고위험산모와 일반산모의 산후 6주간 증상에 대한 전향적 관찰 연구 : 일개 한방병원 산후조리원을 이용한 산모를 중심으로

정종관 우석대학교 일반대학원 2019 국내석사

목적 : 산후 6주 동안의 증상을 고위험군과 일반군을 구분하여 관찰하고, 치료 시 적용된 KCD 코드 분석, 삶의 질, 산후우울을 측정하여 산모의 증상 변화를 객관화 하고, 삶의 질 및 우울 변화를 전향적으로 관찰하고자 하였다. 방법 : 2017년 9월 27일부터 2018년 1월 5일까지 출산 후 우석대학교부속한방병원 한방부인과 외래에서 한의치료를 받은 27명의 산모를 대상으로 우석대학교 부속한방병원 전공의인 두 연구자 (KPH, KMY)가 연구등록당일(산후 1주차)부터 6주차까지 매주 1회 문진을 통하여 주요 산후 증상 VNRS를 기록하고, 초기 산욕기 2주간 외래를 방문하여 한의치료를 받을 때마다 적용된 KCD코드를 수집하였다. 또한 산후 1주차, 산후 2주차, 산후 6주차에 각각 부종지수, 삶의 질, 산후우울정도를 평가하였다. 결과 : 결과는 다음과 같다. 본 저자는 2017년 9월 27일부터 2018년 1월 5일까지 분만 후 우석대학교한방병원 한방 부인과 외래에서 한의치료를 받은 27명의 산모들을 대상으로 산후 6주간의 증상에 대한 전향적 관찰연구를 실시하였고, 결과는 다음과 같았다. 1. 27명의 산모 중 고위험 산모가 17명(63.0 %), 일반 산모가 10명(37.0 %)이었다. 고위험군의 평균 연령은 35.12±3.66세였으며, 일반군의 평균 연령은 30.30±2.45세였다. 산후 2주일간 외래진료를 받은 27명의 환자의 총 치료횟수는 184회이며, 1인당 평균 6.81±1.88회의 치료를 받았다. 고위험 환자들의 치료횟수는 6.76±2.11회, 일반 환자들의 치료횟수는 6.90±1.52회로 나타났다. 두 군 간의 치료횟수는 통계적으로 차이나지 않았다(p=0.899). 2. 1주차에 평균 VNRS가 가장 높은 것은 부종이었으며, 2~6주차에는 관절통이 가장 점수가 높았다. 고위험군의 요통의 회복이 일반군에 비해 더디다. 3. 2주간 외래진료에서 사용된 상병코드는 35가지로 총 343회 사용되었으며, 다빈도 상위 10개 상병코드 중 가장 많이 사용 된 코드는 총 47회로 M2557(관절통, 발목 및 발)이었고, 나머지 9개의 코드 중 R601(전신부종), U684(비양허증)을 제외하여 7개의 코드가 모두 M코드(근골격계통)였다. 고위험군에서는 R601(전신부종-28회)이 가장 많이 나타났으며 일반군에서는 M2557(관절통, 발목 및 발-29회)가 가장 많이 나타났다. 4. ECW/TBW는 전체 대상자들에서 산후 1주차 평균 0.399±0.011에서 산후 2주차 0.385±0.008로 통계적으로 유의한 감소를 보였고(p<0.001), 산후 2주차 0.385±0.008에서 산후 6주차 0.383±0.006로 통계적으로 유의한 차이가 없었다(p=0.585). 산후 1주차와 2주차 사이 고위험군(0.403±0.011→0.387±0.006)과 일반군(0.393±0.070→0.383±0.01)은 각각 통계적으로 유의하게 낮아졌고(p<0.05), 산후 1주차 고위험군은 평균 0.403±0.011으로 부종 상태였고 일반군은 산후 1주차 평균 0.393±0.070으로 부종 전 단계였다. 5. EQ-VAS는 고위험군에서 산후 1주차 64.12±13.941에서 산후 2주차 69.35±18.155로 통계적으로 유의하지 않았다(p=0.234). 일반군은 산후 1주차 62.50±21.763에서 산후 2주차 74.00±9.661로 통계적으로 유의하게 증가하였다(p<0.05). 6. EPDS는 전체대상자들에서 모두 시간에 따라 통계적으로 유의한 차이가 없었다. 9점 이상인 환자는 1주차에 고위험군에서 6명(35.29%), 일반군에서 1명(10%)이며 2주차에는 고위험군에서 8명(47.06%), 일반군에서 1명(10%)이고 6주차에는 고위험군에서 5명(29.41%), 일반군에서 2명(22.22%)이었다. 결론 : 1주차에 평균 VNRS가 가장 높은 것은 부종이었으며, 2~6주차에는 관절통이 가장 점수가 높았다. 고위험군의 요통의 회복이 일반군에 비해 더디다. 근골격계 코드가 가장 많이 사용되었으며 고위험군에서는 R601, 일반군에서는 M2557이 가장 많이 나타났다. 산욕기 초기 고위험군의 부종지수가 일반군에 비해 높다. 또한, EQ-VAS는 일반군이 산후 2주간 유의하게 증가함에 비해, 고위험군은 유의하게 증가하지 않았다. EPDS는 유의한 차이를 보이지 않았으나 고위험군이 일반군에 비해 산욕기 초기 2주간 2점 이상 큰 수치를 보였고 9점 이상인 비율도 산욕기 2주간 2배이상 높았다. Purpose: The aim of this study was to observe the changes of women's postpartum symptoms, KCD codes that were used when participants were treated, the quality of life (by EQ-VAS) and depression scale EPDS over the first six weeks after childbirth. Methods: The participants of this study were 27 postpartum women that were treated in the Department of Obstetrics & Gynecology, at Korean Medicine Hospital of Woosuk University, from September 27th, 2017 to January 5th, 2018. The collection method of the postpartum numerical rating scale was to interview each participant once a week, who treated by Korean medicine by two residents (KPH, KMY) at Woosuk University Korean Medicine Hospital from the research registration day(first week) to 6th week after childbirth. During the first 2 weeks, the residents investigated the KCD codes when the participants were treated by Korean medicine. Also the residents evaluated edema index ECW/TBW, the quality of life (by EQ-VAS) and depression scale EPDS at 1st, 2nd and 6th week after childbirth, and compared the averages. Results: 1. There were 17 high risk participants(63.0 %) and 10 normal participants(37.0 %). The average of high risk group was 35.12±3.66 and the average of normal group was 30.30±2.45. Over the first two weeks of postpartum period, the number of 27 patients` treatment was 184 and mean value was 6.81±1.88. The mean value of high risk group`s treatment was 6.76±2.11, and the mean value of normal group`s treatment was 6.90±1.52. But this difference was not significant statistically(p=0.899). 