ULSI 확산억제막으로 적합한 Ti-Si-N의 조성 범위에 관한 연구

박상기,강봉주,양희정,이원희,이은구,김희재,이재갑 한국진공학회 2001 Applied Science and Convergence Technology Vol.10 No.3

Ti-Si-N films obtained by using RF reactive sputtering of targets with various Ti/Si ratios in a $N_2(Ar+N_2)$ gas mixture have been investigated in terms of films resistivity and diffusion barrier performance. The chemical bonding state of Si in the Ti-Si-N film which contained a higher Si content was in the form of amorphous $Si_3N_4$, producing increased film resistivity with increased $N_2$flow rate. Lowering the Si content in the deposited Ti-Si-N film favored the formation of crystalline TiN even at low $N_2$flow rates, and leads to low film resistivity. In addition increasing the N content led to Ti-Si-N films having a higher density and compressive stress, suggesting that the N content in the films appear to be one of the most important factors affecting the diffusion barrier characteristics. Consequently, we proposed the optimum composition in the range of 29~49 at.% of Ti, 6~20 at.% of Si, and 45~55 at.% of N for the Ti-Si-N films having both low resistivity and excellent diffusion barrier performance. Radio frequency magnetron sputtering방법으로 타켈의 Ti/si 조성과 $N_2$ 유량을 변화시켜 증착한 다양한 조성비의 Ti-Si-N 박막의 비저항 변화와 확산방지능력을 조사하였다. 높은 Si 함량을 포함한 Ti-Si-N박막내의 Si은 주로 비정질의 $Si_3N_4$ 형태로 존재하였으며 $N_2$의 양이 증가함에 따라 비저항도 증가하였다. 반면, 낮은 Si 함량을 포함한 Ti-Si-N박막은 낮은 $N_2$ 유량에서도 결정질의 TiN이 형성되었고 낮은 비저항을 나타내었다. 또한, 박막내의 N의 양이 증가함에 따라, 높은 박막의 밀도와 압축응력을 갖는 Ti-Si-N이 형성되었으며, 이는 박막 내의 N의 함량이 확산방지능력에 영향을 미치는 가장 중요한 요소 중 하나로 판단된다. 결과적으로, 29~49 at.%, Ti, 6~20 at.% Si, 45~55 at.% N 범위의 조성을 갖는 Ti-Si-N박막이 우수한 확산 억제 능력을 보유하면서 또한 낮은 비저항 특성을 나타내는데 적합한 조성 범위로 나타났다.

신생아의 정맥천자시 통증 감소 효과 : 경구 포도당액, EMLA^Ⓡ 크림 및 노리개 젖꼭지

박상기,김은영,Park, Sang Kee,Kim, Eun Young 대한소아청소년과학회 2006 Clinical and Experimental Pediatrics (CEP) Vol.49 No.4

