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RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 $SrTiO_3$박막제조와 유전특성
김병구,손봉균,최승철,Kim, Byeong-Gu,Son, Bong-Gyun,Choe, Seung-Cheol 한국재료학회 1995 한국재료학회지 Vol.5 No.6
차세대 LSI용 유전체 박막으로서의 응용을 목적으로 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 Si기판위에 SrTiO$_3$박막을 제조하였다. Ar과 $O_2$혼합가스 비, 바이어스 전압변화, 열처리 온도등의 증착조건을 다양하게 변화시키며 SrTiO$_3$박막을 제조하여 최적의 증착조건을 조사하였다. 박막의 결정성을 XRD로, 박막과 Si 사이의 계면의 조성분포를 AES로 각각 분석하였다. Ar과 $O_2$의 혼합가스를 스퍼터링 가스로 사용함으로써 결정성이 좋은 박막을 얻었다. 그리고 보다 치밀한 박막을 얻고자 바이어스 전압을 걸어주며 증착시켰다. 본 실험결과에서는 스퍼터링 가스는 Ar+20% $O_2$혼합가스, 바이어스 전압은 100V에서 좋은 결정성을 얻었다. 또한 하부전극으로 Pt, 완충층으로 Ti를 사용함으로써 SrTiO$_3$막과 Si 기판과의 계면에서 SiO$_2$층의 형성을 억제할 수 있었으며, Si의 확산을 막을 수 있었다. 전류 및 유전특성을 측정하기 위해 Au/SrTiO$_3$/Pt/Ti/SiO$_2$/Si로 구성된 다층구조의 시편을 제작하였다. Pt/Ti층은 RF 스퍼터링으로, Au 전극은 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착시켰다 $600^{\circ}C$로 열처리함에 의해 미세하던 결정림들이 균일하게 성장하였으며, 이에 따라 유전율이 증가하고 누설전류가 감소하였다. $600^{\circ}C$에서 열처리한 두께 300nm의 막에서 유전율은 6.4fF/$\mu\textrm{m}$$^2$이고, 비유전상수는 217이었으며, 누설전류밀도는 2.0$\times$$10^{-8}$ A/$\textrm{cm}^2$로 양질의 SrTiO$_3$박막을 제조하였다. Strontium titanate(SrTiO$_3$) thin film was prepared on Si substrates by RF magnetron sputtering for a high capacitance density required for the next generation of LSTs. The optimum deposition conditions for SrTiO$_3$thin film were investigated by controlling the deposition parameters. The crystallinity of films and the interface reactions between SrTO$_3$film and Si substrate were characterized by XRD and AES respectively. High quality films were obtained by using the mixed gas of Ar and $O_2$for sputtering. The films were deposited at various bias voltages to obtain the optimum conditions for a high quality file. The best crystallinity was obtained at film thickness of 300nm with the sputtering gas of Ar+20% $O_2$and the bias voltage of 100V. The barrier layer of Pt(100nm)/Ti(50nm) was very effective in avoiding the formation of SiO$_2$layer at the interface between SrTiO$_3$film and Si substrate. The capacitor with Au/SrTiO$_3$/Pt/Ti/SiO$_2$/Si structure was prepared to measure the electric and the dielectric properties. The highest capacitance and the lowest leakage current density were obtained by annealing at $600^{\circ}C$ for 2hrs. The typical specific capacitance was 6.4fF/$\textrm{cm}^2$, the relative dielectric constant was 217, and the leakage current density was about 2.0$\times$10$^{-8}$ A/$\textrm{cm}^2$ at the SrTiO$_3$film with the thickness of 300nm.
김병구,배상일,오태윤,장운하,Kim, Byeong-Gu,Bae, Sang-Il,O, Tae-Yun,Jang, Un-Ha 대한흉부심장혈관외과학회 1996 Journal of Chest Surgery (J Chest Surg) Vol.29 No.6
Malignant mesothelioma has been considered a uniformly fatal disease associated with a median survival of 4 to 18 months. However, a multimodality approach toward therapy may Increase the length of palliation when a maximal resection of tumor is achieved. Recently we have experienced a 49 years-old male patient who had d ffuse malignant mesothelioma. The patient has complained of blood-tinged sputum and right chest pain for several months. Chest x-rays and CT scans showed compact haziness in the right entire thorax with massive bloody elusion, diffuse pleural thickening and collapsed underlying lung. We performed extrapleural pneumonectomy, and postoperative chemotherapy with cisplatin and mltomycin (Memorial Sloan-fettering Cancer Center method) was done. We are observing him for months now and there is no evidence of local recurrence. 미만형 악성 중피세포종은 4∼18개월의 평균생존율을 지닌 치명적인 질환으로 여겨져 왔다. 그러나 종양을 최대한 절제한 후 다양한 접근을 통한 치료방법으로 생존기간을 연장할 수 있다 최근 저자들은 미만형 악성 중피세포종을 가진 49세 남자환자를 치험하였기 에 보고하는 바이다. 환자 는 수개월 동안 혈성객담 및 우측흥통을 호소하였고, 단순흉부사진 및 컴퓨터 단층촬영에서 우측 전흥 강이 진한 음영으로 가리워 져 있었으며 많은 양의 혈성삼출, 미만성 늑막비후와 폐허탈, 파괴 등의 소견 을 보였다. 저자들은 늑막케절제술을 시행하였고, cisplatin과 mitomycin으로 보조적인 항암화학요법을 하였다. 그후 환자는 수 개월간 외래 추적관찰을 받았으며 술후 4개월 현재까지 국소재발의 증거는 없었다.