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다중 시계열 패턴인식을 이용한 반도체 생산장치의 지능형 감시시스템
이중재,권오범,김계영,Lee, Joong-Jae,Kwon, O-Bum,Kim, Gye-Young 한국정보처리학회 2004 정보처리학회논문지D Vol.11 No.3
본 논문에서는 다중 시계열 패턴인식 사용하여 생산장치의 상태자료부터 공정결과를 예측하여 정상 또는 비정상을 판정하는 지능형 감시시스템에 관하여 기술한다. 제안하는 감시스템은 초기화, 학습 그리고 인식의 세 단계로 구성된다. 초기화 단계에서는 감시대상의 생산장치가 가지는 인사들 각각의 가중치와 각 인자들이 가지는 시계열 자료 중에서 학습과 인식에 유효단계를 설정한다. 학습단계에서는 LBG알고리즘을 사용하여 이 생산장치에 의하여 생성되고 수집된 패턴들을 군집화 한다. 각 패턴은 시계열 형태의 자료와 처리 완료 후 계측기에 의하여 측정된 ACI로 구성된다. 인식단계에서는 DTW를 사용하여 실시간으로 입력된 패턴과 군집화된 패턴들 사이의 대응을 수행하여 가장 잘 정합되는 패턴을 찾는다. 다음은 이 패턴이 가지는 ACI, 차 그리고 가중치들의 조합으로 예측된 ACI 값을 산출한다. 최종적으로 예측된 ACI가 정상으로 수용할 수 있는 값 범위에 없는지 여부를 결정한다. 제안하는 시스템의 성능평가를 위하여 식각장치로부터 획득된 자료를 대상으로 실험하였다. 실험결과에서는 학습횟수가 증가함에 따라 예측 ACI값과 실측ACI값 사이의 오차가 현저히 감소함을 볼 수 있다 This paper describes an intelligent real-time monitoring system of a semiconductor processing equipment, which determines normal or not for a wafer in processing, using multiple time-series pattern recognition. The proposed system consists of three phases, initialization, learning and real-time prediction. The initialization phase sets the weights and tile effective steps for all parameters of a monitoring equipment. The learning phase clusters time series patterns, which are producted and fathered for processing wafers by the equipment, using LBG algorithm. Each pattern has an ACI which is measured by a tester at the end of a process The real-time prediction phase corresponds a time series entered by real-time with the clustered patterns using Dynamic Time Warping, and finds the best matched pattern. Then it calculates a predicted ACI from a combination of the ACI, the difference and the weights. Finally it determines Spec in or out for the wafer. The proposed system is tested on the data acquired from etching device. The results show that the error between the estimated ACI and the actual measurement ACI is remarkably reduced according to the number of learning increases.
오정희 소설을 읽는 한 방법론 : 「저녁의 게임」을 중심으로
이중재 동국대학교 국어교육과 1996 동국어문학 Vol.8 No.-
이 글은 이러한 인식을 바탕으로 해서 오정희의 소설은 물론이고 나아가서 복잡한 서술 구조를 가지고 있는 현대 소설 일반을 읽어 내는 하나의 보편적인 방법을 제시하고자 하였다. 그것은 다름아닌 작가의 치밀한 설계에 의해 축조된 복잡미묘한 시간 구조를 꼼꼼히 분석해 내는 일인 것이다. 훌륭한 소설은 독자들에게 자세히 읽기와 일관된 해석을 요구하기 마련이며 또한 훌륭한 독자라면 이와 같은 일련의 수고로움을 기꺼이 감내해야 할 것이다. 이 글은 시종일관 이러한 독자의 입장을 견지하면서 쓰여졌다. 문학 연구가나 비평가는 어떤 문학을 연구하고 평하기 이전에 주어진 텍스트를 꼼꼼히 읽어 보는 순수한 독자로서의 역할을 우선 충실히 수행해 내야 한다는 생각이 앞섰기 때문이다.
이중재 동국대학교 국어교육과 1999 동국어문학 Vol.10-11 No.-
‘그가 죽은 뒤 한국의 현대문학은 반세기나 후퇴했다.’고 김기림이 지적한 이후 오늘에 이르기까지 한국문학사에 있어서 이상만큼 화려한 주목을 받으면서 빈번한 논의의 대상이 된 작가가 또 있을까? 그가 작품활동을 하던 1930년대는 물론이고 그에 관한 논의가 본격적으로 시작된 1950년대부터 지금까지 그에 관한 글들은 끊임없이 쏟아져 나와 현재 200여 편을 훨씬 상회하고 있다. 이러한 글들은 이상에 대한 개인적인 회상 또는 추도문에서부터 심리학. 문학사회학. 정신분석학, 수학 등의 다양한 방법론에 의거한 작가론, 작품론에 이르기까지 그야말로 다채롭다. 게다가 그의 작품 수보다도 훨씬 많은 이러한 글들의 차원을 넘어사 최근에는 ‘이상론에 대한 논의’까지 전개되고 있는 실정이다.