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결정질 태양전지에서 니켈 전극 상요을 위한 열처리 방안
정우원(W.W. Jung),김성철(S.C. Kim),경도현(D.H. Kyung),권태영(T.Y. Kwon),이영석(Y.S. Lee),허윤성(Y.S. Heo),박승일(S.I. Park),이준신(J.S. Yi) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.4
고효율 태양전지를 위한 결정질 태양전지의 구조 중 UNSW에서 개발한 BCSC(buried contact solar cell)가 있는데, 이는 전면 전극을 laser 처리 후 무전해니켈 도금으로 형성한 것이다. 이같은 진면 전극을 형성하기 위해서는 무전해 nickel 도금 후 열처리가 필수적이다. 우리는 이 공정을 확립하기 위해 결정질 wafer에 후연을 PECVD로 SiNx막을 형성하여 30Ω/□로 도핑한 후 후면을 불산으로 제거한 상태에서 양면을 니켈 무전해 도금으로 전극을 형성하여 300℃, 350℃, 400℃에 서 각각 3,6,9분간 진행하였다. 그 결과 400℃에서 3분간 열처리된 sample이 상대적으로 가장 명확한 IV curve를 형성하였다. 이 실험의 결과는 PN 접합 구조에서 전극을 nickel로 사용할 때 유용하게 사용될 수 있다.