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압전층의 2단 증착법을 이용한 체적 음향파 박막형 공진기의 제작과 성능향상에 관한 연구
박성현,추순남,이능헌 대한전기학회 2005 전기학회논문지C Vol.54 No.7(C)
The 2 ㎓ film bulk acoustic wave resonator(FBAR), one of the most necessary device of the next generation mobile communication system, consisted of solidly mounted resonator(SMR) structure using Bragg reflector, was researched in this paper. The FBAR applied SiO2 and W had large difference of the acoustic impedance to reflector, Al to electrode and ZnO to piezoelectric layer. Specially, the FBAR applied the two-step deposition method to improve the c-axis orientation and increase reproducibility of the fabrication device had good performance. The electrical properties of plasma such as impedance, resistance, reactance, Vpp, Ipp, VSWR and phase difference of voltage and current, was analyzed and measured by RF sensor with the variable experiment process factors such as gas ratio, RF power and base vacuum level about concerning the thickness, c-axis orientation, adhesion and roughness. The FBAR device about the optimum condition resulted reflection loss(S11) of -17 ㏈, resonance frequency of 1.93 ㎓, electric-mechanical coefficient(keff) of 2.38 % and quality factor of 580. It was seen better quality than the common dielectric filter at present and expected on business to the filter device of 2 ㎓ bandwidth with the MMIC technology.
박성현 연세대학교 동서문제연구원 2001 유라시아연구 Vol.1 No.2
발라바노프(А. БаЛабаНОВ) 감독의 브라뜨(БраТ)는 평론가들과 관객 모두에게서 적극적인 반향을 불러일으킨 영화로, 1997년(1편), 2000년(2편)에 개봉되었다. 이 영화는 1990년대 개혁의 시기에 실험된 러시아 영화들의 마무리를 한 셈인데, 많은 90년대 영화들이 그러하듯이, 민족주의적 성격을 강하게 드러내고 있다. 본 논문에서는 영화 속에 드러난 몇 가지 내용적 특징들을 통해 현재 러시아 사회의 대중적 의식 상태에 대한 부분적 진단을 시도한다. 자본주의 문화가 응집된 공간인 도시와 그 안에서 이루어지는 자본주의적 삶의 양태들은 변화하는 러시아의 사회상을 보여준다. 영화 내내 강조되는 민족주의, 애국주의 의식, 러시아인과 비러시아인의 구분은 '공유하는 삶'이 아니라 '배제의 원칙'이 지배하는 사회 정신을 반영한다. 이 영화가 러시아 사회의 현실과 당면 문제들을 부분적으로 그려내고 있다는 점, 그리고 그에 대한 다양한 반응과 평가, 논쟁들 또한 현재 러시아 대중의 의식 상태를 보여준다는 점에서 그 의의가 있다.
박성현,최우창,김성우,류지열,최혁환,이명교,권태하 경북대학교 센서기술연구소 1997 센서技術學術大會論文集 Vol.8 No.1
The microheaters with Si_(3)N_(4)(1500Å)/SiO_(2)(3000Å)/Si_(3)N_(4)( 1500Å) diaphragm were fabricated by thin film technology and silicon micromachining techniques. Pt and poly-Si(n+) materials were used as heater materials of microheater. Pt temperature sensor was fabricated to detect the temperature of microheaters. The thermal analysis including temperature distribution on diaphragm and power consumption of the microheater were executed by the FEM method and heat transfer equations. The power consumption of the Pt and poly-Si(n+) heaters were measured and compared to that of thermal analysis by FEM simulation.