2. The VNRS of edema is the highest in the first week, and the VNRS of joint pain is the highest from the second week to the sixth week in all patients. The lower back pain score of high risk group restored slower than normal group. 3. 35 kinds of code were used and the total number of used KCD code was 343 times. The most used KCD code in the first 2 weeks was M2557(Pain in joint, ankle and foot-47 times). Of the remaining 9 codes, all seven codes were M codes (musculoskeletal system) except for R601( Generalized oedema-40times), U684(Pattern of spleen yang deficiency-18times). R601(Generalized oedema-28times) was most used in high risk group and M2557(Pain in joint, ankle and foot-29times) was most used in normal group. 4. During the first 2 weeks of postpartum period, the ECW/TBW of all participants significantly decreased from 0.399±0.011 to 0.385±0.008(p<0.001). From the 2nd week to the 6th week, the ECW/TBW decreased from 0.385±0.008 to 0.383±0.006, but this difference was not significant statistically(p=0.585). The ECW/TBW of high risk group significantly decreased from 0.403±0.011 to 0.387±0.006(p<0.05) in the first 2 weeks. The ECW/TBW of normal group significantly decreased from 0.393±0.070 to 0.383±0.011(p<0.05) in the first 2 weeks. The mean of high risk group in the first week of the postpartum period was 0.403±0.011 and they were edema. The mean of normal group was 0.393±0.070 and they were pre-edema. There was a statistically difference between high risk group and normal group in the first week(p<0.05). 5. The EQ-VAS of high risk group increased from 64.12±13.941 to 69.35±18.155(p<0.05) in the first 2 weeks. But this difference was not significant statistically(p=0.234). The EQ-VAS of normal group significantly increased from 62.50±21.763 to 74.00±9.661(p<0.05) in the first 2 weeks. 6. The difference of EPDS was not statistically significant between the first week and the sixth week in every participants. In the first week, there were 6 people(35.29%) in high risk group and 1 person(10%) in normal group that got more than 9 points. In the second week, there were 8 people(47.06%) in high risk group and 1 person(10%) in normal group. In the sixth week, there were 5 people(29.41%) in high risk group and 2 people(22.22%) in normal group. Conclusion: The VNRS of edema is the highest in the first week, and the VNRS of joint pain is the highest from the second week to the sixth week. The lower back pain score of high risk group restored slower than normal group. The musculoskeletal system and connective tissue code was most used in all participants, R601(Generalized oedema-28times) was most used in high risk group and M2557(Pain in joint, ankle and foot-29times) was most used in normal group. The edema index was significantly different between high risk group and normal group in the first week(p<0.05). The EQ-VAS of normal group significantly increased(p<0.05) in the first 2 weeks but high risk group didn`t increase significantly. The difference of EPDS was not statistically significant between the first week and the sixth week in every participants. But high risk group was 2 points higher than normal group in the first 2 weeks. The ratio of 9 points or more of high risk group was more than twice than normal group in the first 2 weeks in the postpartum period.

