Etch Rate Dependence of Differently Doped Poly-Si Films on the Plasma Parameters

박성호,김윤태,김진섭,김보우,마동성,Park, Sung-Ho,Kim, Youn-Tae,Kim, Jin-Sup,Kim, Bo-Woo,Ma, Dong-Sung 대한전자공학회 1988 전자공학회논문지 Vol. No.

플리즈마 변수로서 가스조성과 압력 및 RF 전력이 인 및 붕소가 각각 다른 양으로 주입된 다결정 실리콘의 식각율 변화에 미치는 영향을 고찰하였다. $POCl_3$에 의해 인이 주입된 경우, 염소조성보다 불소조성이 많은 영역, 즉 $Cl_2$와 $SF_4$의 비가 17대 33일 때, 가장 큰 비등방성과 가장 작은 선폭손실을 달성하였다. 플라즈마 조건에 관계없이 주입된 불순물 농도의 증가에 다라, 인이 주입된 경우는 식각율이 증가하였고, 붕소가 주입된 경우는 식각율이 반대로 감소하였다. 또한, 급속 열처리에 의한 활성화 시간의 함수로서 인이 주입된 다결정실리콘의 식각율변화를 측정한 결과, 도우핑 농도뿐 아니라 활성화된 운반자, 즉 전자의 농도가 그 식각율 증가에 중요한 역할을 한다는 것을 확인하였다. The dependence of the etch rates of differently doped poly-Si films on the gas composition, the chamber pressure and the RF power was investigated in detail. The highest anisotropy and the lowest CD loss were achieved at the $SF_6$-rich compositions, i.e., $Cl_2:SF_6$=17:33 (SCCM), in the $POCl_3$-doped poly-Si. The etch rates increased for n-type dopant (phosphorus), while decreased for p-type (boron) with increasing the doping levels irrespective of plasma parameters. And from the results of the activation of doped poly-Si films the active carrier concentrations as well as the doping concentrations were found to be responsible for the increase of the etch rate of the phosphorus-doped poly-Si.

The Role of Adjuvant Postoperative External Beam Radiotherapy for Locoregional Control in Recurrent Advanced Papillary Thyroid Carcinoma : Preliminary Report in a Single Institute

박성호,이국행,이병철,이명철,최익준,Park, Sung Ho,Lee, Guk Haeng,Lee, Byeong Cheol,Lee, Myung Chul,Choi, Ik Joon 대한두경부종양학회 2015 대한두경부 종양학회지 Vol.31 No.2

목적 : 국소 재발한 진행된 갑상선 유두암의 치료로 수술 후 외부방사선의 역할을 알아보고자 하였다. 대상 및 방법 : 원자력병원에서 2000년 1월부터 2012년 2월까지 사이버나이프 혹은 외부방사선 치료를 받은 수술과 방사선요오드 치료 후 국소 재발한 진행된 갑상선 유두암 환자 13 명을 대상으로 하였다. 경과관찰 기간 동안 국소 및 부위 재발이 발생환 환자는 6 명이었다. 몇몇의 위험인자를 찾기 위해서 Kaplan-Meier method와 log-rank test를 이용하여 성별, 종양단계, 방사선 치료 전 수술 횟수, 방사선요오드치료 횟수, 수술 후 잔존 암의 여부, 원격전이에 대해 단변량 분석하였다. 결과 : 방사선 치료 후 평균 추적관찰기관은 53.8개월(범위, 36 ~ 108개월)이고 그중 남자는 4 명이었다. 1년, 2년의 무진행 생존률은 각각 76.9와 53.8%였다. 단병량 분석은 성별과 잔존 암여부(p = 0.0475 and p = 0.0475, 각각)에 따라 무진행 생존률이 진행한 그룹과 진행하지 않은 그룹 사이에 유의한 차이가 있다는 것을 보여줬다. 결론 : 외부 방사선 치료 전에 잔존 암이 없었던 환자의 100%에서 국소 및 부위 재발이 일어나지 않았다. 외부방사선 치료는 수술과 방사선요오드 치료에 반응하지 않는 환자 중 수술 후 잔존 암이 없는 경우에 효과적인 치료 방법이 될 수 있다.

