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반도체 웨이퍼 연삭용 에어 베어링 시스템의 강성 도출 연구
박민성(Min-Seong Park),정원지(Won-Jee Chung),신성우(Sung-Woo Shin),정보경(Bo-Gyeong Jeong),송의영(Eui-Young Song),김동건(Dong-Gun Kim) 한국기계가공학회 2024 한국기계가공학회지 Vol.23 No.8
Following Coronavirus disease 2019 (COVID-19), inflation in the U.S. and the inflation reduction act (IRA) of 2022 have underscored the necessity of localizing semiconductor equipment development. In the semiconductor equipment process, the double-side grinding process in wafer manufacturing utilizes porous air bearings for precision polishing, crucial for achieving ultra-precision and high rigidity by removing minor deviations on the wafer surface. This study analyses the structure of two radial air bearings and two thrust air bearings installed on spindles used in the precision polishing of semiconductor wafers, and performs flow analysis to determine rigidity. With an air gap of 10 micrometers, eccentricity was set between 1 to 5 micrometers, and pressure variation according to eccentricity was analyzed. Axial and radial stiffness were calculated using stiffness derivation formulas. The average radial stiffness measured 245.56 N/μm, while axial stiffness measured 1247.86 N/μm. Comparison with test device results, which indicated 200 N/μm for radial stiffness and 1000 N/μm for axial stiffness, confirmed error rates validating the stiffness derivation formula: the radial error rate was 22.78%, and the axial error rate was 24.78%.
사이버-물리 시스템의 보안 프레임워크 개발을 위한 보안 요구사항 분석 연구
박수열,최욱진,정보흥,김정녀,김주만,Park, Soo-Youl,Choi, Wook-Jin,Chung, Bo-Heung,Kim, Jeong-Nyeo,Kim, Joo-Man 대한임베디드공학회 2012 대한임베디드공학회논문지 Vol.7 No.5
A cyber-physical system(CPS) is a collection of cyber and physical components that interact with each other to achieve a particular application. Here, the CPS is emerged the reliability and security problems. Particularly, the defect of reliability in the data/control transmission under the CPS can lead to serious damage. We discuss the reliability and security problem on CPS architecture. Then we would suggest the considerations of cyber security in industrial control systems built with CPS.
요척추 융합술에서 유도저혈압마취를 위한 니카디핀과 니트로푸루시드의 비교
이정현 ( Lee Jeong Hyun ),박정보 ( Park Jeong Bo ),정미화 ( Chung Mi Hwa ),김건식 ( Kim Deon Sik ),이상민 ( Sang Min Lee ) 경희대학교 경희의료원 2014 慶熙醫學 Vol.29 No.1
연구배경: 니카디핀(nicardipine)은 평균동맥압을 감소시키고, 심장충만압과 심박출량을 유지시키며 반동빠른맥을 제한시킨다. 니트로푸루시드(nitroprusside) 는 정맥울혈과 심장혈관전환현상을 동반한 전 신혈관저항의 감소, 두개내압의 상승, 시안화물 독 성의 특징을 보인다. 저자들은 혈류역학 효과, 교감 신경 활성도, 실혈량 그리고 유도저혈압의 제어가능 정도의 관점에서 니카디핀과 니트로푸루시드를 비 교하였다. 방법: 요척추 융합술이 예정된 23명의 환자를 대 상으로 전향적 임의선택연구가 시행되었다. 니카디 핀 또는 니트로푸루시드가 수술 중 저혈압 유도를 위하여 지속적으로 주입되었다. 수술 전 (T0), 지속 주입 80분 후 (T1), 지속 주입의 중단 직전 (T2), 지 속 주입의 중단 후 20분 (T3), 80분 (T4)에 수혈량, 실혈량, 심박동수, 평균동맥압, 심장박출지수, 박출 량지수 그리고 에피네프린과 노르에피네프린의 혈 장 농도를 측정하였다. 결과: 니카디핀군은 니트로푸루시드군에 비하여 실혈량이 적었고(P<0.05) 회복실에서 높은 혈색소치 를 보였다. 니카디핀군은 수술 전에 비해서 T3까지 평균동맥압이 낮게 유지되었으며, 심박동수는 수술 전에 비해서 T4까지 증가되어 있었다. T1에서 심장 박출지수는 니카디핀군에서, 박출량지수는 니트로 푸루시드군에서 의미있게 증가되었다. 특히, 니카디 핀군에서 에피네프린과 노르에피네프린의 혈장 농 도가 T4까지 의미있게 증가되어 있었다(P<0.01). 결론: 니카디핀은 요척추 융합술에서 합리적인 제어가능성을 보이며 니트로푸루시드군과 비교하여 출혈 및 수혈과 관련된 동반이환을 감소시키는 것으 로 사료된다.
병렬 배열된 두 원기둥의 유력 진동 특성과 그 메커니즘
김상일(Sang Il Kim),박정보(Jeong Bo Park),장득열(Duek Yul Jang),이승철(Seung Chul Lee) 대한기계학회 2011 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2011 No.5
This experimental study is about characteristics of flow-induced vibration of elastically supported two circular cylinders in side-by-side arrangement. In particular, the characteristics of t1ow-induced vibration of the two cylinders are investigated with changing flow speed at each spacing ratio L/D (L: space between two cylinders, D: diameter of cylinder). Flow patterns around the vibrating two cylinders are also investigated by flow visualization with reproducing the state of elastically supported vibration accurately in forced vibration apparatus. It is clarified that characteristics of flow-induced vibration of two cylinders are changed with switching flow passing through the two cylinders.