산후 우울증의 선별도구간 일치도 및 관련요인 연구

김미운 경상대학교 대학원 2009 국내박사

The objectives of this study are to assess agreements among screening tests, to estimate prevalence, and to identify related factors with postpartum depression in Korea. For Three hundred and twenty eight women at 7 days postpartum (192 vaginal deliveries, 136 Cesarean deliveries) from 2 maternity clinics, from June, 2007 to June, 2008, self-administered questionnaires were given including three kinds of screening tests for postpartum depression, ie, EPDS (Edinburgh Postnatal Depression Scale), QIDS-SR16 (Quick Inventory of Depressive Symptomatology - Self Response 16) and BDI(Beck Depressive Inventory) and questionnaires for their demographic and psycho-social information. Obstetric information were collected from medical records. Of them five were excluded from incomplete information, and 323 women were analysed. A simultaneous positive results in both EPDS and BDI were defined as postpartum depression, in which considered as a gold standard, and used to estimate the prevalence of postpartum depression in this study. The prevalence of postpartum depression was 19.8%(64/323). The Kappa indices of BDI, EPDS, and QIDS-SR16 with the gold standard in this study were 0.711, 0.803, and 0.395, respectively. In the logistic regression analysis, gestational age at delivery of <37 weeks (adjusted odds ratio of 2.9 with 95% confidence interval 1.1-7.7) compared to gestational age at delivery of ≥37 weeks, formulated feeding (adjusted odds ratio of 3.8 with 95% confidence interval 1.1-12.6) compared to breast feeding, marital dissatisfaction (adjusted odds ratio of 4.3 with 95% confidence interval 1.6-11.7) compared to marital satisfaction, professional husband's occupation (adjusted odds ratio of 4.4 with 95% confidence interval 1.5-12.6) compared to non-professional husband's occupation, and antenatal anxiety/depression symptoms (adjusted odds ratio of 4.4 with 95% confidence interval. 2.0-9.9) compared to no such symptoms were significantly related to postpartum depression. To establish the findings in this study, further prospective community-based studies are warranted.