비균일 열전도성 반응블럭의 반응특성 연구

박성호,윤여일,김성현 ( Seong Ho Park,Yea Il Yoon,Sung Hyun Kim ) 한국공업화학회 1997 공업화학 Vol.8 No.5

암모니아와 금속염과의 기-고 반응을 이용한 화학열펌프에서 열전달 특성과 물질전달 특성을 개선하기 위하여 금속염을 팽창흑연에 반지름 방향으로 겉보기 밀도가 증가하도록 함침시켜 새로운 비균일 열전도성 반응블럭을 제조하였다. 이것은 겉보기 밀도가 반지름 방향으로 165, 222, 279, 337, 394(kg/m³)로 증가하도록 만든 것으로 균일 열전도성 반응블럭과 반응특성을 비교하였다. 실험결과 열전달특성은 비균일 열전도성 반응블럭이 훨씬 좋았고, 반응을 반복함에 따라 물질전달과 반응특성이 개선되었으며 반응의 재현성도 양호함을 알 수 있었다. The nonuniform thermal conductive reaction blocks were manufactured by impregnation of metal salts on the expanded graphite to improve the heat and mass transfer ability of reaction block for the chemical heat pump using the reaction of ammonia and metal salts(halide). The nonuniform blocks were designated to increase apparent density, like 165, 222, 279, 337, 394 kg/m³ radially. The experimental results showed that the heat transfer characteristics of nonuniform blocks were better than uniform blocks. As the reaction of ammonia repeated, the volumetric expansion in the reaction block makes the mass transfer improve, and the reproducibility better.

선별적 데이터 학습 기반의 베이지안 네트워크를 이용한 단기차량속도 예측

박성호,유영중,문상호,김영호,Park, Seong-ho,Yu, Young-jung,Moon, Sang-ho,Kim, Young-ho 한국정보통신학회 2015 한국정보통신학회논문지 Vol.19 No.12

정확한 교통정보의 예측은 출발지로부터 목적지까지의 최적경로를 제공할 수 있으며, 이로 인해 시간과 비용의 절감 효과를 얻을 수 있다. 본 논문에서는 다양한 교통정보 예측 방법 중 확률 모델을 기반으로 교통정보를 예측하는 베이지안 네트워크 방법을 이용한다. 기존 연구에서는 베이지안 네트워크 예측 방법이 모든 시간대에서의 데이터를 학습에 사용하는 것과는 달리, 본 논문에서는 예측하고자 하는 시간대와 동일한 요일과 시간에 해당하는 데이터만을 선별적으로 학습에 사용한다. 서로 다른 두 가지 학습방법에 따른 예측 결과의 정확도는 일반적으로 많이 사용되는 MAPE(Mean Absolute Percentage Error)로 검증하였으며, 서울 시내 14개의 링크 구간에 대해 실험을 진행하였다. 실험결과는 본 논문에서 제안한 방법이 모든 시간대의 데이터를 학습에 사용한 방법에 비해 MAPE의 관점에서 더 높은 정확도를 가진 교통 예측 값을 계산할 수 있음을 보여준다. The prediction of the accurate traffic information can provide an optimal route from the place of departure to a destination, therefore, this makes it possible to obtain a saving of time and money. To predict traffic information, we use a Bayesian network method based on probability model in this paper. Existing researches predicting the traffic information based on a Bayesian network generally used to study the data for all time. In this paper, however, only data corresponding to same time and day of the week to predict selectively will be used for learning. In fact, the experiment was carried out for 14 links zone in Seoul, also, the accuracy of the prediction results of the two different methods should be tested with MAPE (Mean Absolute Percentage Error) which is commonly used. In view of MAPE, experimental results show that the proposed method may calculate traffic prediction value with a higher accuracy than the method used to learn the data for all time zones.

Fuzzy-AHP 기반 중소기업 R&D 평가 시스템

박성호,오재택,이상용,Park, Seong-Ho,Oh, Jae-Taek,Lee, Sang-Yong 한국디지털정책학회 2020 디지털융복합연구 Vol.18 No.9

