항을 반영한 방법론을 적용하여 현재 우리나라에서 등록 완료한 CDM사업을 대상으로 전국 14개 지역의 베이스라인 배출량과 프로젝트 배출량을 각각 산정하였다. 그 결과 기존 방법론보다 베이스라인 배출량의 감소와 프로젝트 배출량의 증가되어 저감량이 감소하는 것을 확인하였다.

저농도 SF6 가스 분리 및 회수를 위한 하이브리드 시스템(흡착-분리막) 연구

박아름이 한양대학교 2015 국내석사

지구온난화의 주된 원인으로는 이산화탄소, 메탄, 산화질소, 수불화탄소류, 과불화탄소류, 육불화황으로 6대 온실가스가 주목되고 있으며, 지구 온난화로 인해 기후변화에 대응하여 국제적으로 온실가스 감축이 요구되고 있다. 특히 반도체 및 디스플레이 산업에서 에칭 및 세정가스로 사용되는 SF6가스는 지구온난화에 대한 영향 지수(GWP)가 23,600으로 매우 높아 배출 감축기술의 개발이 필요하다. 특히 반도체 및 디스플레이 산업에서 배출되는 SF6의 가스는 높은 유량과 희박 농도로 배출되며, 효율적인 처리 및 재이용을 위해 SF6의 분리 및 회수 기술이 요구되고 있다. 본 연구에서는 반도체 및 디스플레이 산업에서 배출되는 저농도 SF6 폐가스의 효율적인 분리 및 회수를 위하여 기존 분리막 위주의 SF6를 회수하는 방법을 보완하고, 기존 설치된 제조공정과의 부하를 최소화할 수 있는 감압방식의 분리막 공정과 VSA방식의 흡착공정을 연계한 하이브리드 공정을 연구하고자 하였다. 폴리설폰을 기반으로 한 중공사 분리막을 이용한 분리막 공정은 공급 압력에 따라 SF6의 농축 및 회수특성을 측정한 결과 낮은 압력에서 높은 회수특성을 갖는 것을 확인하였으며, 구형활성탄을 이용한 흡착공정은 경쟁 평형 흡착식에 따라 분압에 의한 흡착 및 탈착이 진행됨을 파과곡선을 통해 확인하였다. 분리막과 흡착공정을 연계한 하이브리드 공정은 기존 분리막 위주의 시리즈 모델 M에 흡착공정을 연계한 공정으로 약 2000ppm의 SF6 가스가 포함된 SF6/N2 혼합가스로부터 90% 회수성능을 가질 수 있도록 최적화하였다. 분리막이 시리즈로 연결된 분리막을 cascade로 연결된 모델 MR로부터 흡착공정이 연계된 하이브리드 공정인 MRAR은 기존 분리막 위주의 시리즈 모델 M에 대비하여 약 20배 농축 성능을 갖는 것을 확인하였다.

친환경절연가스 중의 연면방전특성에 관한 연구

이정환 영남대학교 대학원 2010 국내석사

본 논문은 SF6용 GIS를 대체할 친환경가스절연개폐장치(EGIS)의 절연매질 중 질소(N2) 및 산소(O2)의 혼합비에 따른 테플론 수지에서의 연면방전특성을 구명하여 SF6가스의 특성과 비교하였다. 이에 본 논문은 모의 GIS내 질소(N2)와 산소(O2)의 체적혼합비율이 각각 100[%]:0[%]인 (N2), 80[%]:20[%]인 (I-Air), 60[%]:40[%]인 (M-AirⅠ) 및 40[%]:60[%]인 (M-AirⅡ)의 압력 및 갭 변화에 따른 연면방전특성을 구명하였다. 그 결과 Knife-Knife형 전극 하에서 절연내력은 SF6 > I-Air > M-AirⅠ > M-AirⅡ > N2의 순으로 평가되었다. 친환경가스 중 가장 절연내력이 좋은 I-Air와 SF6 가스의 절연내력을 비교한 결과 연면절연파괴전압 및 연면방전전계강도가 SF6의 약 50%로 평가되었다. 또한, 본 논문은 I-Air의 절연특성을 평가함으로서 각종 전력응용 설비의 절연설계에 SF6 대신 친환경가스의 대체가능성을 평가하였다. This paper presents the Surface Discharge characteristic at the Teflon resin according to the mixture gas of the nitrogen (N2) and oxygen (O2) in which it includes in insulator of the Environment-Friendly Gas Insulated Switchgear (EGIS) in order to replace SF6 the use of GIS and it compared with the characteristic of the SF6 gas. Also this paper studied the Surface Discharge characteristic at the volume mixture ratio of the nitrogen (N2) and oxygen (O2), as 100[%]:0[%] (N2), 80[%]:20[%] (I-Air), 60[%]:40[%] (M-AirⅠ) and 40[%]:60[%] (M-AirⅡ) according to the gas pressure and gap change in the experimental GIS. As a result, the dielectric strength under the Knife-Knife electrode was evaluated as SF6 > I-Air > M-AirⅠ > M-AirⅡ > N2. The Surface Discharge voltage and Surface Discharge electric field intensity were evaluated about 50% of SF6 as a result of comparing the insulation strength of the I-Air in which the dielectric strength is the best among the environment-friendly gas. Moreover, the insulation property of the I-Air was evaluated, this paper evaluated the interchange possibility of the environment-friendly gas at the insulation design of all kinds of power application facility instead of SF6.

