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표준가스를 활용한 사중극자질량분석법 데이터 정량화 신뢰성 향상 방법론 개발
이영석,성인호,이장재,조철희,김시준,유신재 한국진공학회 2021 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.2021 No.2
사중극자질량분석법은 공정 플라즈마 활성종 모니터링을 위해 널리 사용되고 있다. 이를 플라즈마 진단에 활용하기 위해서 측정된 데이터를 정량화 하는 방법에 대한 연구가 다수 진행된 바 있는데, 관련 이론이 많은 가정을 기반으로 한다는 한계점이 있다. [1,2]. 본 연구에서는 구성성분이 정확히 알려진 혼합가스인 표준가스를 이용하여 보다 신뢰성 있는 정량화 방법론을 개발하였고, 기존에 알려진 간단한 이론 기반의 정량화 방법과 비교했을 때 이상기체방정식에 따른 Ar 밀도값에 보다 유사한 결과를 얻었다. 본 발표에서는 제시된 방법론에 대한 타당성과 신뢰성에 대해 논의하고자 한다.