마이크로프로세서를 이용한 온도제어 장치의 설계

권태하 영남이공대학 1980 論文集 Vol.9 No.-

This paper describes a temperature controller with a microprocessor. Use of the microprocessor offers the following advantages : 1) desired temperature, rising time, and holding time can be automatically controlled by the program ; 2) accuracy and reliability can be improved. How to secure the above advantages is discussed in the paper.

ZnO 압전박막을 이용한 초음파센서의 제작 및 특성

권태하,하강열 경북대학교 센서기술연구소 1991 연차보고서 Vol.1991 No.-

超音波 센서에서는 一般的으로 超音波를 發生시켜 이것을 변환기로 發射하여 目的物에서 散亂되어 돌아오는 超音波를 센서로 受信하는 能動方式이 利用된다. 따라서 한정된 周波數에서 送受信 感度가 높고 安定된 特性을 가진 센서가 좋은 것이다. 그러나 매질을 통해 超音波가 傳達될때 매질내에서의 감쇄는 周波數의 제곱에 비례하는 반면, 分解能은 周波數가 높아지면 向上된다. 그러므로 應用分野에 따라 센서의 周波數는 달라진다. 즉 醫學用이나 일부 産業用에서는 감쇄보다는 分解能이 좋은 1㎒이상이 利用되며, 水中에서의 應用은 分解能보다는 감쇄가 적은 100㎑근처의 超音波가 利用된다. 따라서 이에 따른 壓電材料도차이가 나게된다. 周波數가 낮으면 센서의 두께가 비교적 두꺼워지게 되며, 이때는 PZT자기나 BaTiO_3, 석영 등이 이용된다. 높은 周波數를 利用할 때는 두께가 얇아야하므로 薄膜을 利用하게 되며 이 경우 ZnO 壓電薄膜이 주로 利用된다. 超音波센서는 특히 self-guided 차량의 衝突 防止, 패턴인식, 場所監視, phased 어레이技術, 로보트에서 精密한 位置 測定등에 利用될 수 있다. 이들 중 産業體에서 使用되는 自動化기기 즉 로보트의 視覺으로 利用될 수 있는 넓은 範圍 周波數에 應答하는 超音波센서는 應用範圍가 넓으며 대단히 重要하다. 이러한 分野에서 利用되는 超音波 센서나 高效率의 SAW센서에서는 주로 配向性이 좋은 良質의 ZnO 壓電薄膜을 利用한다. 이렇게 應用分野가 多樣한 ZnO 壓電薄膜을 良質의 것으로 成長시킬 수 있는 方法을 硏究하는 것이 무엇보다 重要하다고 생각된다. 본 硏究에서는 이러한 特性을 가진 ZnO 壓電薄膜을 만들기 위해서 c軸 配向의 基板溫度 依存性, c軸 配向의 膜의 부착 速度 依存性, 膜의 電氣抵抗의 부착 速度 依存性 그리고 c軸 配向의 分散性과 입경 등의 物理的 特性을 觀察하여, ZnO 壓電薄膜의 特性을 調査하고, 이壓電薄膜으로 高周波 超音波 센서를 製作하여 特性을 調査하였다.

생선의 신선도 측정을 위한 센서 개발(Ⅱ)

