Effects of post-annealing and temperature/humidity treatments on the interfacial adhesion energy of the Cu/SiN<i>_x</i>interface for Cu interconnects

Jeong, Minsu,Bae, Byung-Hyun,Lee, Hyeonchul,Kang, Hee-Oh,Hwang, Wook-Jung,Yang, Jun-Mo,Park, Young-Bae IOP Publishing 2016 Japanese journal of applied physics Vol.55 No.6

<P>The effects of 200 degrees C post-annealing and 85 degrees C and 85% relative humidity temperature and humidity (T/H) treatments on the interfacial adhesion energy of a Cu/SiNx interface were systematically investigated. The results of a four-point bending test, X-ray photoemission spectroscopy, and high-resolution transmission electron microscopy revealed that the interfacial adhesion energy during T/H treatment decreased with time faster than during annealing treatment, which is closely related to the faster Cu oxidation of SiNx/Cu interfaces. (C) 2016 The Japan Society of Applied Physics</P>

Ensemble Deep Learning Model using Random Forest for Patient Shock Detection

Minsu Jeong,이남화,Byuk Sung Ko,Inwhee Joe 한국인터넷정보학회 2023 KSII Transactions on Internet and Information Syst Vol.17 No.4

Digital healthcare combined with telemedicine services in the form of convergence with digital technology and AI is developing rapidly. Digital healthcare research is being conducted on many conditions including shock. However, the causes of shock are diverse, and the treatment is very complicated, requiring a high level of medical knowledge. In this paper, we propose a shock detection method based on the correlation between shock and data extracted from hemodynamic monitoring equipment. From the various parameters expressed by this equipment, four parameters closely related to patient shock were used as the input data for a machine learning model in order to detect the shock. Using the four parameters as input data, that is, feature values, a random forest-based ensemble machine learning model was constructed. The value of the mean arterial pressure was used as the correct answer value, the so called label value, to detect the patient’s shock state. The performance was then compared with the decision tree and logistic regression model using a confusion matrix. The average accuracy of the random forest model was 92.80%, which shows superior performance compared to other models. We look forward to our work playing a role in helping medical staff by making recommendations for the diagnosis and treatment of complex and difficult cases of shock.

인공지능 기반의 제주도 교통량 예측 및 관광지 추천 시스템

정민수(Minsu Jeong),안정환(Junghwan Ahn),조시완(Siwan Jo),오병우(Byoungwoo Oh),안형태(Hyeongtae Ahn) 한국정보기술학회 2023 Proceedings of KIIT Conference Vol.2023 No.6

습식표면처리 및 열 사이클에 따른 Cu/SiNx 계면접착에너지 평가 및 분석

정민수(Minsu Jeong),김정규(Jeong-kyu Kim),강희오(Hee-Oh Kang),황욱중(Wook-Jung Hwang),박영배(Young-Bae Park) 한국마이크로전자및패키징학회 2015 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.21 No.1

