Atomic Layer Deposition of SrTiO₃ Thin Films with Highly Enhanced Growth Rate for Ultrahigh Density Capacitors

Lee, Sang Woon,Han, Jeong Hwan,Han, Sora,Lee, Woongkyu,Jang, Jae Hyuck,Seo, Minha,Kim, Seong Keun,Dussarrat, C.,Gatineau, J.,Min, Yo-Sep,Hwang, Cheol Seong American Chemical Society 2011 Chemistry of materials Vol.23 No.8

<P>The ever-shrinking dimensions of dynamic random access memory (DRAM) require a high quality dielectric film for capacitors with a sufficiently high growth-per-cycle (GPC) by atomic layer deposition (ALD). SrTiO<SUB>3</SUB> (STO) films are considered to be the appropriate dielectric films for DRAMs with the design rule of ∼20 nm, and previous studies showed that STO films grown by ALD have promising electrical performance. However, the ALD of STO films still suffers from much too slow GPC to be used in mass-production. Here, we accomplished a mass-production compatible ALD process of STO films using Ti(O-<SUP><I>i</I></SUP>Pr)<SUB>2</SUB>(tmhd)<SUB>2</SUB> as a Ti-precursor for TiO<SUB>2</SUB> layers and Sr(<SUP><I>i</I></SUP>Pr<SUB>3</SUB>Cp)<SUB>2</SUB> as a Sr-precursor for SrO layers. O<SUB>3</SUB> and H<SUB>2</SUB>O were used as the oxygen sources for the TiO<SUB>2</SUB> and SrO layers, respectively. A highly improved GPC of 0.107 nm/unit-cycle (0.428 nm/supercycle) for stoichiometric STO films was obtained at a deposition temperature of 370 °C, which is ∼7 times higher than previously reported. The origin of such high GPC values in this STO films could be explained by the partial decomposition of the precursors used and the strong tendency of water adsorption onto the SrO layer in comparison to the TiO<SUB>2</SUB> layer. The STO film grown in this study also showed an excellent step coverage (∼95%) when deposited inside a deep capacitor hole with an aspect ratio of 10. Owing to the high bulk dielectric constant (∼ 146) of the STO film, an equivalent oxide thickness of 0.57 nm was achieved with a STO film of 10 nm. In addition, the leakage current density was sufficiently low (3 × 10<SUP>−8</SUP> Acm<SUP>−2</SUP> at +0.8 V). This process is extremely promising for fabrication of the next generation DRAMs.</P><P>Conformal SrTiO<SUB>3</SUB> (STO) thin films were grown at 370 °C with a high growth-per-cycle (0.107 nm/unit-cycle) by atomic layer deposition. An equivalent oxide thickness of 0.57 nm was achived with a STO film of 10 nm.</P><P><B>Graphic Abstract</B> <IMG SRC='http://pubs.acs.org/appl/literatum/publisher/achs/journals/content/cmatex/2011/cmatex.2011.23.issue-8/cm2002572/production/images/medium/cm-2011-002572_0007.gif'></P>

생활(生活) 폐기물(廢棄物) 소각재(燒却材) 슬래그를 이용(利用)한 메조포러스 실리카 합성(合成) : NaOH 농도(濃度)의 영향(影響)

한요셉,정종훈,박재구,Han, Yo-Sep,Jung, Jong-Hoon,Park, Jai-Koo 한국자원리싸이클링학회 2010 資源 리싸이클링 Vol.19 No.1

