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열선 화학 기상 증착법에 의한 실리콘 박막 및 태양전지 특성
김상균(Kim, Sang-Kyun),이정철(Lee, Jeong Chul),전상원(Jeon, Sang Won),임충현(Lim, Chung Hyun),안세진(Ahn, Sae Jin),윤재호(Yun, Jae Ho),김석기(Kim, Seok Ki),송진수(Song, Jinsoo),박성주(Park, S-J),윤경훈(Yoon, Kyung Hoon) 한국신재생에너지학회 2005 한국신재생에너지학회 학술대회논문집 Vol.2005 No.06
최근 열선 화학 기상 증착법(HWCVD)은 낮은 온도에서 TFT용 Poly Si 중착을 할 수 있다는 점과 실리콘 박막을 빠른 속도로 증착할 수 있다는 점에서 각광을 받고 있다. 본 연구에서는 HWCVD를 이용하여 태양전지를 제조하고 그 특성을 평가하였다. 조건에 따른 실리콘 박막의 특성 변화를 알기 위해 corning glass 및 실리콘 wafer에 다양한 조건에서 단위 박막(intrinsic layer)을 증착하였고 이 결과를 바탕으로 p/i/n 구조의 태양전지를 제조하였다. Ta 열선 온도는 1700-2000도였고 가스 원료인 SiH₄와 수소의 비율을 조절하면서 그 영향을 관찰하였다. 태양전지의 경우 p충과 n충은 PECVD로 증착하였으며 단위박막 및 태양전지 i충 증착시 기판과 열선간의 거리는 7cm, 기판 온도는 200?C와 250?C로 고정하였고 작업압력은 30mTorr였다. 단위 박막 특성 평가를 위해 암/광 전도도, SEM, Raman Scattering, FT-IR등을 사용하였으며 태양전지 특성 평가를 위해 I-V 및 Spectral response를 측정하였다. 열선 온도가 증가함에 따라 증착속도 및 결정화 분율은 증가하였다. 특히 비정질에서 결정질로 전이되는 구간은 매우 좁았으며 여러 분석 방법에서 일치되는 결과를 보였다. SiH₄ 유량이 늘어날수록 비정질이 결정질로 바뀌는 열선 온도가 증가하였으며 기판 온도가 낮을 경우 또한 결정으로 바뀌는 열선 온도가 증가하였다. 태양전지의 경우 열선 온도가 증가함에 따라 V_{oc} 및 W가 낮아졌으며 J_{sc}, 는 증가하는 경향을 보였으며 결정질 비율이 증가하는 것을 관찰할 수 있었다. 이러한 경향은 quantum efficiency 결과에서도 확인할 수 있었다.
서치 코일을 이용한 스위치드 릴럭턴스 모터의 초기 회전자 위치 검출법
송진수(J.S. Song),양형열(H.Y. Yang),유영재(Y.J. Ryoo),임영철(Y.C. Lim) 전력전자학회 2003 전력전자학술대회 논문집 Vol.2003 No.7(2)
In this paper, an sensing method of initial rotor position in Switched Reluctance Motor(SRM) at standstill is proposed, In case search coils are used as a position sensor, A search coil used in a method of detecting positions of TSRM has many advantages, which is highly efficient in low cost and maintenance free, and characterized by its function and role as a position sensor. However, the initial rotor position detection is very difficult because the search coil's EMF is not exist at a standstill, in this paper, a new sensing method of initial rotor position using squared Euclidean distance at a standstill too is suggested The simulation and experiment for the proposed method are achieved The validity of the proposed method is verified by experimental results<br/>