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- 저자 : 이완규 ( Wan Gyu Lee ) (검색결과 25 건)
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Spin-on Dielectric 막의 전기적 특성에 미치는 전구체의 영향
이완규,Lee, Wan-Gyu 한국재료학회 2011 한국재료학회지 Vol.21 No.4
Polysilazane and silazane-based precursor films were deposited on stacked TiN/Ti/TEOS/Si-substrate by spin-coating, then annealed at $150{\sim}400^{\circ}C$, integrated further to form the top electrode and pad, and finally characterized. The precursor solutions were composed of 20% perhydro-polysilazane ($SiH_2NH$)n, and 20% hydropolymethyl silazane ($SiHCH_3NH$)n in dibutyl ether. Annealing of the precursor films led to the compositional change of the two chemicals into silicon (di)oxides, which was confirmed by Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR) spectra. It is thought that the different results that were obtained originated from the fact that the two precursors, despite having the same synthetic route and annealing conditions, had different chemical properties. Electrical measurement indicated that under 0.6MV/cm, a larger capacitance of $2.776{\times}10^{-11}$ F and a lower leakage current of 0.4 pA were obtained from the polysilazane-based dielectric films, as compared to $9.457{\times}10^{-12}$ F and 2.4 pA from the silazane-based film, thus producing a higher dielectric constant of 5.48 compared to 3.96. FTIR indicated that these superior electrical properties are directly correlated to the amount of Si-O bonds and the improved chemical bonding structures of the spin-on dielectric films, which were derived from a precursor without C. The chemical properties of the precursor films affected both the formation and the electrical properties of the spin-on dielectric film.
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50 nm 이상의 CMOS 기술에 이용되는 Spin-on Dielectric 박막 형성과 그 특성에 미치는 전구체의 영향
이완규,Lee, Wan-Gyu 한국진공학회 2011 Applied Science and Convergence Technology Vol.20 No.3
탄소가 없는 폴리실라잔 계와 탄소가 함유된 폴리메틸 실라잔 계 전구체를 실리콘 기판에 스핀코팅하고 $150^{\circ}C$, $400^{\circ}C$, $850^{\circ}C$에서 열처리하여 형성된 박막의 물리적 화학적 특성을 평가하였다. 프리에 변환 적외선 분광, 수축 율, 갭-충진, 식각속도 등을 평가하여 박막형성과 형성된 박막의 물리화학적 특성에 미치는 탄소의 영향을 고찰하였다. 탄소함유 전구체는 (탄소가 없는 전구체보다) $400^{\circ}C$에서 질소, 수소, 탄소의 휘발량이 더 적고 산소 흡수량이 더 적어서 (15.6%)보다 낮은 14.5% 두께 수축을 나타내었으나, $800^{\circ}C$에서는 휘발 량이 더 많고 산소 흡수량도 더 많아져 (19.4%)보다 높은 37.4% 두께 수축을 나타냈다. 프리에 변환 적외선 분광분석결과, 전구체내의 탄소는 Spin-on dielectric (SOD) 박막으로 하여금 Si-O 결합형성을 적게, 박막특성을 불균일하게, 그리고 화학 용액에 더 빨리 식각되도록 만들었다. Polysilazane and polymethylsilazane based precursor films were deposited on Si-substrate by spin-coating, subsequently annealed at $150{\sim}850^{\circ}C$, and characterized. Structural analysis, shrink, compositional change, etch rate, and gap-filling were observed. Annealing the precursor films led to formation of spin-on dielectric films. C-containing precursor films showed that less loss of N, H, and C while less gain of O than that of C-free precursor films at $400^{\circ}C$, but more loss of N, H, and C while more gain of O at $850^{\circ}C$. Thus polysilazane based precursor films exhibited less reduction in thickness of 14.5% than silazane based one of 15.6% at $400^{\circ}C$ but more 37.4% than 19.4% at $850^{\circ}C$. FTIR indicated that C induced smaller amount of Si-O bond, non-uniform property, and lower resistance to chemical etching.
