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A New Cleaning Concept for Display Manufacturing process with Electrolyzed Anode Water
류근걸(Ryoo Kun-kul) 한국산학기술학회 2005 한국산학기술학회논문지 Vol.6 No.1
디스플레이 세정의 개념은 기존의 반도체 세정인 RCA세정을 근간으로 하고 있으며, 대연적화와 환경친화적인 관점으로 발전하여 왔다. 본 연구에서는 프베이 도표에 근거하여 전리수를 이용하여 입자를 제거할 수 있음을 예측하고 이를 확인 하였다. 이 때 연구 대상으로 MgO 분말을 사용하였다. 사용된 전리수는 산화전위가 800 ㎷ 이상이고 pH가 3.1으로 산화장 이 강하였다. 전리수에 용해되는 MgO 분말의 무게를 pH에 조사하였으며, 250 ml의 전리수에 100-500 microgram 범위로 용해됨을 알 수 있었다. 이는 lE18 ea/㎤ 정도의 용해 물질을 내포하고 있음을 의미하며, 따라서 lEIS ea/㎤e 정도 수준의 불순물을 다루는 디스플레이 세정에 적용할 수 있음올 알 수 있었다. 특기할 것은 전리수는 반도체의 기판언 실리콘 웨이퍼 의 자연산화막을 식각하여 표면거칠기를 증가시킴을 처음으로 관찰하였다. Display manufacturing process has adopted RCA cleaning, applying to larger area and coping with environmental issue for last ten years. However, the approaching concept of ozonized, hydrogenised, or electrolyzed water cleaning technologies is within RCA clean paradigm. In this work, only electrolyzed anode water was applied to clean particles and organics as well as metals based on Pourbaix concept, and as a test vehicle, MgO particles were introduced to prove the new concept. The electrolyzed anode water is very oxidative with high oxidation reduction potential (ORP) and low in pH of more than 900 ㎷ and 3.1, respectively. MgO particles were immerged in the anode water and its weight losses due to dissolution were measured with time. Weight losses were in the ranges of 100 to 500 micrograms in 250 ml anode water depending on their ORP and pH. Therefore it was concluded that the cleaning radicals in the anode water was at least in the range of 1 to 5×10<sup>20</sup> ea per 250 ml anode water equivalent to 1 ×10<sup>18</sup>ea/㎠. Hence it can be assumed that the anode water applied to display cleaning from now on 1 ×l0<sup>10</sup> to 1×10<sup>15</sup> ea/㎠. ranges of contaminants are being treated. In addition, it was observed that anode water did not develop microon hydrophobic surface while it did on the native silicon oxide.
전기영동 겔과 녹차성분에 대한 환원전리수의 침투력과 용해력
류근걸(Ryoo Kun-kul),이윤배(Lee Yoon-Bae),이종권(Lee Jong-kwon),이미영(Lee Mi-Young) 한국산학기술학회 2005 한국산학기술학회논문지 Vol.6 No.1
본 연구에서는 전기영동 젤에 대한 환원전리수의 침투력과 녹차성분에 대한 환원전리수의 용해력을 일반 물과 서로 비교하였다. 환원전리수로 제조한 CBB-R 염색시약으로 polyacrylamide 젤 상에서 단백질을 다양한 시간 동안 염색한 후, 증류수로 제조한 CBB-R 염색시약에 의한 영색강도와 서로 비교하였다. 그 결과 환원전리수로 제조한 CBB-R 염색시약은 증류수로 제조한 CBB-R 염색시약보다 먼저 단백질을 강하게 염색시켰다. 뿐만 아니라 25℃에서 환원전리수는 일반 물에 비하여 녹차성분에 대해 극히 탁월한 용해력을 나타내었다. 이러한 결과는 환원전리수가 일반 물보다 침투력과 용해력이 매우 강력하다는 것을 보여준다. The permeability of cathodic electrolyzed water toward electrophoretic gel and dissolvability of cathodic electrolyzed water toward green tea components were compared with those of general waters in this investigation. Stained band intensities of the proteins by CBB-R prepared in cathodic electrolyzed water were compared with those in deionized water for various time intervals. Proteins were stained first by CBB-R in cathodic electrolyzed water as compared with those by CBB-R in deionized water. Moreover, cathodic electrolyzed water showed dramatically enhanced solubility toward green tea components at 25℃ than general waters. These results suggest much greater permeability and dissolvability of cathodic electrolyzed water than those of general waters.