權泰夏 경북대학교 센서기술연구소 1995 연차보고서 Vol.1995 No.-

ZnO에 Al_2O_3. TiO_2 및 V_2O_5를 4 wt.%, 1 wt.% 및 0.2 wt.%의 무게비가 첨가된target으로 센서를 만들기 위한 ZnO 박막을 제작하였으며, 박막을 성장시킬 때 sputtering 분위기는 산소만으로 하였고, RF power는 80 W, 기압은 10 mTorr로 하였다. 센서의 선형성 및 안정성을 향상시키기 위해 ZnO 박막을 열처리 및 aging 시켰으며, 센서의 동작온도 조절을 위한 발열체는 Pt와 Ti를 이용하였다. ZnO에 Al_2O_3. TiO_2 및 V_2O_5를 4 wt.%, 1 wt.% 및 0.2 wt.%의 무게비가 첨가된 박막으로 만든 센서는 동작온도 300℃에서 450 정도의 최대감도를 보였지만 불안정했다. 700 ℃에서 60분 동안 산소분위기에서 열처리 한 후 저항률은 5-10배 증가하였으나, 선형성 및 안정성이 향상되었다. 이 센서는 동작온도 300℃ 에서 350 정도의 최대감도를 나타냈으며, 선형성이 좋았고 안정된 특성을 보였다. 또, 발열체는 Pt : Ti의 조성비를 1 : 1로 하는 것이 좋았으며, 0.8 ㎛ 정도의 두께일 때 실온저항값은 45 Ω 정도였고 이것은 300℃ 에서 약 0.9 watts 정도의 전력소모를 나타냈다. 제작한 센서는 고둥어의 부패시에 발산되는 실제 가스에 양호하게 반응하였다. The ZnO thin films were doped with 4 wt.% Al_2O_3, 1 wt.% TiO_2, and 0.2 wt.% V_5O_5 and ZnO thin films were grown on the SiO_2/Si substrates with a oxide layer of 3 ㎛ by RF magnetron sputter with an RF power of 80 W in the oxygen atmosphere at a pressure of 10^-2 Torr. To enhance the linearity and the stability of the sensors, the annealing and the aging process were carried out. The sensor with ZnO thin film of Al_2O_3(4 wt.%), TiO_2(1 wt.%), and V_2O_5 (0.2 wt.%) showed the maximum sensitivity of 450 in 160 ppm TMA, but the sensor was unstable. After heat treatment, the resistivity of the sensors was increased by 5-10 times, and the sensors made with ZnO thin films annealed at 700 ℃ for 60 minutes in the oxygen atmosphere were exhibited the maximum sensitivity of 350 at a working temperature of 300 ℃ in 160 ppm TMA, good linearity, and excellent stability. The heater(Pt : Ti = 1 : 1) with the resistance of about 45 Ω exhibited power dissipation of about 0.9 watts. The sensor exhibited a large response to the actual gases produced by a mackerel at an early stage of decomposition.

뇌경색으로 유발된 좌측 안면부 이상감각, 턱관절 및 후경부 통증 환자에 대한 한의학 치료 1례

권태하,김민주,설동수,고민석,임민지,이성현,봉세영,송다운,이연후,이유진,이차영,오주희 대한한방내과학회 2023 대한한방내과학회지 Vol.44 No.5

Objectives: The aim of this case report is to present the effects of Korean medicine treatment in a patient with left facial paraesthesia, temporomandibular joint (TMJ) pain, and post-traumatic neck pain induced by cerebral infarction. Methods: A 26-year-old male patient was treated with Cheongpa-Jeon H, acupuncture, pharmacopuncture (Shinbaro2), and Chuna Therapy for 24 days of hospitalization. Left facial paraesthesia, TMJ pain, and post-traumatic neck pain were assessed with a Numeric Rating Scale (NRS) and EuroQoL-5 Dimension (EQ-5D). Post-traumatic neck pain was assessed using the Neck Disability Index (NDI). Results: After 24 days of treatment, the patient’s left facial paraesthesia and left arm tingling sensation were relieved from NRS 6 to NRS 2. Left TMJ pain was reduced from NRS 5 to NRS 2. The EQ-5D score increased from 0.138 to 0.73. The NDI score decreased from 71.11 to 37.78. Conclusion: These results show that left facial paraesthesia, TMJ pain, and post-traumatic neck pain can be relieved with Korean medicine treatment. However, further well-designed studies are required to confirm these findings.