Screening and Surveillance of Postpartum Depression: A Quality Improvement Project to Implement Screening in Primary Care

Nwanonenyi, Adaeze Nkeiruka ProQuest Dissertations & Theses Brandman Universit 2020 해외박사(DDOD)

Maternal depression also known as postpartum depression (PPD) is identified as a common complication affecting 10% to 15% of all women after childbirth. PPD is associated with adverse outcomes in infant and maternal health. Negative impacts can be reduced with early diagnosis and management. Although manageable and treatable, it remains largely undetected by primary care providers. Although mothers are receptive to screening, screening rates are less than 50%.Thus, screening for PPD is imperative in the primary care setting. The purpose of this quality improvement project is to implement PPD screening into routine practice in primary care by 1) Initiate PPD screening using an evidence-based screening tool to identify women at risk or likely suffering from PPD and 2) Development of a referral algorithm tool to support PPD screenings and guide healthcare providers in clinical practice. This quality improvement project is aimed at implementing screening tools to enhance early identification of women with PPD symptoms in routine primary care practice. CSP took place at a federally qualified health center (FQHC) in Compton, California which serves a vulnerable population. A total of 50 mothers completed the EPDS for 12 weeks. Out of the 50 PPD screens, 32 women had negative screens, 12 women were identified at risk and 6 women had positive screens. In general, the primary care setting can be utilized as an additional opportunity to identify mothers with symptoms of PPD.

한우의 유전형질, 도체등급, 사육기간을 고려한 적정 사양관리 연구

김세혁 경북대학교 대학원 2019 국내박사

The Korean native cattle, Hanwoo, have always been a part of Korean life and are the dominant species in the domestic livestock industry. The recent trade liberalization under the Free Trade Agreement is expected to have a serious impact on the domestic agricultural sector, especially the Hanwoo industry. Therefore, farmers who breed Hanwoo must take various measures to improve management efficiency. In general, Hanwoo farmers can maximize their profits through the improvement of their rearing management technology. Rearing management includes the following three methods: (1) reduction of production costs, (2) production of calves with superior traits, and (3) feeding techniques to improve the meat grade during the growing period. Various studies on Hanwoo have been undertaken in the natural science and social science fields, but there have not been many attempts to combine the two fields. In this study, I attempt to bridge this gap and provide useful information for Hanwoo farmers and the development of the Hanwoo industry, through the following three themes. The first is the effect of expected progeny difference (EPD) trait bundles on the profit of Hanwoo steers, which can improve farm income by resolving the farmers problem of semen selection. The results show that the A and B ranks of the EPD traits are important, but so are the appropriate trait combinations. Thus, if A or B rank semen is not available at the appropriate mating time, suitable trait combinations can be used even if the semen is of C or D rank. The second is the effects of genetic and environmental factors on the carcass grade of Hanwoo steers, which were analyzed by treating both meat quality and meat yield grades as dependent variables, unlike previous studies which treated them as dependent variables, respectively. This reduced the bias in the estimation of the endogeneity of meat quality grade and meat yield grade that was observed in previous studies. Third, with regard to the effect of the rearing period on the Hanwoo steers, the real option value based on probability theory was used to find the optimal rearing period of the steers to reduce the production cost which is the largest proportion of total rearing cost. The results indicate that the real option value increased in the 1st week of 25 months, showed the maximum value at the 4th week of 27 months, and thereafter, it decreased in the waveform. The results of this study on the appropriateness of rearing management analysis through these three themes can provide useful insights for Hanwoo farmers and the domestic Hanwoo industry. However, there is a need to supplement the methodology and data collection to arrive at more advanced research results.

Preparation of Si/CNFs Composite Anode by Electrophoretic Deposition (EPD)

Yao, Meng ProQuest Dissertations & Theses West Virginia Univ 2017 해외박사(DDOD)

