MOCVD를 이용한 $HfO_2/SiNx$ 게이트 절연막의 증착 및 물성

이태호,오재민,안진호,Lee Taeho,Oh Jaemin,Ahn Jinho 한국마이크로전자및패키징학회 2004 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.11 No.2

65 nm급 게이트 유전체로의 $HfO_2$의 적용을 위해 hydrogen-terminate된 Si 기판과 ECR $N_2$ plasma를 이용하여 SiNx를 형성한 기판 위에 MOCVD를 이용하여 $HfO_2$를 증착하였다. $450^{\circ}C$에서 증착시킨 박막의 경우 낮은 carbon 불순물을 가지며 비정질 matrix에 국부적인 결정화와 가장 적은 계면층이 형성되었으며 이 계면층은 Hf-silicate임을 알 수 있었다. 또한 $900^{\circ}C$, 30초간 $N_2$분위기에서 RTA 결과 $HfO_2/Si$의 single layer capacitor의 경우 계면층의 증가로 인해 EOT가 열처리전(2.6nm)보다 약 1 nm 증가하였다. 그러나 $HfO_2/SiNx/Si$ stack capacitor의 경우 SiNx 계면층은 열처리후에도 일정하게 유지되었으며 $HfO_2$ 박막의 결정화로 열처리전(2.7nm)보다 0.3nm의 EOT 감소를 나타내었으며 열처리후에도 $4.8{\times}10^{-6}A/cm^2$의 매우 우수한 누설전류 특성을 가짐을 알 수 있었다. Hafnium-oxide gate dielectric films deposited by a metal organic chemical vapor deposition technique on a $N_2-plasma$ treated SiNx and a hydrogen-terminated Si substrate have been investigated. In the case of $HfO_2$ film deposited on a hydrogen-terminated Si substrate, suppressed crystallization with effective carbon impurity reduction was obtained at $450^{\circ}C$. X-ray photoelectron spectroscopy indicated that the interface layer was Hf-silicate rather than phase separated Hf-silicide and silicon oxide structure. Capacitance-voltage measurements show equivalent oxide thickness of about 2.6nm for a 5.0 nm $HfO_2/Si$ single layer capacitor and of about 2.7 nm for a 5.7 nm $HfO_2/SiNx/Si$ stack capacitor. TEM shows that the interface of the stack capacitor is stable up to $900^{\circ}C$ for 30 sec.

해양계 직업교육기관 재학생의 전공분야에 따른 뇌파 차이 분석

이태호 ( Taeho Lee ),조진호 ( Jinho Cho ) 사단법인 아시아문화학술원 2021 인문사회 21 Vol.12 No.3

국내 대표적인 직업교육기관인 한국폴리텍대학 전남캠퍼스는 2009년 조선해양분야 특성화 캠퍼스로 개편되어 현재까지 약 6만 명의 인력을 배출하고 있어 해양계 분야 직업 교육생에 대한 수요는 지속적으로 배출되는 현황이지만 해당 분야와 관련된 연구는 다소 미흡한 실정이다. 이에 본 연구에서는 직업교육기관의 국가직무능력표준 전문교육과정을 600시간 이상 이수한 2개 학과 훈련생을 각각 10명씩 선정하여 뇌파를 측정하고 차이에 관한 비교 연구를 수행하였으며, 맨-휘트니 비모수검정을 통한 통계 분석을 실시하였다. 그 결과, 전기 전공 분야 직업교육생이 기계 전공 분야 직업교육생에 비해 안정된 상태일 때 알파파 영역에서 통계적으로 유의한 차이(P<.05)를 보였다. 이는 복잡한 회로의 구성과 고도의 집중력을 요하는 전기 전공 직업교육이 알파파 향상에 기여함을 알 수 있었다. 또한 각성한 상태에서 뇌파상태는 두 전공분야의 통계적 차이는 존재하지 않는 것으로 나타났다. 본 연구는 직업 교육생에 관한 가장 기초적인 연구로써 향후 두뇌활용능력차이분석에 관한 연구를 비롯한 다양한 연구를 실시할 계획이다. Korea polytechnic colleges a representative domestic vocational education institution, was reorganized into specialized campus in the shipbuilding and marine field in 2009 year, and has produced about 60,000 manpower to date. while the demand for vocational trainees in the marine and marine sector is high, related research is somewhat insufficient. In this study, 10 students from two departments, each of whom had completed 600 hours or more of the NCS Curriculum of a vocational education institution, were selected to measure EEG and conduct a study on differences. Statistical analysis was performed using the Mann-Whitney test. as a result, when electrical majors were in a stable state compared to mechanical majors, a statistically significant difference (P<.05) was shown in the alpha wave region, and it was found that the electrical major contributed to the improvement of the alpha wave. which requires complex electrical circuit configuration and high concentration, contributes to the improvement of alpha waves. However, it was found that there was no difference in EEG between the two majors in the awakening state. This study is a basic study on vocational education students and plans to conduct a study on the difference analysis of brain utilization in the future.