반도체 미세구리배선 적용을 위하여 구리배선의 습식 표면처리 및 열 사이클에 따른 구리 박막과 실리콘질화막 도포층 사이의 계면접착에너지를 4점굽힘시험을 통해 정량적으로 평가하였다. 구리배선을 화학적 기계적 연마한 후 습식 표면처리를 통하여 구리 박막과 실리콘질화막의 계면접착에너지는 10.57J/m²에서 14.87J/m²로 증가하였다. -45~175°C범위에서 250사이클 후, 표면처리를 하지 않은 시편의 계면접착에너지는 5.64J/m²으로, 표면처리를 한 시편은 7.34J/m²으로 감소하였으며, 모든 시편의 박리계면은 구리 박막과 실리콘질화막 계면으로 확인되었다. X-선 광전자 분광법으로 계면 결합 상태를 분석한 결과, 화학적 기계적 연마 공정 후 구리배선의 표면 산화물이 습식표면처리에 의해 효과적으로 제거된 것을 확인하였다. 또한, 열 사이클 처리동안, 구리 박막과 실리콘질화막의 큰 열 팽창 계수 차이로 인한 열응력으로 인하여 구리 박막과 실리콘질화막 계면이 취약해지고, 계면을 통한 산소유입에 따른 구리 산화층이 증가하여 계면접착에너지가 저하된 것으로 판단된다. Effects of wet chemical treatment and thermal cycle conditions on the quantitative interfacial adhesion energy of Cu/SiN_x thin film interfaces were evaluated by 4-point bending test method. The test samples were cleaned by chemical treatment after Cu chemical-mechanical polishing (CMP). The thermal cycle test between Cu and SiN_x capping layer was experimented at the temperature, -45 to 175°C for 250 cycles. The measured interfacial adhesion energy increased from 10.57 to 14.87J/m² after surface chemical treatment. After 250 thermal cycles, the interfacial adhesion energy decreased to 5.64J/m² and 7.34J/m² for without chemical treatment and with chemical treatment, respectively. The delaminated interfaces were confirmed as Cu/SiN_x interface by using the scanning electron microscope and energy dispersive spectroscopy. From X-ray photoelectron spectroscopy analysis results, the relative Cu oxide amounts between SiN_x and Cu decreased by chemical treatment and increased after thermal cycle. The thermal stress due to the mismatch of thermal expansion coefficient during thermal cycle seemed to weaken the Cu/SiN_x interface adhesion, which led to increased CuO amounts at Cu film surface.

수문학적 가뭄지수를 활용한 정량화된 가뭄분석에 관한 연구

정민수(Jeong, Minsu),박서연(Park, Seoyeon),홍현표(Hong, Hyunpyo),장호원(Jang, Howon),이주헌(Lee, Joo-Heon) 한국방재학회 2018 한국방재학회논문집 Vol.18 No.5

본 연구에서는 수문학적 가뭄지수인 Modified Water Supply Index (MSWSI)를 적용하여 가뭄분석을 수행하였고, 산정된 가뭄지수와 입력인자의 관계 분석을 통해 약한 가뭄과 정상상태를 구분 기준인 MSWSI -1에 해당하는 입력 인자별 강우량, 하천유량, 댐 유입량의 가뭄을 유발하는 기준에 대한 정량화된 값을 산정하고자 하였다. 대상유역은 강수, 하천유량 및 댐 유입량을 입력인자로 갖고, 21년 248개월의 기간 자료를 보유한 중권역 3006 지점으로 하였다. 가뭄지수의 시간 단위는 월 단위 및 3개월 이동평균을 적용하였고, 가뭄지수와 각각의 입력인자를 대응시켜 선형회귀식을 적용하고자 하였으며, 이를 위해 회귀상수를 도출하였다. 월 단위 회귀식 산정결과 일시적인 수분 부족(과잉)이 이전 습윤(가뭄) 상태 전환에 상당한 영향을 갖지 않을 수 있음에 따라 유의한 결정계수를 갖지 못하는 것으로 분석된 반면에 3개월 이동평균의 경우에는 결정계수가 높게 분석되었다. 월 단위 자료의 상이한 분포를 나타내는 자료를 제거를 통한 회귀상수 도출을 위해 MSWSI와 각 입력 인자의 순위 도출 및 순위 차이를 적용하였다. 순위차이를 통해 전자료들 중에서 15% 및 30% 이내의 유의성을 갖는 자료를 추출하고, 결정계수를 및 회귀상수를 도출하였으며, 월 단위 및 3개월 이동평균에 대한 정량화 결과를 월별/인자별 비교 검토를 수행하였다. 본 연구의 각 인자별 가용수자원 공급량 산정을 통해 정량화된 가뭄 기준 값의 산정결과는 최근 빈번한 발생을 갖는 가뭄에 따른 물이용 정책을 마련하는데 있어 높은 활용성을 가질 것으로 판단하였다. In this study, the hydrological drought index was calculated using Modified Water Supply Index (MSWSI). The quantified value corresponding to MSWSI -1 was estimated from the relationship between drought index and input factor. The target area was the 3006 basin where precipitation, river flow, and dam inflow have been recorded for 21 years (January 1997 to August 2017). The drought index was estimated over two time intervals, one month and three months moving average. The quantitative values were estimated for each month and for each input data using a linear regression equation. The monthly MSWSI showed considerable variability between the drought and wet conditions. And also the coefficient of determination between drought index and each input data revealed no correlation. To improve the coefficient of determination and to derive the appropriate linear regression constants, the ranking by each factor and the rank difference between MSWSI drought index and each input factor were calculated. The applied rank difference was estimated to be within 15% and 30%. Re-quantifying the available water resources is expected to be useful in preparing water use policy.