Recently, lithium ion batteries (LIBs) have been widely used in the field of portable electronic devices and electric vehicles due to high adaptability, high working voltage and low toxicity. However, traditional electrode materials have greatly limited the future of LIBs because of their low theoretical specific capacities; meanwhile, new electrode materials always need to be prepared by complicated and expensive methods, indicating the small probability of large-scale promotion. In this study, the Si/CNFs composite film anode without any binder by a simple and effective method - electrophoretic deposition (EPD) - is developed, which exhibits improved electrochemical properties. This thesis is firstly focused on building a metastable/stable system for the multi-component (Si/CNFs) EPD. It’s observed that in the basic condition (pH9 – 10) or acidic condition (pH0.5), a suspension in ethanol consisting of surface-modified Si and CNFs can approximately keep stable for at least 0.5h, which can meet the minimum requirements for a successful deposition. Based on the dynamics analysis, a new “three-step growth theory” on the deposition process is proposed. Then, this thesis is focused on preparing different composite films by EPD and improving their electrochemical performance via optimizing the component and microstructures. Three kinds of Si nanoparticles are used: Si, Si with hydroxyl groups (Si-OH) and Si with amino groups (Si-NH2), while only one carbonaceous material is investigated: CNFs with carboxyl groups (CNFs-COOH). The possible factors on the film density, thickness and the microstructure have been studied, including the applied voltage, concentration, additives and after-treatment procedures. The results show that each dense composite film exhibits better performance than the tradition graphite anode. To be specific, the Si/CNFs-COOH film is obtained in ethanol by EPD at pH10, which has the specific capacity of 610 mAh/g after 100 cycles at 400 mA/g. The Si-OH/CNFs- COOH film with honeycomb structure is obtained in ethanol by EPD at pH10, which has the specific capacity of 510 mAh/g at 400 mA/g after 300 cycles. The Si-NH2 /CNFs-COOH film is obtained by EPD at pH0.5, which has the specific capacity of 1020 mAh/g at 400 mA/g after 100 cycles.

PET-CT 검사에서 18F에 의한 피폭 선량 평가에 대한 연구

김창주 인제대학교 일반대학원 2020 국내석사

본 연구는 양전자 방출 단층촬영 (Positron Emission Tomography,‘이하 PET라 함’) 검사 중 사용되는 방사성동위원소 플로오르-18 (Fluorine-18, ‘이하 18F라 함)에 대한 선량을 평가하여 환자와 보호자의 방사선에 대한 불안감을 완화하고자 한다. 또한, 의료기관 인력 및 공간 확보 문제, 건강검진으로 인한 무분별한 검사 진행을 최소화하는 데 그 목적이 있다. 선량평가는 방사선조직가중치(Table 5) 중 높은 조직 세 부위인 경부(갑상선), 흉부(심장), 하복부(생식선) 위치에 TLD (Thermoluminescence Dosimeter, ‘이하 TLD라 함’)와 EPD (Electronic Personal Dosemeter, ‘이하 EPD라 함’)를 이용하여 측정하였다. 또한, GM (GM: Geiger-Muller, ‘이하 GM라 함’) 계수기와 전리함을 이용하여 공간선량률과 소변에서의 방사능을 측정하였다. 측정 기간은 2020년 4월 1일부터 2020년 4월 30일까지 총 30일 소요하였다. 전문 기관에 의뢰하여 TLD 판독을 하였고, 전용 소프트웨어를 이용하여 EPD 판독을 하였다. 그 결과는 다음과 같다. 첫째, 개인선량계인 TLD는 하복부 0.19 mSv/h, EPD는 경부 1.17 mSv/h로 선량이 가장 높게 측정되었다. GM 계수기에서 공간선량률은 0.052 mSv/h, 전리함을 이용한 소변에서의 방사능은 2.0 MBq로 측정되었다. 둘째, 개인선량계별 TLD보다 EPD가 10배로 높게 평가되었다. 셋째, 환자로부터 보호자가 받는 피폭선량은 자연방사선인 2.4 mSv/yr보다 약 1.29배가 많은 3.1 mSv/yr로 평가되었다. 방사선 종사자가 1일 5건의 검사를 진행할 시 피폭선량은 약 4 mSv로 연간 자연방사선보다 약 1.7배가 많은 것으로 평가되었다. 이러한 결과로 볼 때 18F-FDG 투여 후 최소 4시간 동안은 격리병동을 이용하도록 하고 보호자와의 접촉도 피해야 한다. 방사선 종사자는 법적으로 1일 PET-CT 검사 진행 수를 5건 이하로 제한하고 누적선량을 관리할 수 있는 법적 제도가 마련되어야 한다. 환자와 보호자에게 충분한 설명과 함께 피폭선량 예상 값을 제공하여 무분별한 검사를 지양해야 하도록 할 필요가 있을 것으로 판단된다. 본 연구에서 실측 실험한 데이터를 통해 환자와 가족들이 방사선에 대한 불안감을 해소하기를 바라며, 방사선 종사자의 피폭관리 시스템과 제도적 개선을 통해 의료방사선 발전에 힘이 되리라 기대한다.