현재 중소기업의 기술혁신을 촉진하기 위해 일정 비율 이상을 중소기업에 의무적으로 지원하도록 제도화하고 있다. 이에 따라 매년 3조원 이상의 정부 예산이 투입되는 중소기업 R&D 사업의 성공 가능성 여부를 판단하기 위하여 전문가의 기술적인 평가를 통해 해당 기술의 기술적 난이도에 대한 상용화 및 성공 가능성을 면밀히 검토하게 된다. 이를 검토하기 위한 방법으로 AHP(Analytic Hierarchy Process) 기법은 평가 항목에 대한 평가 기준을 객관적으로 판단할 수 없었으며, 해당 평가 기준이 모호성 및 불확실성이 내포되어 있어 중소기업 R&D 사업의 전문성 및 공정성을 확보할 수 없었다. 본 연구에서는 중소기업 R&D 사업의 성공 가능성을 판단할 수 있도록 평가 항목에 대한 가중치를 객관적으로 제시할 수 있는 Fuzzy-AHP 기반 중소기업 R&D 평가 시스템을 제안하였다. 삼각 퍼지 수를 이용하여 해당평가 기준을 구간 값으로 적용하여 객관화하였으며, 중소기업 기술개발 지원사업 관리지침에 따른 가중치를 배정하여 실제 평가에 반영될 수 있도록 이를 적용하였다. 본 연구를 통해 새로운 사업에 대한 전문가를 위촉하였을 때 위의 평가항목의 배점 가중치를 재반영할 수 있으며, 이를 이용하여 중소기업 R&D 사업의 전문성 및 공정성을 확보할 수 있을 것이다. There is a system of mandating the allocation of support to small business in certain percentage or more to facilitate technological innovation at small business. Trying to assess small business R&D projects, which receive a budget of three trillion won or more from the government every year, for their possibilities of success, a group of experts perform a technological evaluation with their technologies and their difficulty levels and review closely the possibilities of their commercialization and success. Used in such a review, the Analytic Hierarchy Process technique cannot make an objective judgment of evaluation criteria for evaluation items and guarantee the professionalism and fairness of small business R&D projects due to the inherent ambiguity and uncertainty of the evaluation criteria. This study proposed an R&D evaluation system based on Fuzzy-AHP for small business to provide objective weight for the evaluation items and assess the possibilities of such projects' success. The evaluation criteria were make objective as they were applied as section values based on triangular fuzzy numbers. Weight was assigned and applied according to the management guidelines of supportive projects for small business' technological development so that it could be reflected on actual assessment. The findings of the study will be helpful for reflecting the scoring weight of these evaluation items again when an expert is appointed for a new project and guaranteeing the professionalism and fairness of small business R&D project based on them.

OFDM 기반 다중 안테나 시스템의 링크레벨 성능검증 - MIMO OFDM vs. Smart Antenna OFDM

박성호,김규현,허주,장경희,Park Sung-Ho,Kim Kyoo-Hyun,Heo Joo,Chang Kyung-Hi 한국통신학회 2006 韓國通信學會論文誌 Vol.31 No.6A

본 논문에서는 OFDM(Orthogonal Frequency Division Multiplexing) 기반 다중 안테나 시스템의 링크레벨 성능 분석을 위하여 실제 전파 환경과 유사한 특성을 갖는 Ray-tracing 방식 채널의 하나인 SCM(Spatial Channel Model) 채널을 구현한다. 3GPP & 3GPP2 Spatial Channel AHG(Ad-hoc Group)에서 시스템레벨 성능 비교용으로 제안한 SCM 채널을 링크레벨 성능의 비교 분석을 위하여, 본 논문에서는 시스템레벨 채널에 대한 채널 계수 및 파라메터들을 링크레벨 성능 비교용으로 변환하여 구현한다. 모의실험을 통하여 구현한 SCM 채널의 특성을 검증하고, 이를 이용하여 기존의 OFDM 기반 MIMO (Multiple Input Multiple Output) 적용 시스템 및 스마트 안테나 적용 시스템에서의 실제적인 링크레벨 성능을 분석하고, 정확한 비교 검증을 위하여 SCM 채널과 동일한 파라메터를 적용한 I-METRA 채널 및 독립 채널 상황에서의 링크 레벨 성능을 함께 비교 분석한다. MIMO 및 스마트 안테나 적용 시스템에 대하여 여러 채널 환경에서 채널 상관도에 따른 링크레벨 성능을 분석함으로써, 채널 상관도의 영향에 따라 주어진 환경에 적합한 다중 안테나 시스템을 제안한다. This paper implements SCM(Spatial Channel Model), a kind of ray-tracing method which has characteristics similar to realistic wave propagation environments, for link-level performance analysis of OFDM(Orthogonal Frequency Division Multiplexing) based multiple antenna systems. The SCM is proposed by 3GPP & 3GPP2 Spatial Channel AHG(Ad-hoc Group) for system-level performance validation. In this paper, we modify the system level parameters and channel coefficient of SCM to compare the link-level performances of OFDM based multiple antenna systems. Through computer simulations, we manifest the implemented SCM channel characteristics. We analyze a realistic link-level performance of OFDM based conventional MIMO(Multiple Input Multiple Output) system and smart antenna system in the implemented channel. We also include the link-level performance of OFDM based multiple antenna systems in I-METRA(Intelligent Multi Element Transmit and Receive Antenna) and independent channel environments with the same system parameters. We suggest appropriate multiple antenna system in the given environment by comparing the link-level performance in the spatial channels that have different channel correlation values.