스마트 팜을 위한 Pan-Tilt HAT 기반의 작물 병해 진단

정민수(Minsu Jeong),시종욱(Jongwook Si),이승희(Seunghee Lee),김문년(Moonnyeon Kim),김성영(Sungyoung Kim) 한국정보기술학회 2022 Proceedings of KIIT Conference Vol.2022 No.6

DQN 강화학습 기반 EV 무선전력 최적 코어 구조 설계

정민수(Minsu Jeong),장진혁(Jinhyeouk Jang),강신국(Shinkook Kang),이은수(Eunsoo Lee) 전력전자학회 2022 전력전자학술대회 논문집 Vol.2022 No.11

지적 장애 및 비장애학생의 사회적 거리감 해소를 위한 통합 체육수업 프로그램 개발과 교육과정 운영방안

정민수 ( Jeong Minsu ),김승환 ( Kim Seunghwan ),김민규 ( Kim Minkyu ) 인하대학교 교육연구소 2022 교육문화연구 Vol.28 No.3

본 연구의 목적은 통합교육이 이뤄지는 학교현장에서 장애학생과 비장애학생의 사회적 거리감 감소 및 관계증진에 긍정적 영향을 끼치는 체육수업 프로그램을 개발하여, 통합 체육수업의 질적향상을 도모하고 통합교육의 활성화를 위한 교육자료로 활용하는 것이다. 통합 체육수업 프로그램 개발에 필요한 핵심요인 도출을 위해 문헌조사를 진행하였고 통합 체육수업 프로그램 개발을 위해 특수교사 1인, 통합학습 담임교사 1인, 체육교육 전공 대학교수 2인과 함께 전문가협의회를 진행하며 조사-개발-예비 검증의 단계를 거쳤다. 문헌조사와 전문가협의회를 통해 수집된 자료들은 내용 분석 및 귀납적 범주 분석의 과정을 거쳐 통합 체육수업 프로그램을 개발하였고, 내용타당성 및 현장 적용 가능성을 검증하여 12차시 프로그램을 최종 개발하였다. 본 연구의 결과는 다음과 같다, 첫째, 기존의 선행연구에서 사회적 거리감의 개념을 분석하였다. 둘째, 통합 체육수업 프로그램의 핵심 구성 요인을 도출하였다. 셋째, 12차시의 신체활동 프로그램을 개발하였고 차시별 주제, 주제별 참여유형, 신체활동, 세부 활동 내용, 교수학습 방법 및 교육과정 운영을 위한 제반사항을 제시하였다. 본 연구에서 개발된 통합 체육수업 프로그램은 물리적인 통합을 넘어 질적 통합을 추구하였으며, 교사와 학생, 학생과 학생 간 긍정적인 체육수업 경험의 축적에 기여할 것이다. 추후 연구에서는 특수교사를 대상으로 통합 체육교육 연계 프로그램 개발에 필요한 실제적 경험을 분석하는 연구가 이뤄져야 할 것이다. The purpose of this study is to develop physical education class programs that can reduce the social distance between disabled and non-disabled students and have a positive impact on their relationships at school sites where integrated education is conducted to improve the quality of integrated physical education class and utilize it as educational materials for activating integrated education. Literary studies were performed to find the core elements needed for the development of integrated physical education class programs. In addition, expert meetings were held together with one special education teacher, one teacher in charge of integrated learning, and two college professors majoring in physical education to develop integrated physical education class programs to complete the investigation, development and pre-verification stages. Data collected through literary studies and expert meetings were used to develop integrated physical education class programs through content analysis and inductive category processes, and by verifying the contents feasibility and on-site applicability, the 12-session program was finally developed. The results of this study are as follows. First, the concept of social distance in preceding studies was analyzed. Second, the core components of the integrated physical education class program was deduced. Third, the physical activity program was developed into 12 sessions, and the theme, participation type, detailed activities, and teaching-learning methods for each session were presented. The integrated physical education class program developed in this study pursued qualitative integration beyond physical integration, and it will contribute in accumulating positive physical education class experience between teachers and students and between students and other students. In the future, studies that analyze the actual experiences needed for developing programs linked to integrated physical education for special education teachers should be conducted.