TIPS-Pentacene을 이용한 전기영동 디스플레이용 OTFT-backplane 제작

황정원 동아대학교 대학원 2012 국내석사

TIPS-Pentacene을 이용한 전기영동 디스플레이용 OTFT-backplane 제작 Fabrication of OTFT-backplane for Electrophoretic Display Using TIPS-Pentacene 전자공학과 황 정 원 지 도 교 수 송 정 근 유기 박막 트랜지스터 (Organic Thin Film Transistor : OTFT)는 저가격화, 대면적화, 유연성 등의 장점을 갖추고 있기 때문에 활용도가 높은 디스플레이의 핵심 소자이다. 특히, 능동 구동형 플렉시블 디스플레이 구현을 위한 OTFT 기술은 이미 많은 연구 개발이 진행되어 왔으며 단위 소자 수준에서는 기존의 비정질 실리콘 TFT와 유사한 수준 혹은 그 이상의 수준에 이르렀다. 하지만 대면적에서 성능 균일성 확보의 난제와 진공증착 및 리소그라피 공정에 의한 높은 공정비용, 유기물의 불안정에 의한 소자 성능의 열화 문제 등 실상용화를 실현하기 위해서는 해결해야 할 문제가 아직도 많이 남아 있다. 본 논문에서는 저가격화 실현과 공정의 단순화를 위해 대면적 기판에 인쇄 공정을 적용하여 EPD(Electrophoretic display)용 OTFT-Backplane 제작하는 연구를 하였다. 먼저 기판온도가 TIPS-pentacene의 결정성에 미치는 영향에 대하여 연구 하였고, 물리적인 메카니즘을 제시 하였다. 또한 기존의 보고되고 있는 결정성 개선 연구와 달리 별도의 추가 공정 없이 단순히 온도 제어만으로 결정성을 높였고, 이를 소자에 적용 하였을 때 균일한 성능을 얻을 수 있었다. 이 결과를 토대로 대면적 6inch OTFT-backplane을 inkjet printing 공정을 적용하여 제작 하였고, 균일한 성능을 확보할 수 있었다. 또한 기존의 진공 증착 공정과 비교하여 더 나은 성능을 보였으며, passivation 공정 후 일어나는 성능 변화 역시 최소화 되었다. 제작된 OTFT-backplane의 해상도는 150 × 192 으로 1-OTFT, 1-Cap. 으로 구성되어 있고, OTFT-backplane 제작공정은 크게 기판 세척 공정, 게이트 전극과 스캔 배선라인 공정, 게이트 유기 절연막 형성공정, 소스/드레인 전극과 데이터 배선라인 공정, Inkjet Printing 공정을 이용한 TIPS-Pentacene 성막 공정, ILD(Interlayer Dielectric) 성막 및 via hole 형성 공정, 픽셀 전극 형성 공정으로 총 7개 단계로 나눈다. 기판에 제작되어진 OTFT-Backplane에서 트랜지스터는 28,800개이며, 특성을 분석한 결과 전계 이동도는 0.21 (± 0.05) cm2/V·sec, 전류 점멸비는 3.96 (± 1.45) × 107, 차단상태의 전류는 6.61 (± 3.08) × 10-4 pA/um 로써 성능편차가 25%로 우수한 성능을 나타내었다. 더욱이 본 논문에서 형성한 ILD은 유기 반도체의 보호층 역할까지 수행하여 시간이 지난 후에도 안정적으로 동작 하였다. 최종적으로 OTFT-backplane에 EPD 패널과 구동 드라이버를 결합시켜 다양한 형태의 이미지를 구현하는데 성공하였다. 이와 같이 TIPS-pentacene OTFT를 이용하여 EPD용 backplane을 인쇄공정으로 제작하고 그 동작특성을 확인함으로써 인쇄공정을 이용한 플렉시블 디스플레이의 실현과 유기물의 균일한 성능 확보 가능성을 확인 하였다. 이러한 연구 결과들은 EPD 뿐만 아니라 LCD 혹은 OLED에도 적용이 가능하며, 대면적에 저렴한 공정을 적용하여 RFID, 스마트 카드, 센서와 같은 다양한 분야에도 적용이 가능하다. 주요어:유기박막트랜지스터(OTFT), 기판온도, morphology, OTFT- backplane, Bis(triisopropylsilylethynyl) pentacene (TIPS pentacene), EPD(Electrophoretic Display)