생활 폐기물 소각재 슬래그를 출발원료로한 메조포러스 실리카의 합성에 미치는 NaOH 영향에 대해 조사하였다. 기계적 분쇄를 통해 활성화된 소각재 슬래그에 대한 추출 공정은 농도가 다른 NaOH 용액을 이용한 알칼리 처리로 수행하였다. 분쇄시간 그리고 NaOH 용액 농도가 증가 할수록 소각재 슬래그로부터 추출되는 Si 추출량은 증가하였다. 합성된 메조포러스 실리카의 물리적 특성(기공크기, 비표면적 그리고 총 기공부피)은 BET, SEM, TEM 그리고 small-angle XRD 분석을 통하여 평가하였다. 합성된 메조포러스 실리카는 대략 7 nm 기공크기의 hexagonal 구조를 가진 SBA-15로 판명되었다. NaOH 용액 농도가 증가됨에 따라 합성된 메조포러스 실리카는 비표면적 및 기공 부피도 증가하였다. 반면, 거의 동일한 Si 이온 농도로 제조된 메조포러스 실리카의 경우, 3M NaOH로 제조된 샘플에 비해 4M NaOH로 제조된 샘플의 비표면적 및 기공 부피가 감소하였다. 이는 과량의 Na 이온이 mesophase 형성을 방해하여 미반응되어 남아있는 Si 이온이 합성되어진 mesophase의 벽 두께를 증가시키는 것으로 확인되었다. It was investigated that effects of NaOH concentration on synthesis of mesoporous materials using municipal solid waste incinerator ash slag (MSWI-ash slag). In order to increase the purity and maximize the amount of extracted Si content the raw MSWI-ash slag was mechanically activated. Extraction of Si from the MSWI-ash slag was carried out by alkali treatment using concentrated NaOH solution, which varied from 1M to 4M. Physical properties (i.e., pore size, specific surface area and total pore volume) of the synthesized mesoporous silica were also evaluated as a function of NaOH concentration via BET, SEM, TEM and small-angle X-ray scattering analyses. Over the entire range of NaOH concentration investigated (i.e., 1-4M), the synthesized mesoporous materials were determined to be SBA-15, which exhibited a hexagonal structure with the pore size of approximately 7 nm. On the other hand, specific surface area and total pore volume increased with NaOH concentration up to 3M while the values decreased at 4M, indicating that the optimal NaOH concentration for the synthesized mesoporous silica was approximately 3M. Further comparison analysis between two conditions (3M versus 4M) showed that the decrease in two physical properties at 4M NaOH concentration was likely due to the potential inhibition by excess Na ions on the formation of mesophase and the consequent increase of pore wall thickness by remaining Si ions.

반암(맥반석)으로 제조한 다공성 펠렛의 Ag 담지 및 항균 메디아로서의 적용

한요셉,김현중,신영섭,박재구,고재철,Han, Yo-Sep,Kim, Hyun-Jung,Shin, Young-Seop,Park, Jai-Koo,Ko, Jae-Churl 한국세라믹학회 2009 한국세라믹학회지 Vol.46 No.1

The porous pellets were prepared from porphyry by slurry foaming method. The effect of sintering temperatures on pore structure of porous porphyry pellets with different extension ratio ($E_R$) was investigated by specific surface area, water absorption and porosity, which changed with sintering temperatures. When the sintering temperatures increased from $975^{\circ}C$ to $1075^{\circ}C$, specific surface area and water absorption of the all samples decreased. In case of the sample with an equal sintering temperature, $E_R=3.0$ pellets had little influence on pore structure compared to the $E_R=2.0$ pellets. As a results, it was shown by SEM that facilitated formation of micro pores at $E_R=2.0$ pellets shrunk increasingly after sintering process. At $E_R=3.0$ and sintering temperature at $1025^{\circ}C$, optimum conditions of the porous porphyry porous pellets was found. Also, Escherichia coli removal efficiency of the silver-containing porphoyry porous pellets was measured for the feasibility as a antibacterial media. The antibacterial activity of prepared silver-containing sample was maintained above 90% for 40 days.

멀티탭을 활용한 스마트 미터링 시스템 개발

왕승민(Seung-Min Wang),김요셉(Yo-Sep Kim),오세인(Sea-In Oh),한병호(Byung-Ho Han),허헌(Heon Huh),이양희(Yang-Hee Yee),장홍순(Hong-Soon Chang) 대한전기학회 2011 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2011 No.7

Novel chemical route for atomic layer deposition of MoS2 thin film on SiO2/Si substrate.