복합식냉풍건조에 의한 곶감건조

이태호(Taeho Lee),금종수(Jongsoo Kum),박승태(Seungtae Park),홍석균(Seokkyun Hong),최현웅(Hyunwoong Choi),이정호(Jungho Lee) 대한설비공학회 2009 대한설비공학회 학술발표대회논문집 Vol.2009 No.-

The present study has been conducted to reduce the cold air drying rate. According to the cold air drying method, the quality-excellent product could be made and there would be little change of color, taste and smell. As compared with the hot air drying, the cold air drying equipment has the superior dehumidification in a constant drying zone. However, in a falling drying zone that equipment is not energy-efficient because the drying period could be longer by the dehumidificated.

JAVA Applet을 이용한 소규모 업무 시스템구현

이태호 ( Taeho Lee ),황종선 ( Chongsun Hwang ) 한국정보처리학회 2004 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.11 No.1

많은 중소기업들이 업무를 진행하는데에 있어서 수기로서 작업을 하기도 하고 아니면 간단한 프로그램를 사용하든지 아니면 중소기업형 ERP를 사용하기도 한다. HomePage의 경우에도 있는 경우도 있고 존재하지 않는 경우도 있다. 더구나 WEB으로 업무를 처리하는경우는 상당히 미흡하다. 개발을 하려고 하여도 WEB 기반으로 프로그램을 개발하는데는 Servlet 기반의 방식이 대다수 이다. 이 방식은 중소기업에서 개발하기에는 너무나 많은 개발비용과 유지비용이 들게되고 또한 네트워크 환경의 열악성 때문에 투자대비 효과를 얻기가 힘들다. 본 논문에서 제안하는 시스템은 Applet을 이용하여 중소기업업무 프로그램을 WEB 기반으로 구축하여 자료의 사용을 Internet 또는 Intranet등에서 가능하게 하고 네트워크의 영향역시 AWT기반으로 Applet으로 제작하여 만들어지는 파일의 크기를 작게 구현해서 네트워크의 영향을 최소화 하게 구현을 하고, 프로그램을 클래스화시켜 재사용이 가능하게 하여 개발기간의 단축과 유지보수를 용이하게 하여 비용을 줄이도록 한다.

ATP시스템 지상장치/차상장치 통신오류율에 관한 연구

이태호(Taeho Lee),장우진(Woojin Jang) 한국철도학회 2013 한국철도학회 학술발표대회논문집 Vol.2013 No.11

ATP시스템은 기존의 신호기 없이 발리스라는 지상장치, 차상장치간 텔레그램의 통신에 의해 열차간 운행 정보를 상호 교환하는 시스템으로 이 과정에서 오류가 발생한다면 심각한 사고가 발생할 수 있기 때문에 본 논문에서는 지상장치/차상장치 통신 오류율에 관해 연구하고자 한다. 텔레그램 전송거리는 열차 속도가 증가할수록 길어져 판독 가능한 자계와 전계의 세기가 감소하고 신호 대 잡음비(SNR)가 감소하여 결국 비트 오류율(BER) 증가로 텔레그램 전송에 문제가 발생할 수 있다. ATP시스템 중 하나인 ERTMS/ECTS시스템에서는 BFSK(Binary Frequency Shift Keying)방식에 대해서 열차속도에 따른 비트 오류율과 SNR의 관계에서 오류율을 낮출 수 있는 방안을 제시하였다. ATP system with the existing balise the ground beacon, train communications by telegram listed between trains to the exchange of information between wayside device and onboard device if an error occurs in this progress can lead to serious accidents. In this study, the wayside device /onboard device communication error rate is to research on. Telegram transmission distance gets longer with increasing train speed and readable magnetic and electric field intensity decreases which reduces the intensity of the signal to noise ratio(SNR) and consequently increased bit error rate(BER) sent a telegram to the increase in the problem can occur. ATP system, which is one of the ERTMS/ECTS system, the BFSK(Binary Frequency shift keying)method in relation to the bit error rate and SNR based on the speed of the train for ways reduce the error rate is presented.