EPD법을 적용한 YBCO 초전도 후막 테이프의 진동정렬전착 공정기술 개발 연구

전용우 明知大學校 2003 국내박사

본 논문은 초전도성 YBCO분말을 사용하여 전기영동전착법을 적용한 YBCO 초전도 후막 테이프 제조의 진동정렬전착 공정기술 개발과 최적화 방안에 대하여 연구하였다. 전기영동전착법은 제작장치와 공정이 간단하고 두께제어 및 다양한 형태의 초전도 막과 선재 제작이 가능한 경제적 효율성과 기술적 장점을 가지고 있다. 일반적으로 초전도 특성을 향상시키기 위한 방법으로 물리적 힘에 의한 초전도 분말의 균일한 표면 확보 및 고밀도화가 필요하다. 그러나 전기영동전착법의 특성상 물리적 힘에 의한 고밀도화에 어려움이 따르고 전착후막의 기공과 크랙현상을 발생시키는 단점으로 인하여 전기영동전착법에 의한 입자의 고밀도화를 위해서는 전착과정에서 현탁분말 입자의 치밀성 및 일정한 방향성을 위한 공정기술이 요구된다. 따라서 본 논문에서는 전착공정 개발을 통한 분말의 치밀성 및 배향성 향상을 위한 최적화 방안과, 건조 및 열처리 과정에서의 크랙 및 기공현상과 같은 문제점을 극복할 수 있는 균일한 표면의 확보에 관한 연구를 수행하였으며 전기영동전착 초전도 후막 테이프 제조를 위한 공정의 최적화 방안에 대하여 연구하였다. YBCO 초전도 후막의 균일한 표면과 초전도특성 향상을 위한 공정 개선방법으로는 수직방향 교류전계 인가 방식을 적용한 시스템을 최초로 개발하여 전기영동전착 공정에 적용하였다. 즉, 매우 무질서하게 전착되는 분말입자의 배향전착(oriented deposition)을 위하여 현탁된 분말입자에 교류전계를 인가하여 테이프 형태의 Ag 모재에 c축 배면방향으로 입자를 정렬, 유지시키면서 유진동(shaky flow) 상태에서 전착시키는 진동정렬 전착(shaky-aligned electrophoretic deposition : shaky-aligned EPD) 기법으로 이를 전기영동전착 공정에 적용하였으며, 공정의 기술적 최적화를 통한 전기영동전착 후막의 균일하고 치밀한 표면확보와 함께 임계전류밀도 특성을 향상시켰다. 본 연구에서 제안한 수직방향 교류전계 인가 방식은 경제적 효율성을 위하여 60㎐의 25∼120 V/㎝의 상용전원을 사용하였으며, 제작된 후막은 기공과 크랙현상이 제거된 균일한 후막으로 여기서 얻어진 대표적인 특성 값들은 임계온도(T_c,zero) 90 K, 임계전류밀도 3419 A/㎠의 값을 얻었다. 직류 전착전계만을 사용하여 제작된 후막의 임계전류밀값인 2354 A/㎠에 비하여 45% 이상 향상된 특성을 확보함으로써 그 우수성을 판단할 수 있으며, 특히 300 V/cm이상의 고전압에서 150 ㎐ 이상의 주파수를 사용하는 보조전계 방식과는 달리 상용주파수의 전원을 사용하여 특성을 향상시켰다는 점에서 비교될 수 있다. 따라서 최초로 개발된 수직방향 교류전계 인가 방식의 전기영동 전착법을 적용함으로써 기존의 전착전계 인가 방식에 비하여 전기영동전착 후막의 균일한 표면확보 및 임계전류 밀도를 보다 향상시킬 수 있었으며, 제작공정의 병행 개선점으로 BaF_2 및 PEG 등의 첨가제를 사용하던 선행연구의 전착공정을 단순화하였다. 위와 같은 연구결과를 바탕으로 제작된 초전도 막은 MRI, 자기부상열차, 고용량전선 등과 같은 전기전자, 의료, 기계 분야의 핵심산업 및 첨단 소재의 응용분야에 이르기까지 매우 효과적으로 적용될 수 있을 것으로 사료된다.

