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화합물-실리콘 이종 반도체 융합 공정에 따른 실리콘 웨이퍼 뒷면 비소 오염 최소화 연구
임성규(Sung-Kyu Lim),김도균(Do-Kywn Kim),황해철(Hae-Chul Hwang),김진수(Jin-Su Kim),신찬수(Chan-Soo Shin),이희덕(Hi-Deok Lee),김대현(Dae-Hyun Kim) 대한전자공학회 2016 대한전자공학회 학술대회 Vol.2016 No.6
In this paper, we have investigated a pathway to mitigate the arsenic (As) cross-contamination on a back side Si wafer during GaAs growth by metal-organic chemical vapour deposition (MOCVD). Without a proper protocol doing a III-V on Si heterogeneous epitaxy, We have observed high levels of the As concentration on the back side Si wafer, easily in excess of 1 × 10<SUP>20</SUP> atoms/㎤ by secondary ion mass spectrometry (SIMS) analysis and 10<SUP>15</SUP> atoms/㎠ by total reflection X-ray fluorescence (TXRF) analysis, after GaAs growth on Si. This known level of contamination on wafers would disqualify them for fabrication in existing Si VLSI FABs. In order to mitigate the As cross-contamination, we have proposed a SiO2 protection layer on the back side of the Si wafer. From both SIMS and TXRF analysis, the proposed scheme has dramatically lowered the back side as concentration to 1.5 × 10<SUP>16</SUP> atoms/㎤ by SIMS and 1.0 × 10<SUP>10</SUP> atoms/㎠ by TXRF.
포도 ‘캠벨얼리’의 웨이크만과 개량일자형 수형에서의 노동력과 생장특성 비교
박서준(Seo-Jun Park),조은경(Eun-Kyung Cho),김수진(Su-Jin Kim),허윤영(Youn-Young Hur),남종철(Jong-Chul Nam),황해성(Hae-Sung Hwang),박정관(Jeong-Kwan Park),정성민(Sung-Min Jung) (사)한국생물환경조절학회 2016 생물환경조절학회지 Vol.25 No.3
개량일자형 수형과 웨이크만식 수형은 우리나라에서 가장 널리 사용되는 수형으로 ‘캠벨얼리’와 같은 단초전정형 품종에 장점을 가지고 있다. 본 시험에서는 웨이크만식 수형과 개량일자형 수형에서의 노동시간과 노동강도를 비교하였다. 그 결과, 송이다듬기는 웨이크만식 수형에서 17.3 시간/10a, 개량일자형 수형에서 12.3/10a 시간이 소요되었다. 봉지씌우기는 웨이크만식 수형에서 10.1 시간/10a, 개량일자형 수형에서 8.2 시간/10a가 소요되었다. REBA index를 이용하여 송이다듬기와 봉지씌우기의 노동강도를 확인한 결과 웨이크만식 수형에서 13점, 개량일자형 수형에서 8.6점을 나타내었다. 한편, 개량일자형 수형에서는 포도나무 신초들의 절간장과 절간굵기의 강한 생장도 감소하였다. 결과적으로 개량일자형 수형은 우리나라의 포도과원 생력화에 더욱 편리한 수형이다. Modified T trellis (MT) and Wakeman trellis (WT) were widely used Korean vineyard because they had an advantage for spur pruning type cultivar such as Campbell Early. In this experiment, we compared labor time and intensity for bunch management between MT and WT trellis systems in ‘Campbell Early’ grapes. As a result, berry thinning was required 17.3 hours (10a) on the WT trellis but was required 12.3 hours (10a) on the MT trellis. In like manner, bagging was required 10.1 hours (10a) on the WT trellis but was required 8.2 hours (10a) on the MT trellis. On the other hand, labor intensity measured on berry thinning and bagging practices using REBA (Rapid Entire Body Assessment) index, then WT trellis was scored 13.0, but MT trellis was scored 8.6. Meanwhile, MT trellis reduced vigorous growing of internodes length and width on grapevine shoots. Consequently, MT trellis is more convenience trellis for working ergonomically in Korea vineyard.