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김우재,방인영,김지환,박연수,온범수,권희태,신기원,권기청 한국진공학회 2021 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.2021 No.2
오늘날, 삼불화질소(NF<SUB>3</SUB>)는 반도체 제조 분야 등의 세정 공정 과정 중 반응성 가스로 사용된다. 이러한 챔버 세정 공정의 경우 NF<SUB>3</SUB>가 챔버 내로 직접 주입된 후 플라즈마를 방전하여 챔버 내부에 증착된 부산물을 제거한다. 본 연구에서는 실리콘(Si)에 용량 결합형 플라즈마 반응성 이온 식각을 수행하며 잔류 가스 분석기(RGA)와 발광 분광 분석법(OES)을 이용해 공정을 모니터링하였다. 동일한 압력에서 RF 전력이 상승함에 따라 SiF<SUB>3</SUB><sup>+</sup>의 양 및 Si의 식각 속도는 증가하였지만, 불소 원자선은 감소하였다. 동일한 RF 전력에서 압력이 높아지면 불소 원자선의 강도, SiF<SUB>3</SUB><sup>+</sup>의 양 및 Si의 식각 속도 모두 증가하였다.
카욘도마틴 ( Kayondo Martin ),방인영 ( In-young Bang ),유준승 ( Jun-seung You ),서지원 ( Ji-won Seo ),백윤흥 ( Yun-heung Paek ) 한국정보처리학회 2021 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.28 No.1
Rust is a promising system programming language that made its debut in 2010. It was developed to address the security problems in C/C++. It features a property called ownership, on which it relies to mitigate memory attacks. For this and its many other features, the language has consistently gained popularity and many companies have begun to seriously consider it for production uses. However, Rust also supports safe and unsafe regions under which the foreign function interface (FFI), used to port to other languages, falls. In the unsafety region, Rust surrenders most of its safety features, allowing programmers to perform operations without check. In this study, we analyze the security issues that arise due to Rust’s safety/unsafety property, especially those introduced by Rust FFI.
가치명료화 수업 모형을 활용한 중등 정보 교과서의 사이버 윤리 단원 수업 지도자 제안
안성관,김나영,민진희,방인영,주민호 한국인터넷윤리학회 2019 The Digital Ethics(디지털 윤리) Vol.3 No.2
In the age of knowledge informatization, we have benefited a lot, but the dysfunctions have occurred. The lack of ethical awareness among teenagers is a typical dysfunction. In order to solve this problem, information ethics education has been strengthened in the information curriculum, but the effect is still insufficient. Therefore, this study proposed a teaching-learning plan for the cyber ethics unit by utilizing the value-clarification model, which is a teaching model effectively used in ethics subjects. For the plan, this study randomly collected six middle school information textbooks to analyze the composition of middle school information textbooks. Next, each of the six steps of the value clarification model instruction process was analyzed in detail. Then, based on the detailed stages, the “Information Ethics – Cyber Ethics” section of middle school information textbooks was compared and analyzed using a binary scale. According to these results, we identified the shortcomings in cyber ethics lessons with information textbooks and focused on them. The teaching and learning plan proposed in this study will enable information teachers to teach information ethics suitable for the composition of textbooks. In addition, students will become subjects of class by doing subjective activities in class, which will be an effective information ethics class. Ultimately, information ethics of adolescents can be effectively cultivated and this can help solve social problems caused by lack of information ethics.
ARM TrustZone 기반 신뢰실행환경의 취약점과 방어기법에 대한 연구
유준승 ( Jun-seung You ),서지원 ( Jiwon Seo ),방인영 ( In-young Bang ),백윤흥 ( Yunheung Paek ) 한국정보처리학회 2020 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.27 No.1
현재 전 세계 수많은 모바일 기기들은 보안에 민감한 애플리케이션들과 운영체제 요소들을 보호하기 위하여 ARM TrustZone 기반 신뢰실행환경 (Trusted Execution Environment) 을 사용한다. 하지만, 신뢰실행환경이 제공하는 높은 보안성에도 불구하고, 이에 대한 성공적인 공격 사례들이 지속적으로 확인되고 있다. 본 논문에서는 이러한 공격들을 가능하게 하는 ARM TrustZone 기반 신뢰실행환경의 취약점들을 소개한다. 이와 더불어 취약점들을 보완하기 위한 다양한 방어 기법 연구에 대해 살펴본다.
플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험
박연수,신기원,김우재,권희태,김지환,온범수,방인영,권기청 한국진공학회 2021 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.2021 No.2
기존의 플라즈마 벌크(Bulk)를 측정하는 탐침형 측정 방식은 공정을 진행 중, 기판 상에서의 플라즈마 진단이 어렵다는 단점이 존재하며 프로브를 플라즈마 내부에 침투하여 측정하는 방식이기에 섭동이 생기는 단점도 존재한다. 본 실험은 여러 조건에서 방전시킨 플라즈마의 상태를 웨이퍼 내에 삽입된 전극 센서를 이용하여 플라즈마 변수 측정을 통해 플라즈마 상태를 확인하였으며 동시에 기존에 사용되는 Plasma Oscillation method probe를 이용한 측정 결과와 비교하였다. ICP(Inductively Coupled Plasma) 플라즈마 소스에 RF Generator(Radio-Frequency, 13.56 MHz)를 이용하여 방전 전력을 변화시키며 실험을 진행하였다.