SF6의 가수분해와 산화분해를 위한 γ-Al2O3의 촉매적 활성 조사

이선화 영남대학교 대학원 2010 국내석사

SF6, which has a high global warming potential, can be decomposed to sulfur and fluorine compounds through hydrolysis by H2O or oxidation by O2 over solid acid catalysts. In this study γ-Al2O3 was employed as the solid acid catalyst for the abatement of SF6 and its catalytic activity was investigated with respect to the reaction temperature and the space velocity. The catalytic activity for SF6 decomposition by the hydrolysis reached the maximum at and above 700 ℃ with the space velocity of 20,000 ml/g-cat•h, exhibiting the conversion very close to 100%. When the space velocity was lower than 45,000 ml/g-cat•h, the conversion was maintained at the maximum value. On the other hand, the conversion of SF6 by the oxidation was about 20% under the same conditions. The SEM and XRD analyses revealed that the γ-Al2O3 was transformed to a-Al2O3 during the hydrolysis and to AlF3 during the oxidation, respectively. The size of AlF3 after the oxidation was over 20 ㎛, and its catalytic activity was low due to the low surface area. Therefore, it was concluded that the hydrolysis over γ-Al2O3 was much more favorable than the oxidation for the catalytic decomposition of SF6.

온도변화에 따른 SF6의 방전 및 방사전자파 특성

박경태 영남대학교 대학원 2003 국내석사

고압의 SF_6 가스로 절연된 GIS는 여러 장소에서 건설, 운전중이다. 최근에 들어서, GIS 내부에서의 일어날 수 있는 사고를 미연에 방지하기 위해서 PD를 감소하여 최적의 절연설계에 대해서 연구중이다. 이런 GIS의 경우 극한 또는 혹한지역에서도 사용된다. 그러나 GIS의 절연체로 사용된 SF6가스의 온도 변화에 따른 절연 특성에 관한 연구가 충분하지 않다. 이런 점에서 본 논문에서는 SF_6의 온도변화에 따른 방전 및 방사전자파에 대하여 연구를 하였다. 온도변화에 따른 방전전압특성은 일정 내부압력 유지할 경우 기압과 온도를 변화시켰을 때 각 압력별(2∼5기압)액화가 진행되기 전에는 거의 일정한 절연파괴전압특성을 나타내었다. 각 압력별 액화가 진행될 경우 절연파괴전압이 급격히 증가하였다. 일정 가스량을 유지할 때 온도-압력에 대한 절연파괴전압특성은 각 압력에 따른 SF_6의 액화 진행 전의 단계에서는 온도증가로 인한 압력증가에 의한 절연파괴전압이 약간 상승하는 경향을 나타냈고, 액화가 진행됨에 따라 절연파괴전압은 급격히 상승하였다. SF6의 액화가 더욱더 진행될 경우 갭간의 압력이 급격히 떨어져 절연파괴전압도 급격히 하락하였다. 온도변화에 따른 방사전자파특성은 고온(50[℃]) 및 상온(20[℃])에서 374∼391[MHz]사이에서 높은 전계강도가 측정되어 방사전자파 주파수스펙트럼이 큰 차이를 보이고 있지 않다. 저온의 경우 614∼617[MHz]사이에서 높은 전계강도가 측정되었다. 이 결과들로 볼 때 저온화로 인한 액화 SF_6의 절연파괴전압 및 방사 전자파에 영향을 미치는 것을 확인하였다. GIS(Gas Insulated Switchgear) equipment insulated by the highly pressurized SF_6 gas is building and driving in many areas. In order to prevent electrical accident in GIS, the research is studying about the most suitable insulation design that can reduce an occurrence of PD(partial discharge) as much as possible. In case, GIS is used in some special area such as the tropics or hard cold region, the research is not sufficient about characteristics of insulation and discharge by temperature change of SF_6 gas. For this point of view, this paper study about characteristics of discharge and radiated electromagnetic waves with a variation of temperature in SF_6 In case of keeping the inner pressure with variation of temperature, the characteristics of breakdown voltage was a few