저 소비전력 Command Receiver 개발 ( Development of Micropower Command Receiver )

서희돈 대한전자공학회 1989 특정연구 결과 발표회 논문집 Vol.- No.-

실리콘 압력센서의 개발

서희돈 경북대학교 센서기술연구소 1991 연차보고서 Vol.1991 No.-

의용전자 분야와 자동차 중요부품, 로보틱스 등 넓은 응용분야를 가지고 있는 압력센스는 IC제조기술의 급진적인 발달로 과거에는 불가능하였던 소형화 및 고성능화기술이 가능하게되었다. 현재까지는 저항값의 변화를 이용하는 압저항센서가 제품화가 용의 했기 때문에 널리 보급되어왔지만 감도가 낮고 온도 드리프트의 영향이 크기 때문에 고감도 및 안정성이 뛰어나고 소비전력이 적은 용량성 압력센서에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 용량형 압력센서의 개발에서는 최근 추세인 소형화로 인해 두드러지게 나타나는 기생용량의 영향과 센서출력의 비선형성 등을 개선하여 저 임피던스로 출력하는 인터페이스회로를 포함하는 One칩화가 필요하다. 또한 압력센서 상용화에 가장 어려운 부분에 하나인 패키징(Packaging)문제는 이에 대한 새로운 미세가공기술(Micromachining Technology)로 낮은 온도에서 정전접합(Electrostatic Bonding)을 할 수 있는 새로운 재료를 사용함으로써 극소화 한다. 따라서 본 연구에서는 용량형 압력센서를 집적회로 제조기술을 이용하여 제작하고 이의출력신호를 검출하는 인터페이스회로를 설계, 제작한 후 센서와 인터페이스회로를 On-chip화로 결합하는 하이브리드형 용량형 압력센서를 개발했다.

COMS Custom IC에 의한 Pulse Powered Command Receiver 개발 ( Development of Pulse powered Command Receiver using CMOS custom Ic Technology )

서희돈,Esashi Masayoshi,최세곤,Matsuo Tadayuki 대한전자공학회 1985 대한전자공학회 학술대회 Vol.1985 No.1

마이크로머시닝에 의한 마이크로센서 · 시스템 제작

서희돈 경북대학교 센서기술연구소 1997 센서기술 Vol.4 No.3

CMOS 표준 셀 설계와 계산기를 이용한 레이아웃에 관한 연구

서희돈 嶺南大學校 工業技術硏究所 1988 연구보고 Vol.16 No.1

This paper describes the CMOS standard cell library implemented sigle poly gate process with 5㎛ design rule, its placement strategy and its results of testing. This standard cell library contains total 10 cells of basic logic gates, double logic gates and input/output buffers. All of the cells were made to have the equal height of 28λ. Cell placement and floor-plan is based on the iterative pairwise interchange using the estiment total routing length as a figure-of-merit. The device parameter and electric charactristics of each cell were investigated in the test element group. As the testing results of Ring Oscillator, the average delay time for inverter was 1.8(ns).

다채널 바이오텔레미터 개발을 위한 전용 IC 및 시스템 제작

서희돈,박종대 대한전자공학회 1994 전자공학회논문지-B Vol.b31 No.8

Implantable biotelemetry systems are indispensable tools not only in animal research but also in clinical medicine as such systems enable the acquisition of otherwise unavailable physiological data. We present the manufacture of CMOS IC and its system for implantable multichannel biotelemeter system. The internal circuits of this system are designed not only to achieve as multiple functions and low power dissipation as possible but also to enable continuous measurement of physiological data. Its main functions are to enable continuous measurement of physiological data and to accomplish on-off power swiching of an implantable battery by receiving appropriate commanc signals from an external circuit. The implantable circuits of this system are designed and fabricated on a single silicon chip using $1.5\mu$m n-well CMOS process technology. The total power dissipation of implantable circuits for a continuous operation was 6.7mW and for a stand-by operation was 15.2$\mu$ W. This system used together with approriate sensors is expected to contribute to clinical medicine telemetry system of measuring and wireless transmitting such significant physiological parameters as pressure pH and temperature.

