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- 저자 : 류재용 (검색결과 137 건)
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전자빔을 이용한 PFCs 분해 및 부산물 생성에 관한 연구
류재용,장성호 한국폐기물자원순환학회 2014 한국폐기물자원순환학회 학술대회 Vol.2014 No.11
PFCs (Perfluorocompounds)는 열・화학적으로 매우 안정한 특성을 가지고 있으며 반도체 및 전기전자, 제조, 제철 분야등 광범위하게 사용되고 있다. 생태계에서 강한 독성이 생물체에 축적되는 특징을 가지는 반면 대기중으로 배출된 PFCs의 가장 큰 문제점은 CO2의 수만배에 달하는 온실효과를 가지는 것이다. 특히 반도체 제조공정 중 CVD (Chemical Vapor Deposition)공정과 etching 공정에 주로 사용되는 NF3 (Nitrogen trifluoride)와 SF6 (Sulfur hexafluoride)는 지구온난화지수 (Global warming potential) 가 CO2 대비 약 17,000~24,000배에 달하며 lifetime 또한 740~3200년으로 지구온난화에 미치는 영향이 장시간 지속 될 것으로 생각된다. 따라서 PFCs의 대기 중 배출에 대한 규제는 더욱 강화 될 것으로 전망되며 우리나라 산업구조에서 반도체산업분야가 차지하는 비중이 큰 만큼 PFCs 배출 규제 대한 대비책 마련이 요구된다. 반도체 산업에서 배출되는 폐가스 중 PFCs를 처리하기 위해 연소 및 플라즈마, 촉매, 회수 등 여러가지 기술이 이용되고 있다. 회수법은 PSA(Pressure Swing Adsorption) 방식의 흡착제 또는 분리막을 이용하여 폐가스 속의 PFCs을 회수하는 방법으로 PFCs를 재활용한다는 것이 장점이지만 처리용량이 제한적이며 탈착과정에서 불화가스의 누출 가능성이 있고, 촉매와 마찬가지로 흡착제의 수명이 다하여 재사용이 불가능한 흡착제를 처리해야한다는 문제점을 가지고 있다. 전자빔(Electron-beam)은 진공상태에서 전자총(cathode)으로부터 방출되는 전자를 고전압에 의해서 빛의 속도로 가속시킨 높은 에너지의 전자들의 흐름집단을 말하며, 가속된 전자가 분자 또는 화합물에 조사되면 그 대상물질이 에너지를 흡수하여 이온화 및 여기 상태의 분자와 자유라디칼을 생성한다. 이러한 원리를 이용하여 대기제어분야에서 SOx, NOx, VOCs 처리 등에 적용되며 활발한 연구가 진행 중이다. 전자빔을 이용한 대기오염물질처리기술의 장점은 상대적으로 짧은 시간에 반응이 진행되어 처리속도가 매우 빠르고 연소식과 플라즈마에 비해 저온에서 운전되기 때문에 에너지효율 측면에서 경제성을 가진다고 보고되고 있다. 특히 연소에 의한 분해가 아니기 때문에 산소의 공급이 필요 없으며 이에 따라 SOx, NOx가 발생하지 않는 장점을 가지고 있다. 반도체 제조공정의 특성상 여러 공정을 거치면서 NF3, SF6 등 다양하고 복합적인 PFCs가 동시에 배출되기 때문에 효과적인 제어공정설계를 위해서는 각각의 단일물질에 대한 선행연구가 진행되어야 한다. 본 연구에서는 전자빔을 이용하여 반도체 산업에서 배출되는 PFCs의 대표적인 물질인 NF3와 SF6를 제어하는데 목적을 두고 있다. 전자빔 조사에 대한 분해효율(destruction and removal efficiency, DRE) 및 첨가제 주입(H2)에 따른 효율 상승효과 그리고 반응 후 생성물질(F2, HF, particles)의 농도 및 성분을 비교하여 차이점을 도출하고 그 원인분석에 대한 연구를 수행하였다.