difference of breakdown voltage before a liquefaction of each pressure (2∼5[atm]). After starting a liquefaction of each pressure (2∼5[atm]), the breakdown voltage was increased suddenly. In case of a regular gas volume, the characteristics of a breakdown voltage on the temperature-pressure was only SF_6 gas in the imitated GIS and was increased a few breakdown voltage before a liquefaction of each pressure because of increasing the inner pressure. After starting a liquefaction of each pressure, the breakdown voltage was increased suddenly. When liquefaction was progressed growingly, the pressure in imitated GIS was decreased and the breakdown voltage was decreased suddenly. In case of the radiated electromagnetic waves at a high(50[℃]) and normal(20℃] temperature, the maximum spectrum distribution was revealed at 374∼391[MHz]. At low(-20[℃]) temperature, the maximum spectrum distribution was revealed at 614∼617[MHz]. From this result, at low temperature, it is confirm that the breakdown voltage and radiated electromagnetic waves were affected a liquefaction SF_6.

Tween, SDS, LABS 첨가에 따른 SF6 Hydrate 형성속도 및 결정성장의 특성연구

이보람 부산대학교 2008 국내석사

SF6 gas has been widely used for insulating, cleaning and covering gases due to the outstanding insulating feature as well as the inert property. However, the global warming potential of SF6 gas is extremely larger than those of the typical global warming gases such as CO2, CFCs, and CH4. For these reasons, it is necessary to separate and collect the waste SF6 gas. In this study, first of all, SF6 hydrates were produced from the surfactant solutions of 0.00, 0.01, 0.05, 0.15 and 0.20 wt.% additions to investigate the effects of surfactants on the hydrate formation rate. Three surfactants, Tween 20 (Tween), sodium dodecyl sulfate (SDS) and linear alkyl benzene sulfonate(LABS), were tested in a semi-batch stirred vessel at the constant temperature and pressures of 3℃ and 0.78 MPa, respectively. All surfactants showed kinetic promoter behavior for SF6 hydrate formation and the speed of SF6 consumption was rapidly increased with the surfactants addition. It was also found that SF6 in surfactant solution showed two-stage hydrate formation rate with more rapid hydrate formation after the first stage. Moreover, we carried out morphological study for the SF6 hydrate crystals to understand its formation and growth mechanisms. The observations were made in high-pressure optical cell charged with liquid water and SF6 gas at constant pressure and temperature. Initially SF6 hydrate formed at the surface between gas and liquid regions, and then subsequent dendrite crystals grew at the wall above the gas/water interface. The visual observations of crystal nucleation, migration, growth and interference were reported. The detailed growth characteristics of SF6 hydrate crystals were discussed in this study.

