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      저자 : 현지태(Ji-Tae Hyeon) (검색결과 1 건)
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      • H2SO4 Chemical 공급장치 내 배관 중성화 Flushing 방안 연구

        현지태(Ji-Tae Hyeon),박호연(Ho-Yeon Park),류충렬(Choong-Ryul Ryou) 대한전자공학회 2022 대한전자공학회 학술대회 Vol.2022 No.11

        본 논문에서는 H2SO4 Chemical의 배관 중성화 Flushing 방안에 대해 새로운 접근으로 비눗물을 이용하여 기존보다 효율적인 중성화 Flushing 방안을 확인하였다. 기존 DIW(De-Ionized Water : 초순수물)를 이용한 Flushing 방안은 중성화 진행 속도가 현저히 늦고, 작업 간 Chemical 접액 및 Fume에 노출되기 쉬운 문제점이 있다. 기존 방안과 비눗물을 이용한 중성화 진행 차이를 비교하고 실제 배관 내의 중성화 정도를 확인하여, H2SO4 Chemical 공급장치 내 배관 중성화 Flushing의 환경안전 측면 개선과 작업 간 업무량 및 Risk를 감소시켜 효율적인 중성화 Flushing 방안 수립에 기여하고자 한다. In this paper, we try a new approach to the neutralization flushing method of H2SO4 Chemical used in the semiconductor manufacturing process. By comparing the difference with DIW by using soapy water instead of DIW (De-Ionized Water: ultrapure water) for neutralizing piping and checking the degree of neutralization in the actual piping, improvement of environmental safety aspects between piping neutralization and flushing in the H2SO4 chemical supply device and It aims to contribute to the establishment of an efficient neutralization flushing plan by reducing the workload and risk between neutralization operations..

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