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류재용,나환선,김상봉,이세정,최성모 한국복합신소재구조학회 2018 복합신소재구조학회논문집 Vol.9 No.4
Eccentric axial load tests were carried out to get the structural performance of the SIP (Structural Insulated Panels), which is widely used as residential type in Europe and North America. Outside the country, design standards for SIP have been prepared and related research has been carried out variously. However, in Korea, the research on the performance of the structural insulated panels is very small, and the related standard is not provided. In this study, the eccentric axial load was applied after the opening was installed to utilize the structural insulated panels as the structural wall. The size of the test specimen is 1200×2400㎜. The number of test specimens was 7, and the size of the openings and the reinforcement method around the openings were used as variables. Variable analysis was carried out to suggest the optimal opening dimension. The analytical model was verified through comparison with experimental results and the structural behavior of the structural adiabatic panel subjected to eccentric axial load with the opening size as a parameter was analyzed through finite element analysis. Through this, we propose an optimal opening size suitable for the structural insulated panels. 본 연구에서는 구조단열패널을 구조 벽체로서 활용하기 위하여 개구부를 설치한 후 편심축하중 실험 및 해석을 수행하였다. 실험체의 크기는 1200×2400㎜이다. 실험체는 7개로서 개구부의 크기와 개구부 보강방법, 강재를 시용한 구조단열패널보강을 변수로 하여 진행하였다. 구조단열패널에 대하여 개구부 설치에 따른 구조적 거동을 분석하기 위한 변수해석을 수행하였다. 구조성능 실험 결과와의 비교분석을 통해 해석에 대한 검증을 하였고, 개구부 크기를 변수로 하여 편심축하중을 받는 구조단열패널의 구조적 거동을 유한요소해석을 통하여 분석하였다. 이를 통해 구조단열패널에 적합한 최적의 개구부 형상을 제안하고자 한다.
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Decomposition of NF3 Gas (greenhouse gas) using an Electron-beam with Additive Gases
류재용 한국폐기물자원순환학회 2019 한국폐기물자원순환학회지 Vol.36 No.3
The role of conditioning agents, such as hydrogen, oxygen, and water vapor in the destruction of NF3 gas using electronbeamtechnology was assessed in terms of the destruction and removal efficiency (DRE%). The DRE of NF3 usingelectron-beam technology was studied in a flow reactor. Experiments were conducted at a flow rate of 50 Lm−1 at roomtemperature. The inlet concentration of NF3 was 1,000 ppm, and the concentrations of conditioning agents ranged from500 to 3,000 ppm, respectively. In this study, the absorbed dose (electron-beam current) ranged from 0 (0 mA) to 424.7kGy (20 mA). Among the conditioning agents, hydrogen gas was found to play a significant role in the destruction ofNF3 gas. In the case of oxygen and water vapor, the water vapor increased the DRE of NF3, though by a small amount,and the oxygen decreased the DRE of NF3 gas. The DRE of NF3 gas increased with hydrogen gas concentration. Theresults presented here can be utilized to increase the effectiveness of electron-beam technology as a measure for reducingNF3, a toxic and potent greenhouse gas produced by the semiconductor industry.
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축하중을 받는 개구부가 설치된 구조단열패널(SIP)의 해석적 평가
류재용,나환선,이세정,김상봉,최성모 한국복합신소재구조학회 2018 복합신소재구조학회 학술발표회 Vol.2018 No.04
In this study, the structural analysis of the structural insulation panels with openings was carried out. The analytical results were compared with those of the previous structural performance tests. The structural behavior of the structural insulation panels subjected to eccentric axial load with the opening size, installation direction as parameters was analyzed through finite element analysis. Through this, we propose an optimal opening shape suitable for the structural insulation panel.
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구조단열패널(SIP)의 편심 축하중에 대한 실험적 평가
류재용,나환선,이세정,김상봉,최성모 한국복합신소재구조학회 2018 복합신소재구조학회 학술발표회 Vol.2018 No.04
Eccentric axial load tests were carried out to investigate the structural performance of the SIP (Structural Insulation Panel), which is widely used as residential type in Europe and North America. Outside the country, design standards for SIP have been prepared and related research has been carried out variously. However, in Korea, the research on the performance of the structural insulation panel is very small, and the related standard is not provided. In this study, the eccentric axial load was applied after the opening was installed to utilize the structural insulation panel as the structural wall. The size of the test specimen was 1200 × 2400㎜. The number of test specimens was 6, and the size of the openings and the reinforcement method around the openings were used as variables.
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하중 균등 분포를 위한 합성기초 Frame의 구조성능에 관한 연구
류재용,강승호,이성희,최성모 한국복합신소재구조학회 2011 복합신소재구조학회 학술발표회 Vol.2011 No.04
We evaluated structural performance of Frame for uniformly distributed load to micro piles which was arranged in a line. We predicted behavior and load distribution with Abaqus which is general finite analysis program. And Structrual experiment was conducted using full scale test model.
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AFRP를 이용한 강재 보강에서 보강방법에 따른 부착성능
류재용,이원식,오경진,이상우,최성모 한국복합신소재구조학회 2013 복합신소재구조학회 학술발표회 Vol.2013 No.04
The Adhesion method is general to reinforce steel structures using FRP(Fiber reinforced Plastic) material. Until recently in many studies, the adhesion method is being utilized. Most of the problem of this method have been eliminated. The bond performance is not enough due to the delaminate of epoxy between FRP and steel. In order to improve the problem, a bolt tighting, FRP sheet wrapping is to evaluation the degree of bond performance improvement in study.
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