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논문 : 전자, 자성 및 광학재료 ; LPE법으로 성장시킨 (TbBi)3(FeAlGa)5O12 Garnet 단결정 후막의 성장속도에 관한 연구
이완규 ( Wan Gyu Lee ),오규환 ( Kyu Hwan Oh ),나형용 ( Hyung Yong Ra ) 대한금속재료학회 ( 구 대한금속학회 ) 1998 대한금속·재료학회지 Vol.36 No.7
The effects of Bi2O3 addition to PbO/B2O3 solvent on the growth kinetics of (TbBi)3(FeAlGa)5O12 single crystal thick films grown by liquid phase epitaxy(LPE) were investigated. The growth of garnet films from PbO/B2O3/Bi2O3 solvent was higher than that from PbO/B2O3. Decreasing molar ratio R1(Fe2O3/Y2O3) and increasing R3 (PbO+BiO3/B2O3), the growth rate of garnet thick films becomes large. The growth rate of single crystal thick film can be expressed in terms of the driving force for growth of garnet thick film In(Cl/Ce) and the resistances to growth δ/D + Cl/K. The growth rate of single crystal thick film depends mostly upon the resistances to growth rather than the driving force for growth. There was a large decrease in the crystal growth resistance δ/D + Cl/K as low as 103sec/cm, and the bulk supersaturation In(Cl/Ce) is decreased by 101~102 if Bi2O3 is added to PbO/B2O3 solvent.
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이완규(Lee, Wan-Gyu) 한국형사소송법학회 2012 형사소송 이론과 실무 Vol.4 No.1
2007년에 개정된 형사소송법에 위법수집증거배제법칙이 명문화되어 그 배제가 물적 증거에 까지 적용되게 되었다. 종래에는 증거물의 취득절차상위법이 있어도 그 증거능력을 인정하여 왔기 때문에 긴급 강제처분에 관한 해석론이나 입법론과 관련한 논의가 깊고 충분하지 못했다고 할 수 있다. 그러한 연구상황에서 갑자기 위법수집증거배제법칙이 규범화되니 개정법 시행 후에 긴급 강제처분의 위법성 여부에 대한 다툼이 빈발하게 발생하게 되는데 반하여 실무는 이와 같이 나타나는 각종의 문제 상황에 대처할 수 있는 이론구성이 시급해졌다고 하겠다. 또한 위법수집증거배제법칙을 규범화하려면 그 전제로 수사기관으로 하여금 증거물을 합법적으로 취득할 수 있는 절차의 보완이 이루어져야 하는데 이 부분도 미흡하여 실무상 공백이 나타나고 있는 실정이다. 실무상의 불합리한 공백에 대한 보완적인 입법화도 시급하다. 그러나 입법론은 별론으로 현행법의 해석론으로서 합리적으로 해결할 수 있는 부분은 적절한 해석론이 전개됨으로써 해결하는 것이 타당하다고 할 것이므로 이에 대한 노력이 시급한 실정이다. 현행법상의 긴급압수수색에 대한 사후영장의 성질은 헌법해석을 토대로 한 입법자의 입법적 선택의 틀 안에서 해석되어져야 할 것이고 새로 도입된 위법수집증거배제법칙을 적용하기 위한 영장주의위반의 문제도 이러한 해석론에 따라 검토되어야 할 것이다. The law of illegal collection evidence exclusion was stipulated in the modified Criminal Procedure Code in 2007 so that the exclusion has been applied to material evidence. Previously, the evidence ability was recognized even if there was illegality in the process of obtaining the evidence. Thus, there was no deep and sufficient discussion regarding interpretation or legislation about urgent coercive measure. In such research situation, the law of illegal collection evidence exclusion was suddenly regulated and there have been frequent conflicts about illegality of urgent coercive measure but it became pressing to organize a theory to respond to diverse problematic situations in the field. Moreover, the process of legal obtainment of evidence should be supplemented in the investigation organizations if the law of illegal collection evidence exclusion would become regulated, but it is not enough so there is a blank in the field. It is urgent to legalize supplementary for irrational blank in the field. However, the theory of legislation is a separate theory that it is proper to solve parts those can be solve rationally with the theory of interpretation in existing law, so that the efforts for this is also pressing. The properties of post-warrant for urgent seizure and search in the existing law should be interpreted within the legal selection frame of the legislator based on the interpretation of constitution, and the problem of warrant system violation for applying newly introduced the law of illegal collection evidence exclusion also should be reviewed according to such theory of interpretation.
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이완규(Lee Wan Gyu),홍근표,장태규 대한전기학회 2006 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2006 No.7
본 논문에서는 고속의 멀티미디어 Streaming data를 처리하기 위한 DSP 기반의 플랫폼을 설계하였다. 개발한 하드웨어는 오디오/비디오 데이터를 처리하는데 있어서 유연성과 확장성을 부여하기위하여 DSP를 사용하였으며 기존의 DSP플랫폼과 다르게 PC에 의존하지않는 독립적인 H/W를 만들기 위하여 ARM Processor를 사용하였다. 이는 저해상도, 저비트율의 오디오/비디오가 분리된 형태의 플랫폼이아닌 DSP기반의 독립적인 유연 플랫폼 구조를 통하여 고속 고해상도를 가능하게 한다. LAN을 통하여 전송받은 Streaming data는 PCI Interface를 이용하여 DSP로 전달되며 디코딩되어 출력된다.
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