실리콘 압저항형 압력센서

권태하 경북대학교 센서기술연구소 1997 센서기술 Vol.4 No.4

기력 저하 및 현기증을 동반한 소화불량 환자에 대한 한의학 치료 1례

권태하,김민주,고민석,봉세영,이차영,Kwon, Tae-ha,Kim, Min-joo,Go, Min-seok,Bong, Sae-young,Lee, Cha-young 대한한방내과학회 2022 대한한방내과학회지 Vol.43 No.5

Objectives: The aim of this case report was to present the effects of Korean medicine treatment on a patient with dyspepsia symptoms like those of gastroesophageal reflux disease. Methods: A 64-year-old male patient with dyspepsia was treated with Sosiho-tang decoction, Banhasasim-tang soft extract, Gamihyangsayukgunja-tang decoction, and Kracie Sihogayonggolmoryu-tang extract, along with acupuncture, pharmacopuncture, and deep tissue meridian hot pack therapy for five days of hospitalization. Pain from the dyspepsia was assessed using the Numerical Rating Scale and the European Quality of Life 5 Dimensions Scale. Results: Within five days of treatment, dyspepsia was relieved from a Numerical Rating Scale score of 7 to a score of 3. The European Quality of Life 5 Dimensions Scale score increased from 0.455 to 0.816. Conclusion: These results show that dyspepsia can be relieved with Korean medicine treatment. However, further well-designed studies are required to confirm these findings.

어류의 신선도 측정을 위한 센서 개발

權泰夏 경북대학교 센서기술연구소 1996 연차보고서 Vol.1996 No.-

실리콘 압력검지소자의 제조 및 특성

권태하 釜山水産大學校 1985 釜山水産大學 硏究報告 Vol.25 No.1

1. 실리콘의 type에 관계없이 (100)면의 부식율은 EPW계 부식액에서는 110℃에서 약1㎛/min, 100℃에서는 약 0.8㎛/min이었고, KOH계 부식액에서는 85℃에서 약 1㎛/min, 75℃에서는 약 0.8㎛/min이었다. 그리고 HW계 부식에서는 100℃에서 약 0.8㎛/min, 90℃에서는 약 0.55㎛/min의 부식율을 나타냈다. 2. P-N접합부식정지법을 사용해서 두께가 10㎛ 및 20㎛인 두 종류의 다이아프램을 제작하였으며, 이때 인가한 전압은 약 0.4V였고 부식율은 2.35㎛/min 정도였다. 3. 다이아프램 위에서의 압력에 대한 저항변화는 변의 중앙에서 그변에 가깝게 위치한 저항에서 크게 나타났다. 4. 다이아프램의 두께가 10㎛인 압력센서의 압력감도는 42μV/V·㎜Hg 였으며, 다이아프램의 두께가 20㎛인 센서의 압력감도는 16μV/V·㎜Hg였다. 두 종류 모두 0∼300㎜Hg의 압력범위에서 좋은 직선상을 보였다. 5. 두께가 10㎛인 압력센서는 온도에 대해 96ppm/℃의 특성변화를 나타냈다. 이값은 2.3㎜Hg/℃에 대응된다. 6. 온도특성을 향상시키기 위한 온도보상회로의 부착과 소자를 부착하기 위한 적절한 지지판을 만들면 실용이 가능할 것으로 생각된다. The etch rates of silicon oriented (100) was investigated for three etching solutions. The 1×1㎟, 10㎛-thick silicon diaphragms have been made using the electrochemical P-N junction etch-stop technique. The 200Ω/square, 800Ω resistors were formed on the diaphragm and resistance was examined with pressure. Fractional resistance change depended on diaphragm thickness, resistor location, and resistor length etc. The 1.2㏀ full bridge resistors produced a pressure sensitivity of 42㎶/Ⅴ·㎜Hg with a temperature coefficient of 2.3㎜Hg/℃ and showed a good linearity from 0 to 300㎜Hg pressure range.

어류의 신선도 측정을 위한 암모니아 가스 센서 개발

權泰夏 경북대학교 센서기술연구센터 1998 연차보고서 Vol.1998 No.-

Sensing Properties of ZnO-Based thin film Sensors to Ammonia Gas

권태하,최우창,김성우,류지열,박성현,최혁환,이명교 대한전자공학회 1998 대한전자공학회 학술대회 Vol.1998 No.1