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논문 : GaN계 수직형 발광 다이오드를 위한 N-face n-GaN의 인듐계 저저항 오믹접촉 연구
강기만 ( Ki Man Kang ),박민주 ( Min Joo Park ),곽준섭 ( Joon Seop Kwak ),김현수 ( Hyun Soo Kim ),권광우 ( Kwang Woo Kwon ),김영호 ( Young Ho Kim ) 대한금속재료학회 ( 구 대한금속학회 ) 2010 대한금속·재료학회지 Vol.48 No.5
We investigated the In-based ohmic contacts on Nitrogen-face (N-face) n-type GaN, as well as Gaface n-type GaN, for InGaN-based vertical Light Emitting Diodes (LEDs). For this purpose, we fabricated Circular Transfer Length Method (CTLM) patterns on the N-face n-GaN that were prepared by using a laserlift off method, as well as on the Ga-face n-GaN that were prepared by using a dry etching method. Then, In/transparent conducting oxide (TCO) and In/TiW schemes were deposited on the CTLM in order for low resistance ohmic contacts to form. The In/TCO scheme on the Ga-face n-GaN showed high specific contact resistance, while the minimum specific contact resistance was only 3×10(-2) Ω-cm2 after annealing at 300℃, which can be attributed to the high sheet resistance of the TCO layer. In contrast, the In/TiW scheme on the Ga-face n-GaN produced low specific contact resistance of 2.1×10(5) Ω-cm2 after annealing at 500℃ for 1 min. In addition, the In/TiW scheme on the N-face n-GaN also resulted in a low specific contact resistance of 2.2×10(-4) Ω-cm2 after annealing at 300℃. These results suggest that both the Ga-face n-GaN and N-face n-GaN.
박민주(Min-Joo Park),전성민(Seong Min Jeon),윤석환(Suk Hwan Yoon),김진한(Jinhan Kim) 한국항공우주연구원 2009 항공우주기술 Vol.8 No.1
75톤급 터보펌프 개발을 위해 터보펌프 실 부위를 모사한 시험기를 제작하여 3종의 스태틱 실에 대한 상온 및 극저온 환경 기밀시험을 실시하였다. Conical 스태틱 실, PTFE 스태틱 실, C 스태틱 실을 적용한 기밀시험 결과 상온에서 기밀이 유지되더라도 산화제펌프의 이종 소재 사용에 따른 열수축률의 차이로 인해 PTFE 스태틱 실과 C 스태틱 실에서만 극저온 기밀이 유지되었고 Conical 스태틱 실에서는 극저온 기밀 유지에 실패하였다. 이는 기밀 면이 축방향인 PTFE 스태틱 실, C 스태틱 실과는 달리 Conical 스태틱 실의 기밀 면이 반경방향이므로 케이징의 반경방향 수축 시 기밀 면에 틈새가 생기기 때문인 것으로 파악된다. 더욱이 C 스태틱 실은 시험기 분해 후 재사용하여도 극저온 기밀이 유지되는 우수한 특성을 보였다. Casing leak tests using three kinds of static seals are performed by simulating test section for a 75 ton thrust class turbopump under ambient and cryogenic temperature environment. As results of application of Conical, PTFE, and C static seals to leak tests, even though they all work in normal temperature condition, only the PTFE and C static seals show good sealing performance in cryogenic condition. However, the Conical static seal fails because of the different thermal expansion rates due to the use of different materials in a LOX pump. It is found that unlike the PTFE and C static seals with sealing surfaces in axial direction, the sealing surface of the Conical static seal is in radial direction that may cause leak when the casings thermally shrink in radial direction. Especially, the C static seal reveals excellent sealing performance even for a used seal.