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PVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 공정개발
염병렬,박형호,최치규,이종덕,김건호,이정용,서경수,강민성 濟州大學校 基礎科學硏究所 1997 基礎科學硏究 Vol.10 No.2
Ar과 N₂?가스가 혼합된 분위기에서 반응성 스퍼터링 방법에 의하여 TiN 박막을 증착하였다. N₂ 가스의 농도는 화학양론적으로 TiN이 형성되는 조건에 맞도록 조절하였으며, 기판의 온도는 실온에서 부터 700℃의 범위내로 유지하였다. (111) texture 구조를 가지면서 화학양론적으로 Ti??N??인 박막은 기판의 온도가 600℃ 이상에서 형성되었고, 기판의 온도가 600℃ 이하에서는 형성된 박막은 N-과다형이었다. XRD, XPS 및 RBS 분석 결과 TiN 박막의 조성비는 기판의 온도에서 다소 의존하였으나 약 5% 이내에 불과하였다. TiN 박막의 면저항은 기판온도의 증가에 따라 감소하였고, 기판온도가 600℃에서 증착된 TiN 박막의 면저항능 14.5Ω/□ 였고, Ar―가스 분위기에서 700℃로 30초간 열처리한 후는 8.9Ω/□ 이었다. 따라서 반응성 스퍼터링방법에 의하여 형성되는 양질의 TiN 박막은 기판온도가 600℃이상이 최적조건임을 알았다. Titanium nitride (TiN) films were prepared by reactive sputter deposition in mixed gas of Ar+N₂?. The volume percentage of N₂ in the working gas was chosen so as to grow stoichiometric TiN films and the substrate temperature during film growth was set from room temperature to 700℃. stoichiometric Ti??N?? films with (111) texture were grown at temperatures over 600℃, while films prepared at temperatures below 600℃ showed N-rich TiN. The composition x and y in the Ti??N?? films determined by XPS and RBS varied within 5% with the substrate temperature. The sheet resisstance of the TiN films decreases as the substrate temperature increased. TiN film prepared at 600℃ showed 14.5Ω/□, and it decreased to 8.9Ω/□ after the sample was annealed at 700℃, 30 sec in Ar-gas ambient by RTA. By far, high quality stoichiometric TiN films by reactive sputtering in the mixed gas ambient could be prepared at substrate temperature over 600℃.
Fabrication of Hexagonal Lattice Co/Pd Multilayer Nanodot Arrays Using Colloidal Lithography
Jeong, Jong-Ryul,Kim, Sarah,Kim, Sang-Hyun,Bland, J. A. C.,Shin, Sung-Chul,Yang, Seung-Man WILEY-VCH Verlag 2007 Small Vol.3 No.9
<B>Graphic Abstract</B> <P>Join the dots: Co/Pd multilayer nanodot arrays with tunable sizes have been fabricated using colloidal lithography. The arrays were shown to exhibit maxima in their coercivities due to the magnetostatic interaction between the metal dots. The SEM image shows that smaller particles can often be observed when the arrays are exposed to an O<SUB>2</SUB>/CF<SUB>4</SUB> plasma for short periods (disappearing upon longer exposure). Scale bar=500 nm. <img src='wiley_img/16136810-2007-3-9-SMLL200700156-content.gif' alt='wiley_img/16136810-2007-3-9-SMLL200700156-content'> </P>