목 적 : 신생아에서 포도당의 경구 투여, 국소 마취 크림인 $EMLA^{(R)}$와 노리개 젖꼭지의 통증 감소 효과를 비교하고자 하였다. 방 법 : 2003년 3월부터 12월까지 조선대학교병원 신생아실에 입원한 신생아들을 대상으로 4가지 방법으로 통증 감소를 측정하였다. 제 A군(대조군)은 아무것도 투여하지 않은 군, 제 B군은 $EMLA^{(R)}$ 크림을 바른 군, 제 C군은 10% 포도당액을 먹인 군, 제 D군은 30% 포도당액을 먹인 군, 마지막 제 E군은 노리개 젖꼭지를 물린 군으로 나누어서 통증의 감소를 비교하였다. 통증의 평가는 PIPP 점수를 측정하였다. 결 과 : 미숙아와 만삭아 사이에서 평균 PIPP 점수에는 유의한 차이가 없었다. 각 군의 평균 PIPP 점수를 보면 A군 $12.5{\pm}2.5$, B군 $10.1{\pm}2.6$, C군 $9.4{\pm}2.0$, D군 $6.5{\pm}2.1$, E군이 $8.7{\pm}2.3$로 대조군에 비해서 다른 군들이 유의하게 낮았다($EMLA^{(R)}$ 크림군 P<0.05, 그 외 모두, P<0.001). D군의 평균점수가 B, C, E군들의 평균 PIPP 점수에 비해 유의하게 낮았다(각각, P<0.001, P<0.005, P<0.05). 통증을 느끼는 PIPP 6점 이상의 비율을 비교하면 A군 100%, B군 82%, C군 56%, D군 40%, E군은 70%로 D군에서 가장 낮았다. 심한 통증을 느끼는 PIPP 12점 이상의 비율을 비교하면 A군 72%, B군 30%, C군 22%, D군 0%, E군은 14%로 D군이 가장 낮았다. 결 론 : 신생아에서 통증의 감소에 포도당액의 경구 투여, $EMLA^{(R)}$ 크림, 노리개 젖꼭지가 모두 효과가 있었으며, 특히 30% 포도당액의 경구 투여가 가장 효과적이었다. Purpose : We compared the pain reducing effect of orally administered glucose solution with EMLA cream and pacifiers during venipuncture in newborn infants. Methods : Fifty newborn infants(30 prematures) were enrolled in this study. We performed these four pain-reducing methods to all infants in serial order. Group A(control) did not receive any treatment; to group B, EMLA cream was applied on the skin for 1 hour; group C(or D) received 10 percent(or 30 percent) glucose solution orally; group E used pacifiers. Symptoms and signs associated with pain at venipuncture were measured with the Premature Infants Pain Profile(PIPP) scale. Results : There was no significant difference in the PIPP scores between preterm and fullterm infants. The mean PIPP scores of groups were A : $12.5{\pm}2.5$, B : $10.1{\pm}2.6$, C : $9.4{\pm}2.0$, D : $6.5{\pm}2.1$ and E : $8.7{\pm}2.3$; the mean scores of groups B, C, D and E were significantly lower than that of group A(all, P<0.001 except B(P<0.05)), and the mean score of D was significantly lower than those of B, C and E(P<0.001, P<0.005, P<0.05, respectively). The percentages of patients with PIPP scores above 6, which means pain, were A : 100 percent, B : 82 percent, C : 56 percent, D : 40 percent and E : 70 percent. The percentages of patients with PIPP scores above 12, which means severe pain, were A : 72 percent, B : 30 percent, C : 22 percent, D : 0 percent and E : 14 percent; that of group D was clearly lowest. Conclusion : These results support the use of oral glucose solution, EMLA, and pacifiers for pain reduction as effective intervention at venipuncture in newborn infants. The most effective method was a 30 percent oral glucose solution.