범용 multiple subjects바이오텔레미트리 CMOS IC의 제작

서희돈,中村哲郞,박종대,松本佳恒 경북대학교 센서기술연구소 1994 연차보고서 Vol.1994 No.-

본 연구는 5㎛ n-well CMOS 공정기술에 의해 제조된 다중생체 바이오텔레미트리 시스템의 제작과 그 동작특성을 기술하였다. 본 시스템은 8 개의 피측정체로부터 선택된 피측정체의 7 개의 생체신호를 연속적으로 체외로 전송 가능하다. FM 송신기와 센서인터페이스 회로를 제외한 체내삽입 시스템을 4×4㎟의 크기로 집적화 하였다. 이 IC를 사용하여 3×3×2.5㎠의 하이브리드 패키지로 내부시스템을 조립할 수 있다. 본 시스템의 주된 특징은 8개의 피측정체로부터 하나를 선택할 수 있고, 또한 선택된 피측정체의 생체신호를 연속측정 가능하고, 외부시스템의 커맨드신호와 선택신호 신호에 의해 체내 삽입된 전원의 ON/OFF가 가능하다. 본 시스템의 목적은 체내 삽입된 서로 다른 센서로부터 계측된 생체정보를 무선으로 전송 가능하여 외부기록계로 생체정보를 수신하는 것이다. 저소비전력은 체내시스템을 CMOS 회로로 구성하였고, 시스템이 사용되지 않을 때는 전원을 OFF 하였고, 또한 전원의 간헐적 동작으로 커맨드수신기 자체의 소비전력도 줄일 수 있다. 국내에서 개발되고 있는 각종센서를 본 시스템과 함께 삽입하면 압력, pH와 온도 등의 생체정보를 측정하여 전송 가능하다. This research presents a manufacture of the multiple subjects biotelemetry system using custom CMOS IC fabricated 5㎛ n-well process technology and proposes the principle operation of the multiple subjects telemetry. This system can transmit maximum 7-channel physiological signals simultaneously from a selected one among the 8 subjects. Implantable circuits of this system, except for the sensor interface circuits and a FM transmitter, are fabricated on a single chip with the size of 4×4㎟. It is possible to assemble the internal system in a hybrid package as small size 3×3×2.5㎠ by using this chip. Main features of this system are to select one of the 8 subjects and to enable continuous measurement of physiological signals, and to accomplish ON/OFF switching of an implanted battery by receiving subject selection signals and command signals from the external circuit. The object of this system is due to transmit physiological signal obtained from the several different implanted system, and to receive such information on external recorders. Low power consumption of internal system is acomplished by using CMOS circuits for the digital part and by disconnecting the power source of analog circuits when the system is not in use, and also achieved by adding a pulse powered circuit to the command receiver which concept involves intermittent getting of the power supply. This system used together with appropriate sensors is expected to be capable of measuring and transmitting such significant parameters as pressure, pH and temperature.

생체신호 처리용 고성능 ASIC 칩 개발

서희돈 경북대학교 센서기술연구센터 1998 연차보고서 Vol.1998 No.-

8개 압저항 브릿지구조를 이용한 저 타축 감도 실리콘 가속도센서

徐熙敦,李榮泰,崔世崑 경북대학교 센서기술연구소 1995 센서技術學術大會論文集 Vol.6 No.1

A low off-axis sensitivity piezoresistive accelerometer has been presented. The off-axis sensitivity was reduced by arrangement of eight piezoresistors on two the beams. The structure and stress distribution of the accelerometer was optimized using FEM(finite element modeling) simulation. The dependence of sensitivity and resonance frequency were also simulated as a function of the beam length for a constant overall size(2000μm). Accurate thickness control of the beams was realized by the etch-stop techonology using SDB(silicon direct bonding) wafer SiO_(2) layer and RIE(reative ion etching) method. This method is relatively simple and very useful for fabrication of accelerometer.

텔레미트리시스템을 이용한 지능화 진단 시스템 개발(Ⅰ)

徐熙敦,朴鍾大,朴且薰,柳東秀,裵溶昱 경북대학교 센서기술연구소 1996 연차보고서 Vol.1996 No.-

본 연구에서는 CMOS 공정에 의거한 광바이오 텔레미트리 전용 IC를 제작하였다. 그리고, 제작된 생체 장착용 전용 IC는 환자의 집중 감시 시스템에 대한 적용성을 알아보았다. 이러한 실험을 행하기 위해 4 생체에 대한 집중 감시 시스템을 구축하였다. 제안된 전체 시스템은 외부 측정 유니트와 생체에 장착하는 전용 IC로 크게 나눌수 있다. 외부 장착 유니트는 생체 선택기, ID 디코더, 광 신호 송수신부 및 전체적인 동작과 상위 시스템과 인터페이스를 위한 원칩 마이크로 프로세서로 이루어져 있다. 본 시스템의 동작을 검증하기 위해 동작은 4개 중 1개가 선택되고 동일한 전송 매체인 광에 의해 생체 신호가 측정되어 지는 것이다. 이 실험에서는 전송된 생체 신호(ECG)와 외부 측정 유니트 비교로써 시스템 동작 여부를 검증하였다. In this study, we fabricated optical telemetry 1C chip using CMOS process. And we presents a manufacture of a biotelemetry system for central monitoring of patients, and proposes the principal operation of the four-subject telemetry. The proposed system is composed of four optical biotelemetry system and external unit. External unit consists of a one-chip microprocessor, a subject selector, a ID-decoder and optical signal transmitter and receiver. In order to demonstrate the principle operations of the implemented CMOS IC chip, the experiments of biotelemetry was performed by telemeter unit and external unit. Main features of this system are to select one of the 4 subjects, to enable measurement of biological signals using the same optical signal, and transmit them back to the external unit. This system is applied to measure ECG signals form two patients.