SF6가스의 열분해반응 특성 및 회수정제연구

한희준 서울산업대학교 에너지환경대학원 2010 국내석사

SF6은 전기절연성이 우수하여 가스 절연 개폐 장치, 반도체 산업의 클리닝 가스 및 에칭 가스, 마그네슘 산업의 커버 가스로서 폭넓게 이용되고 있다. 그러나 SF6 가스는 적외선 영역의 빛을 잘 흡수하여 지구 지표로부터 방출되는 복사에너지의 외계로의 배출을 방해함으로써 지구 온난화를 유발하는 물질로 알려져 있으며, 지구온난화 계수가 CO2에 비해 23,900배가 크기 때문에 단위 질량당, 지구온난화에 미치는 영향은 매우 크고, 또한 대기 수명이 약 3,200년에 달하여, 교토 의정서에서 지구온난화 방지를 위한 6대 규제 물질에 포함되어 있다. OECD 국가 중 하나인 우리나라도 2012년 까지는, 국내 에서도 SF6가스를 회수, 정제 및 재이용, 고도 무해화 처리 기술을 개발하여 실용화 시킬 필요성 및 더 나아가 의무가 발생될 것이다. 이에 본 연구에서는 SF6 분해 처리 기술개발의 기초 연구로서, SF6의 열 분해 반응을 통한 반응 차수, 율속단계 및 활성화 에너지 등의 기초적인 kinetic 특성에 대하여 조사하였다. 또한 변압장치 등의 절연가스로 사용되는 SF6가스의 재이용을 위한 연구로서, 변압기 내의 SF6 가스의 순간방전 등에 의해 발생되는 HF, H2O의 불순물을 흡착, 제거를 목적으로 다양한 흡착제 및 그 흡착제의 공정 배열 순서의 변화에 따른 불순물 제거 특성을 확인하고, 이 결과를 바탕으로 SF6 회수/정제장치를 제작하여 그 성능 평가를 하는 것을 목적으로 하였다. 관형반응기를 이용한 1400 K부근에서의 SF6열분해 실험을 실시한 결과, SF6 분해 반응속도는 분위기 가스인 He, Ar 모두에서, SF6 농도에 대해서 일차 반응임을 확인하였다. 활성화 에너지는, 분위기 가스로서 He을 사용하였을 경우 354kJ·mol-1, Ar의 경우 371kJ·mol-1이었으며, SF6 분해 반응은 기상반응이 율속단계였다. 흡착제의 공정 배열 순서의 변화에 따른 SF6 가스의 순간방전 등에 의해 발생되는 HF, H2O의 불순물 제거 실험으로부터, NaF는 100% 제거가 불가능하였으며, Ca(OH)2를 사용하였을 경우, 100% 제거되는 결과를 나타내, HF 제거에 더 뛰어난 성능을 보였다. 제올라이트 흡착제에 의한 H2O 제거의 경우, H2O 흡착 공정을 먼저 수행할 경우 HF에 의한 제올라이트의 오염 또는 구조적 파괴에 의해 H2O 제거 효율이 감소하는 결과를 보여, H2O 흡착 공정 이전에 HF 흡착 공정이 선행되어 HF를 제거해 주는 것이 필요함을 알 수 있었다. 본 연구의 결과를 바탕으로 제작된 회수 장치에 대한 성능실험 결과, SF6 가스의 회수가능량은 약 14 kg/hr이었고, 약 98 wt.%의 SF6 가스 회수율의 결과를 보였다. 회수된 SF6 가스의 순도는 98 mol%이상으로 HF 농도는 10 vol.ppm 이하를 나타내, 불순물이나 유해가스가 거의 제거되었음을 보여주었다. 수분농도는 보유 측정기기의 측정한계인 50 vol. ppm 이하를 나타내 수분 또한 거의 제거되었음을 나타냈다. SF6 gas has high electric insulation property and is widely utilized in gas insulated switchgears, purge gas and in the semiconductor industry and etching gas. Although SF6 gas has all of these excellent characteristics, it is known as one of typical substances inducing global warming, which prevents discharging of infrared rays from the surface of the earth to outer space by absorbing infrared light. Moreover life time of SF6 gas is very long. Therefore it is almost not decomposed in nature differently from CO2. Even though emission of SF6 is less than CO2, its impact on global warming is very high since its impact on global warming is 23,900 times stronger than CO2. Accordingly, SF6 is included among six regulated substances for the prevention of global warming in Kyoto Protocol. Korea as one of OECD Countries is required to develop and utilize tre atment technology for recovery, purification and re-use SF6 and making SF6 harmless by 2012 and further obligations for it would be occur. In this study, we investigated for basic kinetic characteristics such as reaction orders, rate-limiting steps and activation energy from pyrolysis of SF6 as a basic research on technology development for decomposing process of SF6. We also suggest purification technology to generate high purity SF6 by identifying removal characteristic of impurities by adsorbent species and adsorbent arrangement order for adsorption removal of HF and H2O generated from instantaneous discharge of SF6.