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TiS$i_2$ 박막의 열안정성에 미치는 막 스트레스의 영향
김영욱,김영욱,고종우,이내인,김일권,박순오,안성태,이문용,이종길,Kim, Yeong-Uk,Kim, Yeong-Uk,Go, Jong-U,Lee, Nae-In,Kim, Il-Gwon,Park, Sun-O,An, Seong-Tae,Lee, Mun-Yong,Lee, Jong-Gil 한국재료학회 1993 한국재료학회지 Vol.3 No.1
단결정 실리콘위에 스퍼터법으로 증착된 티타니움막을 급속가열로에서 고상반응에 의해 형성시킨 면저항 1.2 ohm/sq. 내외의 TiS$i_2$ 박막에 있어서 열안정성을 상부절연막의 유무 및 종류에 따라 조사하였다. 상부절연막은 상압 CVD로 증착한 USG(Undoped Silicate Glass, Si$i_2$) 막과 플라즈마 CVD법으로 증착한 PE-SiN(S$i_3$$N_4$)막을 사용했다. 열안정성 평가는 90$0^{\circ}C$에서 시간을 달리하여 TiS$i_2$막, PE-SiN막, USG막의 스트레스는 각각 1.3${\times}{10^{9}}$, 1.25 ${\times}{10^{10}}$, 2.26 ${\times}{10^{10}}$ dyne/c$m^2$의 인장응력을 나타내었다. 응집현상은 TiS$i_2$의 응집현상은 Nabarro-Herring 마이크로 크리프에 의한 원자의 확산관점에서 검토되었다. Abstract The effect of the film stress on the thermal stability of TiSi, films under the dielectric overcoat was investigated. TiS$i_2$ films with the sheet resistance of 1.2 ohm/sq. were produced by a solid-state reaction between sputtered Ti film and single-crystalline Si in an RTA (rapid thermal anneal) machine. Dielectric overcoats such as the USG (Undoped Silicate Glass, Si$O_2$) film and the PE-SiN(S$i_3$$N_4$) film were deposited by AP-CVD and PE-CVD, respectively, on the TiS$i_2$ film. The thermal stability of the TiSi, film was evaluated by changes in the sheet resistance, film stress and microstructure after furnace anneals at 90$0^{\circ}C$. Agglomeration of the TiSi2 film high temperatures results in the increase of sheet resistance and the decrease of tensile stress of TiSi, film. The stress level of the TiSi" PE-SiN and ~SG films at 90$0^{\circ}C$C was 1.3${\times}{10^{9}}$, 1.25 ${\times}{10^{10}}$, 2.26 ${\times}{10^{10}}$ dyne/c$m^2$ in tensile, respectively. Dielectric films deposited by CVD on TiSi, was effective on preventing agglomeration of TiSi,. The PE-SiN film mproved the thermal stability of TiSi, more effectively than the AP-CVD USG film. It is considered that agglomeration of the TiS$i_2$ film under the stress of dielectric overcoat at high temperature can be caused by a diffusional flow of atom called Nabarro-Herring microcreep.reep.
페로니켈슬래그 미분말을 사용한 모르타르의 응결시간 및압축강도특성에 관한 실험적 연구
김영욱,김도빈,최세진 한국건축시공학회 2018 한국건축시공학회지 Vol.18 No.6
본 연구에서는 페로니켈슬래그 미분말의 시멘트 대체재로서의 가능성을 평가하기 위하여 페로니켈슬래그 미분말 사용 모르타르의 압축강도 및 건조수축특성을 비교·분석하였다. 연구결과 페로니켈슬래그 미분말을 사용한 배합의 경우동일한 양의 고로슬래그 미분말 및 플라이애시를 사용한 배합에 비해 미소수화열량이 낮게 나타났으며 모르타르 플로우는 상대적으로 다소 높은 것으로 나타났다. 또한 페로니켈슬래그 미분말을 사용한 모르타르의 압축강도의 경우 초기강도발현은 고로슬래그 미분말 및 플라이애시와 유사하게나타났으나 재령 28일에서는 상대적으로 낮은 압축강도를발현하였다. 건조수축의 경우 페로니켈슬래그 미분말을 사용한 배합에서 고로슬래그 미분말을 사용한 배합에 비해 낮은 건조수축값을 나타내었으며 플라이애시를 혼입한 배합의건조수축과 유사하게 나타났다. This study evaluate the fluidity and hardening properties of mortar by replacement ratio of ferronickel slag powderto estimate the applicability of ferronickel slag powder for cement replacement materials. Ferronickel slag powder wasreplaced by 0, 5, 10, 15 and 20% of the cement weight. In addition, blast furnace slag powder and fly ash were alsoused for comparing with the mixtures using ferronickel slag powder. As the test results, the micro-hydration heat ofthe mixture containing the ferronickel slag powder was lower than that of the mixtures containing the same amountof blast furnace slag powder and fly ash. The flow of the sample with ferronickel slag powder was relatively higherthan the other mixtures. In all ages, the compressive strength of the mixture with ferronickel slag powder and fly ashwas similar to that of the mix containing only fly ash. In case of drying shrinkage, the mixture containing ferronickelslag powder exhibited lower drying shrinkage than the mixture using blast furnace slag powder, and similar to themixture containing fly ash.