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하이브리드 시스템에 의해 제조된 Cr-Si-N 박막내 바이어스와 온도에 따른 기계적 물성의 변화
홍승균,박지훈,윤창성,김광호 한국표면공학회 2007 한국표면공학회 학술발표회 초록집 Vol.2007 No.-
Cr-Si-N 박막은 하이브리드 코팅 시스템에 의해 온도와 바이어스의 변화에 따라 증착 되었다. 증착온도 0~300℃ 범위에서, 경도와 탄성계수는 이온의 surface mobility의 증가 때문에 향상되었지만 350℃ 이상의 증착온도에서는 결정성장 때문에 경도는 다시 감소하였다. 바이어스 0~100V까지 범위에서는, 경도와 탄성계수는 각각 46GPa, 600GPa의 최대값을 보여주었으며 바이어스 -100V에서 macro-particle과 surface molphology 감소가 발생하였다. 그러나 -100V이상의 바이어스에서 resputtering 현상에 의해 Si 의 양이 감소한다. 증착온도는 Si 함량에 많은 영향을 주지 못한다.
MRAM의 Bit Line Sense Amplifier에 대한 연구
洪承均,송상헌,김수원,金仁模,柳慧承 대한전자공학회 2003 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.40 No.10
This paper proposes a new BLSA(Bit Line Sense Amplifier) for MRAM. Current BLSA employs a latch-type circuit to amplify a signal from the selected memory cell. The proposed BLSA simplifies the circuit by amplifying the signal using cross-coupled PMOS transistors. It shows the same operation speedas the latch-type BLSA in simulation and occupies only 85% of the area taken by the latch-type BLSA. 본 논문에서는 MRAM에서 사용될 수 있는 새로운 Bit Line Sense Amplifier(BLSA)를 제안하였다. 기존의 BLSA는 기본적으로 Latch형 회로를 사용하여 Memory Cell로부터의 신호를 증폭한다. 제안된 BLSA는 Cross-coupled PMOS 트랜지스터를 사용하여 회로를 단순화하였으며. 기존 BLSA의 약 85%정도의 작은 면적을 차지하면서도 시뮬레이션상에서는 같은 동작 속도를 보이고 있다.
Magnetic Tunnel Junction의 SPICE Macro-Model
홍승균,송상헌,김수원 대한전자공학회 2003 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.40 No.2
본 논문에서는 Magnetic Tunnel Junction (MTJ)의 새로운 SPICE Macro-Model에 대해서 제안하였다. 제안된 Macro-Model은 다섯 개의 터미널을 가지고 있으며 MTJ의 MR 특성인 hysteresis 성질을 그대로 구현하고 있으며, 시간에 따라 변하는 입력 신호에 대해서도 정확하게 동작하도록 구성되어 시다. 또한 MTJ의 MR 특성을 파라미터 변수값으로 입력을 받을 수 있도록 하여 MTJ의 특성변화에 대해서도 용이하게 적용될 수 있도록 하였다. This paper proposes new SPICE Macro-Model of Magnetic Tunnel Junction (MTJ) This Macro-Model has five I/O terminals, reproduces MTJ MR characteristics including hysteresis and behaves correctly to time varying input signals. Furthermore, this Model can be easily modified to various MTJs with different characteristics by simply varying internal parameters.