밤마다 열리는 커튼

박상기 문예운동사 2017 문예운동 Vol.- No.134

2차 분사시스템을 갖는 De-NOx 시스템의 충돌판 형상에 따른 연료의 혼합 및 증발 특성 향상을 위한 연구

박상기,오정모,Park, Sangki,Oh, Jungmo 해양환경안전학회 2016 海洋環境安全學會誌 Vol.22 No.7

A secondary injection system in a diesel engine has benefits: it can be controlled independently without interrupting engine control, it can be adapted to various layouts for exhaust systems, and it pose no reductant dilution problems compared to post injection systems in the combustion chamber or other supplemental reductant injections. In a secondary injection system, the efficiency of the catalyst depends on the method of reducing the supply. The reductant needs to be maintained and optimized with constant pressure, the positions and angles of injector is a very important factor. The concentration and amount of reductant can be changed by adjusting secondary injection conditions. However, secondary injection is highly dependent upon the type of injector, injection pressure, atomization, spray technology, etc. Therefore, it is necessary to establish injection conditions the spray characteristics must be well-understood, such as spray penetration, sauter mean diameter, spray angle, injection quantity, etc. Uniform distribution of the reductant corresponding to the maximum NOx reduction in the DeNOx catalyst system must also assured. With this goal in mind, the spray characteristics and impingement plate types of a secondary injector were analyzed using visualization and digital image processing techniques. 디젤엔진에서는 2차 분사 시스템은 다양한 배기 시스템에 적용이 가능하고, 엔진 제어와 관계없이 독립적으로 제어가 가능하기 때문에 환원제 희석 면에서도 후분사 또는 다른 농후한 환원제 분위기 형성 방법 등에 비해 장점이 많다. 2차 분사 시스템에서는 환원제의 공급 방법에 따라서 촉매의 효율은 달라질 수밖에 없다. 환원제는 일정압력 이상으로 유지 및 최적화가 필요하고, 인젝터의 위치 및 각도의 선정은 매우 중요한 인자이다. 본 논문에서는 2차 분사 조건을 변화시켜 환원제의 농도와 양을 변화시켰다. De-NOx 촉매 시스템에서 최대의 NOx 정화 효율에 적합한 환원제 분사 조건들의 선정이 필요하고, 분무 도달거리, 분무 평균 입경, 분무각, 분사량 등의 분무 특성과 환원제의 균일 분포를 잘 파악하여야 한다. 이와 같은 목적을 위하여 2차 분사에서 충돌판 형상에 의한 분무 및 거동 특성은 가시화 방법과 디지털 화상 처리 기법을 사용하여 분석하였으며, 충돌판 형상의 영향성과 각 형상에 대한 최적 각도 범위를 도출하였다.

호미 바바의 포스트모더니즘 비판

박상기 한국영어영문학회 2000 영어 영문학 Vol.46 No.2

한국에서의 사형제도, 비극과 현실

박상기 한국형사법학회 2001 한국형사법학회 학술대회 논문집 Vol.2001 No.2

형사판례연구회 20주년을 맞이하여

박상기 한국형사판례연구회 2012 刑事判例硏究 Vol.20 No.-

Korean Association of Criminal Case Studies that had scientific seminar for the first time on February 22, 1992 had 20th anniversary. On June 1, 1993, Pakyoungsa published No.1 of Korean Journal of Criminal Case Studies that included 14 theses released one year since February 1992. Since then, Korean Journal of Criminal Case Studies was published continuously, and it was likely to publish volume 20 in June 2012. The annotations that were published by Korean Association of Criminal Case Studies were written by 146 authors to include 404. The Korean Association of Criminal Case Studies selected either judicial precedents in dispute or judicial precedents from anther point of view to investigate from point of view of criticism and to be likely to develop continuously. Collection of Korean Journal of Criminal Case Studies that increased number of volume was likely to have model of journal of criminal case studies, for instance, wide scope of judicial precedents, variety of authors and annotation methods to have literary values.

포토닉스 컴퓨터: 차세대 반도체를 찾지 못하면?

박상기,Park, S.G. 한국전자통신연구원 2014 전자통신동향분석 Vol.29 No.2

각종 통계자료에 근거하여 반도체산업이 국가 전체 산업에 차지하는 비중과 경쟁국가, 경쟁 기업들의 성장 쇠퇴 과정을 고려하면 '차세대 반도체 못 찾으면?' 이라는 질문은 10년 뒤 국가경제의 사활이 걸린 문제일 수 있다. 세계 반도체 선두그룹의 연구개발 방향과 최근 연구성과를 분석함으로써 차세대 반도체를 유추한다. 유력한 해답 중 하나가 포토닉스 시스템 반도체라고 한다면 이를 구현하기 위한 우리의 연구방향과 핵심기술에 대해 논의한다.

발전설비 건설품질 향상을 위한 온라인 용접관리시스템 개발

박상기,안연식,길두송,Park, Sang-Ki,Ahn, Yean-Shic,Gil, Doo-Song 대한용접접합학회 2010 대한용접·접합학회지 Vol.28 No.4

보일러튜브 용접부에 대한 방사선 선원의 최적화 연구

박상기,안연식,길두송,Park, Sang-Ki,Ahn, Yean-Shic,Gil, Doo-Song 대한용접접합학회 2010 대한용접·접합학회지 Vol.28 No.4