CMIP5 GCMs 자료의 비정상성을 고려한 한반도 미래 극치강우 빈도해석

정민수(Jeong Minsu),윤선권(Yoon Sunkwon),박서연(Park Seoyeon),정재욱(Jung JaeWook),이주헌(Lee JooHeon) 한국방재학회 2018 한국방재학회논문집 Vol.18 No.3

In this study, we performed stationary and non-stationary frequency analysis of daily rainfall extreme series based on climate change scenarios by CMIP5 (Coupled Model Intercomparison Project Phase5) 8 GCMs (General Circulation Models). We extracted the annual maximum daily rainfall and it was conducted tendency test for the abnormality verification. The data consisted of 30 sets according to 30 years in units and sequential to year and to derive each set rank, the number of rainfall occurrences over 80 mm and the summer rainfall were calculated. For the stationary and non-stationary frequency analysis, Gumbel distribution was adopted and average precipitation, location and scale parameters were calculated for each set. As a result of the analysis, it is considered that the stationary frequency analysis in RCP 4.5 and the non-stationary frequency analysis in RCP 8.5 are valid, and it is expected that various scenarios will be reviewed in the near future. The results of this study are expected to be useful for the future climate change policies. 본 연구에서는 근 미래의 극치강수량 변동 특성을 파악하기 위하여 CMIP (Coupled Model Inter-comparison Project Phase 5) GCMS (General Circulation Models)에 따른 연최대 일강우 자료의 정상성 및 비정상성 빈도분석을 수행하였다. RCP 4.5 및 RCP 8.5 시나리오별로 8개 GCM 모형을 적용하였고, 일강우 연최대치 계열 추출 및 경향성 검정을 수행하였다. 또한 30년 기준으로 자료를 1년씩 이동하여 30개 세트를 구성하였고, 순위 도출을 위해 각 세트의 80 mm 이상 강수 발생횟수 및 여름철(6월~9월) 강수량을 산정하였다. 정상성 빈도분석을 위해 Gumbel 분포의 모형별/세트별로 평균강수량과 위치 및 축척매개변수를 산정하였고, 산정된 매개변수와 선형회귀 적용을 통한 비정상성 빈도분석을 수행하였다. 분석결과 RCP 4.5에서는 정상성 빈도해석, RCP 8.5에서는 비정상성 빈도해석이 타당성을 가지며, 근 미래의 다양성 있는 시나리오 검토가 이루어질 것으로 판단되었다. 본 연구의 결과는 미래 기후 변화 정책 마련을 위한 활용성을 가질 것으로 판단되었다.

한국어 문서 QA를 위한 도표 인식 프로세스 설계

정민수(Minsu Jeong),이승희(Seunghee Lee),정유철(Yuchul Jung) 한국정보기술학회 2022 Proceedings of KIIT Conference Vol.2022 No.12