백색광을 이용한 12" spin etcher용 실시간 박막(Oxide and Polysilicon) 두께 측정

서학석 韓國技術敎育大學校 大學院 2003 국내석사

반도체 제조 공정의 핵심 장비인 웨이퍼 spin etcher는 웨이퍼 표면에 chemical을 분사하여 표면의 막질(film)을 제거하는 장비로서 Diping 또는 wetting에 의한 etching보다 식각률이 10배 이상 커서 생산성이 높고 etching외에 cleaning작업이 동시에 가능한 장점이 있다. wet station과 같이 시간이 많이 소요되는 습식 식각 방법과는 달리 식각 시간의 제어만으로는 식각 공정의 관리가 쉽지 않은 단점이 있다. 그러므로 식각 상태(etching rate)를 정확히 모니터링하지 않으면 식각 후 uniformity가 나쁘거나 과도한 식각, 또는 부분 식각의 우려가 높다. 종래의 반도체 습식 에칭 공정에서의 end-point 결정 방법은 일정한 chemical 농도나 온도, RPM조건에서 수십회의 반복 실험을 통해 최적의 식각 시간을 결정하여 사용하였다. 식각량을 측정하기 위한 spin etcher에서의 end-point detection(EPD)기술은 웨이퍼 식각 공정에서 필수적인 핵심기술로서 식각 층의 uniformity나 두께는 물론 run-to-run제어, process drift를 감지하여 etching공정의 정도를 높이는데 중요한 수단이라고 할 수 있다. EPD나 두께측정을 실시간 모니터링 하기 위해서는 유체 경계 면과 회전하고 있는 식각 층에서 측정된 광 간섭신호를 분석하여 처리할 수 있는 소프트웨어와 하드웨어가 필수적으로 개발되어야 하며, 본 연구는 이러한 spin ether에서 사용할 수 있는 측정 소프트웨어와 EPD 장치를 개발하였다. This paper proposes a thickness measurement method of silicon-oxide and poly-silicon film deposited on 12" silicon wafer for spin etcher. Halogen lamp is used as a light source for generating a wide-band spectrum, which is guided and focused on the wafer surface through a optical fiber cable. Interference signal from the film is detected by optical sensor to determine the thickness of the film using spectrum analysis and several signal processing techniques including curve-fitting and filtering. Test wafers with two kinds of priori-known films, silicon-oxide(500nm) and silicon-oxide(600nm), are measured while the wafer is spinning at 20Hz and DI water flowing on the wafer surface. From experiment results the algorithm presented in the paper is proved to be effective with accuracy of maximum 1.2% error.

전기영동증착법을 이용한 중저온 SOFC용 Sm-Ce-O(SDC) 전해질 필름의 제조

이경섭 전북대학교대학원 2010 국내석사

In this work, a nano-sized samaria-doped ceria(SDC) was prepared by a urea-based hydrothemal method and the synthesized SDC powders were characterized. It was observed that the increase in synthesis time and temperature gave rise to particles size increase from XRD pattern investigation. Subsequently for use as an electrolyte for anode-support intermediate temperature solid oxide fuel cell(IT-SOFC), SDC thin film was deposited on a porous NiO-SDC substrate by an electrophoretic deposition(EPD) method. The resulted thin film surfaces prepared from the EPD solution added with various amounts of polyethylene glycol(PEG) were studied. The defects in the film turned out to be reduced as the concentration of PEG increased. Also in the high deposition voltage, the hydrogen gas was evolved by the electrode reaction and the defect increased thereby. Thus, an increased film thickness due to prolonged deposition time also deteriorated the film quality. The most homogeneous SDC thin film formed in the experimented range was obtained when using acetone solvent with constant voltage of 20V for 10 s.