실세계에서 다양한 소셜 웹 콘텐츠 표현을 지원하는 Proactive Display 애플리케이션의 설계

이태호(Taeho Lee),안건태(Geontae Ahn),유양우(Yang Woo Yu),이명준(Myung-Joon Lee) 한국정보과학회 2009 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.36 No.2D

웹 서비스 기술의 발전에 따라 인터넷의 이용자가 생산자이면서 동시에 소비자로서 인터넷 공간을 이용하는 웹 2.0이라는 개념이 도래하였다. 웹 2.0 개념의 인터넷 공간에서는 매일 다양한 형태의 웹 콘텐츠가 셀 수 없이 만들어지고 있다. 따라서 이러한 웹 콘텐츠를 실세계에서도 편리하게 접근하여 공유하고 이에 대한 의견을 남길 수 있도록 하는 방법이 필요하게 되었다. 본 논문에서는 실세계에서 다양한 소셜 웹 콘텐츠를 표현하고 공유할 수 있는 Proactive Display 애플리케이션의 설계에 대하여 기술한다. 사용자가 실세계에서 공유하고자 하는 소셜 웹 콘텐츠를 형태별로 웹을 통하여 관리할 수 있는 관리 도구를 설계 한다. Proactive Display 애플리케이션 클라이언트는 실세계에서 사용자를 인식하고 관리 도구를 통하여 사용자가 등록한 소셜 웹 콘텐츠를 대형 디스플레이 장치에 표현한다. 또한 클라이언트는 소셜 웹 콘텐츠에 대한 의견을 현장에서 남길 수 있도록 하는 방법을 제공한다.

V2X 통신과 Camera Sensor를 통한 주변차량 차선변경 예측 알고리즘

이태호(Taeho Lee),이상선(Sangsun Lee) 한국자동차공학회 2019 한국자동차공학회 학술대회 및 전시회 Vol.2019 No.11

PreScan simulator is a simulation platform used in the automotive industry for the development of ADAS based on sensor technologies such as radar, rider, camera, and GPS. PreScan is also used to design and evaluate V2V and V2I communications applications and autonomous driving applications. In this study, PreScan simulator is used to collect information predicting lane change of vehicle through camera sensor and V2X communication data. After that, the data collected using Pycharm will be trained to find out how it correlates with the factors necessary for lane change, and the predicted lane change probability is compared and analyzed with the accuracy of prediction of SVM(Support Vector Machine) and RF techniques.

조선·해양 직업교육기관의 고교위탁과정 학생에 대한 두뇌활용능력 차이 분석

이태호 ( Taeho Lee ),정봉규 ( Bongkyu Jung ),조진호 ( Jinho Cho ) 사단법인 아시아문화학술원 2021 인문사회 21 Vol.12 No.4

조선·해양 분야 직업교육기관인 한국폴리텍대학 전남캠퍼스는 2년제 학위과정 이외에도 인문계 고등학교 3학년을 대상으로 고교위탁과정을 수행하는 교육기관이다. 최근 학령인구의 급격한 감소에 비해 직업교육을 희망하는 고교위탁과정의 수요는 점차 증가하고 있는 추세이지만 이와 관련된 연구는 다소 부족한 실정이다. 따라서 본 연구는 직업교육기관 고교위탁과정 학생과 특성화고를 졸업한 재학생간의 두뇌활용능력을 측정하고 맨-휘트니 비모수 검증을 통한 전산 통계 분석을 수행하였다. 그 결과, 고교위탁과정 학생이 특성과 고등학교 출신 재학생에 비해 대부분 두뇌활용능력에서 차이가 나타나지 않았으나 집중력과 두뇌스트레스 영역에서 통계적으로 유의한 차이(P<.05)가 나타났다. 이는 직업교육 인문계 고교위탁과정 학생이 특성화고 출신 재학생에 비해 문제를 해결하고 수행하는 집중력은 일부 높았으나 두뇌가 인지하는 스트레스 또한 높음을 유추할 수 있었다. The korea polytechnic college of Jeonnam campus, a vocational education institution for shipbuilding and marine fields, is an educational institution that conducts high school consignment courses for third-year high school students in the humanities in addition to the two-year degree program. compared to the recent rapid decline in the school-age population, the demand for high school consignment courses for vocational education is gradually increasing, but the related research is somewhat lacking. therefore, this study measured the brain utilization ability between high school consignment course students from vocational education institutions and students who graduated from specialized high schools, and performed computational statistical analysis through Mann-Whitney nonparametric test. as a result, there was no difference in most areas of brain utilization, but there was a statistically significant difference (P<.05) in the areas of concentration and brain stress. It could be inferred that although the concentration on problem solving and performance was higher in vocational education and humanities high school consignment courses compared to students from specialized high schools, the stress perceived by the brain was also higher.

결함이 있는 나노튜브와 고분자 복합재의 점탄성 및 감쇠특성

이태호(Taeho Lee),양승화(Seunghwa Yang) 대한기계학회 2022 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2022 No.11

결함이 있는 나노튜브와 고분자 복합재의 점탄성 및 감쇠특성

이태호(Taeho Lee),양승화(Seunghwa Yang) 대한기계학회 2022 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2022 No.11