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박헌휘,이춘수,함승주 호서대학교반도체제조장비국산화 연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
Anhydrous HF 가스와 CH₃OH vapor 를 사용하여 저압의 기상영역에서 산화막 식각공정을 수행할 수 있는 장치 기술을 개발하기 위하여, 기제작된 VPC 장치를 활용하여 산화막 식각공정 연구를 진행하였다. VPC 장비에서 가스 Flow시의 Chamber 내의 압력 변화를 측정하였으며, TC Wafer를 이용한 Wafer 상의 온도 Uniformity 측정하였다. 또한 RF-Plasma Generation 테스트를 실시하였다. 그리고 Oxide Wafer Etching 실험을 etching time, wafer 종류, 압력 등 여러 조건을 변화시켜 가면서 수행하였다. 또한 Etch Uniformity 를 향상시키기 위하여 Shower Head의 구조를 변경시켜서 실험하였으며, 컴퓨터 Simulation 을 이용하여 Reactor 내에서의 HF gas 및 CH3OH vaper의 분율을 예측하였다.
새로운 세정 Bath Type 의 제안 및 유동현상해석에 따른 타당성 평가
함승주,강운용,김동주 호서대학교반도체제조장비국산화 연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
기존의 bath가 가지고 있는 문제점을 해결하기 위해 tapered manifold의 유체배출 흐름 특성을 살펴보고 가시화 기법을 이용하여 2면 overflow방식의 bath 내부 flow pattern을 살펴보았다. 그 결과 4면 overflow 방식에 비해 균일한 흐름이 얻어졌으며 치우침현상도 개선된 형태를 보여주었다. 또한 bath 내에 rod를 장착하는 rod upflow 방식이 제안하여 이에 대한 simulation을 수행하였다. 이 경우에 있어서 중요한 공정변수로는 bath 내 rod와 rod 간의 간격, inlet의 너비, rod와 bath와의 간격 등이다. 먼저 inlet 이 4곳인 겨우2-D simulation 결과 벽면쪽 inlet 에서만 흐름이 있는 경우 bath 내에서 균일한 흐름을 얻을 수가 있었다. 이를 바탕으로 하여 2-D simulation 에서 안쪽의 rod로 인해 보였던 와류 (vortex) 현상을 개선하고자 inlet이 2곳인 경우 3-D simulation을 수행하였으나 큰 소용돌기가 생겼고 flow pattern이 균일하지 못했다. 이에 inlet 이 균일하지 못했다. 이에 inlet 이 4곳인 새로운 bath를 제안하여 simulation 을 수행한 결과 벽면쪽 inlet 에서 도입유량이 60 ℓ이고, rod와 rod 사이의 거리는 2mm, rod의 지름이 10mm, inlet의 너비는 1mm, bath와 rod 사이의 간격이 2mm인 경우에 wafer가 위치한 곳에서 large size vortex로 인해 전체적으로 균일한 흐름이 얻어 졌다.
홍진희,함승주,오흥식,임교빈,유종훈 한국생물공학회 2019 Biotechnology and Bioprocess Engineering Vol.24 No.6
In this study, we attempted to prepare chlorophyllfree young barley leaf extract powders using three different supercritical carbon dioxide (SCCO2) drying processes. The pure SCCO2 drying process for a methanolic extract solution resulted in a ~30% increase in the antioxidant (saponarin and isovitexin) content and a ~75% decrease in the chlorophyll content compared to a solvent evaporation method. The drying process with ethanol-modified SCCO2 increased the antioxidant content considerably and completely removed the chlorophylls. However, this process could not dry an aqueous ethanolic extract solution with a more than 30% water content. The ethanol-modified SCCO2 drying process that employed a periodic flush with pure SCCO2 was found to effectively dry an aqueous ethanolic extract solution with more than 30% water content.