유아름(Yu, A-Reum),류근걸(Ryoo Kun-kul),이미영(Lee Mi-Young) 한국산학기술학회 2010 한국산학기술학회논문지 Vol.11 No.11
파라벤은 낮은 독성과 안전성으로 인해 화장품 보존제로 널리 사용되어 왔다. 그러나 최근 파라벤의 잠재적 독성이 알려지고 있다. 본 연구에서는 환원전리수가 널리 사용되는 메틸파라벤에 의한 사람 피부섬유아 세포의 DNA 산화손상을 억제할 수 있는지 알아보기 위하여 코멧어세이를 실시하였다. 그 결과 흥미롭게도 환원전리수는 파라벤에 의한 피부섬유아세포 DNA의 산화손상을 억제할 수 있었다. Parabens have been widely used as preservatives in cosmetics due to the presumed low toxicity and long history of safe use. However, recent studies have shown the potent toxicity of parabens. In order to know if electrolyzed reduced water could suppress the oxidative DNA damage of HDF cell by methylparaben, one of the frequently used parabens, we performed comet assay in this study. As a result, interestingly, electrolyzed reduced water could suppress methylparaben-induced oxidative DNA damage in HDF cells.
박혜린(Park, Hye-Lin),김윤경(Kim Yoon-Kyoun),류근걸(Ryoo Kun-kul),이윤배(Lee Yoon-Bae),이종권(Lee Jong-kwon),이미영(Lee Mi-Young) 한국산학기술학회 2005 한국산학기술학회논문지 Vol.6 No.2
본 연구에서는 환원전리수(electrolyzed reduced water)의 항균력을 살펴보기 위하여 다양한 종류의 세균의 성장에 대한 환원전리수의 제어력을 반응시간에 따라 측정하였다. 환원전리수에 대장균(Escherichia coli)과 바실러스균(Bacillus cereus)를 2 분 동안 반응시켰을 때 각각 약 70%와 61%의 세균 성장이 제어되었다. 이 두 세균을 각각 환원전리수에 30 분 간 노출시켰을 때 약 80%의 대장균이 제어되었으며, 바실러스균은 약 94%가 제어되었다. 녹농균(Pseudomonas aeruginosa) 의 경우 환원전리수와 2 분간 반응시켰을 때 약 55%가 제어되었으며, 반응시간을 4 시간으로 증가시켰을 때 약 65%가 제어 되었다. 표피포도상구균 (Staphylococcus epidermidis)의 성장은 환원전리수와 4 시간 반응시킨 후 약 73%가 억제되었으나, 포도상구균(Staphylococcus aureus.aureus)은 환원전리수와 4 시간 반응시켜도 약 44%만이 제어되었다. The antibacterial effects of electrolyzed reduced water on the bacterial growth were studied in this investigation. Upon treating with electrolyzed reduced water for 2 minutes, about 70% Escherichia coli and 61% Bacillus cereus were controlled. When these two bacteria were exposed to electrolyzed reduced water for 30 minutes, about 89% Escherichia coli and 94% Bacillus cereus were controlled. About 55% Pseudomonas aeruginosa was also controlled upon treateing with electrolyzed reduced water for 2 minutes, and 65% Pseudomonas aeruginosa was controlled during 4 hour incubation. When Staphylococcus epidermidis was treated with electrolyzed reduced water for 4 hours, 73% of the bacterial growth was inhibited, while only 44% Staphylococcus aureus.subsp.aureus was controlled with electrolyzed reduced water for 4 hours.