소결온도 및 SiO₂ 첨가량에 따른 탄화규소의 마모 특성

박성호,박원조,윤한기,Park, Sung-Ho,Park, Won-Jo,Yoon, Han-Ki 대한기계학회 2008 大韓機械學會論文集A Vol.32 No.11

In this study, liquid phase sintered SiC (LPS-SiC) materials were made by hot pressing method. The particle size of nano-SiC powder was 30nm. Alumina ($Al_2O_3$), yttria ($Y_2O_3$) and silica ($SiO_2$) were used for sintering additives. To investigate effects of $SiO_2$, ratios of $SiO_2$ contents were changed by five kinds. Materials have been sintered for 1 hour at $1760^{\circ}C$, $1780^{\circ}C$ and $1800^{\circ}C$ under the pressure of 20MPa. The system of sintering additives which affects a property of sintering as well as the influence depending on compositions of sintering additives were investigated by measurement of density, mechanical properties such as flexural strength, vickers hardness and sliding wear resistance were investigated to make sure of the optimum condition which is about matrix of $SiC_f$/SiC composites. The abrasion test condition apply to load of 20N at 100RPM for 20min. Sintered density, flexural strength of fabricated LPS-SiC increased with increasing the sintering temperature. And in case of LPS-SiC with low $SiO_2$, sliding wear resistance has very excellent. Monolithic SiC $1800^{\circ}C$ sintering temperatures and 3wt% have excellent wear resistance.

저작재현장치의 개발

박성호,정일영,이권용,Park, Sung-Ho,Jung, Il-Young,Lee, Kwon-Yong 대한치과보존학회 2003 Restorative Dentistry & Endodontics Vol.28 No.1

Chewing simulator, which can partly mimic the motion of chewing motion of human, has been successfully developed. The purpose of its development was to make a new machine which can anticipate the clinical results of restoration in the human teeth more accurately in vitro condition It is composed of 4 major parts, chewing part, motor part, water bath, controlling part. The controlling part control the chewing force, frequency, the temperature and running time of water. Additionally, the actual chewing force and remaining time is shown in the monitor of controlling part. At present, the chewing cycle is composed depending on the pre-published data of foreign people. Long term clinical data should be additionally collected for the simulator to mimic the clinical results more accurately.

퍼지기반 해양 미생물 이용 수소 제조 공정의 고장유형 및 영향분석

박성호,안준건,김수현,유영돈,장대준,강성균,PARK, SUNG HO,AHN, JUNKEON,KIM, SU HYUN,YOO, YOUNG DON,CHANG, DAEJUN,KANG, SUNGKYUN 한국수소및신에너지학회 2018 한국수소 및 신에너지학회논문집 Vol.29 No.4

In this study, the failure mode and effect analysis (FMEA) of hydrogen production process by using the Thermococcus onnurineus NA1 was conducted and advanced methodology to compensate the weakness of previous FMEA methodology was applied. To bring out more quantitative and precise FMEA result for bio-hydrogen production process, fuzzy logic and potential loss cost estimated from ASPEN Capital Cost Estimator (ACCE) was introduced. Consequently, risk for releasing the flammable gases via internal leakage of steam tube which to control the operating temperature of main reactor was caution status in FMEA result without applying the fuzzification and ACCE. Moreover, probability of the steam tube plugging caused by solid property like medium was still caution status. As to apply the fuzzy logic and potential loss cost estimated from ACCE, a couple of caution status was unexpectedly upgraded to high dangerous status since the potential loss cost of steam tube for main reactor and decrease in product gases are higher than expected.

동충하초(冬蟲夏草)의 항돌연변이(抗突然變異) 활성(活性)에 관한 연구(硏究)

박성호,정지천,서운교,Park, Sung-Ho,Jeong, Ji-Cheon,Seo, Un-Kyo 대한한방내과학회 2000 大韓韓方內科學會誌 Vol.21 No.2

The fruiting bodies of Paecilomyces japonica been used for an anticancer and immuno-stimulating agent as an oriental medicine, Antimutagenecity test with SOS chromotest and antioxidant test with NBT method were carried out using the concentrated culture broth, the extract of mycelia, and that of fruiting bodies. Among the sample extracts tested, the extract of fruiting bodies was most effective to antimutagenecity against the mutagens tested such as MNNG, ethidium bromide(EtBr), 2-aminofluorene(AF) and nitrofluorene(NF). Antimutagenic activity of all the extracts were very effective against mutagen, MNNG. When the extracts were added to certain concentration, antimutagenic activity was enhanced against mutagen, MNNG and NF. Antioxidant activity of the extract from fruiting bodies was highest. However, its activity was very low, compared to ascorbic acid.