Jin, Zhenyu,Shin, Seokhee,Kwon, Do Hyun,Han, Seung-Joo,Min, Yo-Sep RSC Pub 2014 Nanoscale Vol.6 No.23

<P>Recently MoS2 with a two-dimensional layered structure has attracted great attention as an emerging material for electronics and catalysis applications. Although atomic layer deposition (ALD) is well-known as a special modification of chemical vapor deposition in order to grow a thin film in a manner of layer-by-layer, there is little literature on ALD of MoS2 due to a lack of suitable chemistry. Here we report MoS2 growth by ALD using molybdenum hexacarbonyl and dimethyldisulfide as Mo and S precursors, respectively. MoS2 can be directly grown on a SiO2/Si substrate at 100 C via the novel chemical route. Although the as-grown films are shown to be amorphous in X-ray diffraction analysis, they clearly show characteristic Raman modes (E(1)2g and A1g) of 2H-MoS2 with a trigonal prismatic arrangement of S-Mo-S units. After annealing at 900 C for 5 min under Ar atmosphere, the film is crystallized for MoS2 layers to be aligned with its basal plane parallel to the substrate.</P>

청각장애인을 위한 길찾기 앱 설계

이재훈 ( Jae-hoon Lee ),권대근 ( Dae-geun Kwon ),황요셉 ( Yo-sep Hwang ),신현근 ( Hyeon-geun Sin ),정욱조 ( Uk-jo Jeong ),양지연 ( Ji-yeon Yang ),한광혁 ( Gwang-hyeok Han ),임양원 ( Yang-won Lim ),임한규 ( Han-kyu Lim ) 한국정보처리학회 2013 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.20 No.2

최근 스마트폰 보급률이 높아지면서 장애인들에 대한 스마트폰 보급도 올라가게 되었다. 하지만, 스마트폰을 이용하기 위한 수많은 어플리케이션이 출시되고 있는데 비해 장애인들에게 필요한 어플리케이션은 많지 않다. 또한 장애인들을 위한 어플리케이션은 그 조작법이 어렵거나 사용자가 필요로 하는 기능이 부족하다. 특히, GPS기능을 활용한 유용한 앱들이 많은 반면 장애인들을 위한 내비게이션 앱은 부족하다. 본 논문에서는 청각장애인들이 쉽게 접근할 수 있도록 청각장애인을 위한 길찾기 어플리케이션에 청각장애인들이 유용하게 활용할 수 잇도록 청각장애인용 앱을 설계하였다.

저수지 수질개선을 위한 가압부상공법이 수환경에 미치는 영향

남귀숙 ( Gui Sook Nam ),이의행 ( Eui Haeng Lee ),배요섭 ( Yo Sep Pae ),엄한용 ( Han Yong Um ),김호일 ( Ho Il Kim ) 한국환경농학회 2013 한국환경농학회 학술대회집 Vol.2013 No.-

가압부상공법은 미세기포 발생장치를 이용해 20 ㎛ 이하의 초미세기포를 생성하며, 이를 포함한 가압 수를 수체 내 분사시켜 오염물질들이 플록을 형성하도록 응집반응을 유도하고, 동시에 기포에 의해 수 면위로 부상시킨 후, 부상된 슬러지는 부유물 제거장치에 의해 수거하는 공법으로, 호소 내 조류 및 영 did염류를 동시에 제거하는 기술이다. 본 연구에서는 30만톤 정도의 소규모 부영양 농업용저수지를 선 정하여 가압부상공법을 적용하였으며, 공법 적용에 따른 수질개선 효과 및 수환경 변화를 분석하였다. 연구대상지인 전북 고창군 해리면에 위치한 라성저수지는 평균수심 1.4 m, 유효저수량 28.8 만㎥의 수 심이 낮은 소규모 농업용저수지이며, 2011년 7월~11월까지 상하류간 3개 정점을 대상으로 수질 및 수 환경조사(8회), 퇴적물조사(2회)를 실시하였다. 수질 및 수환경조사는 현장분석항목(수온, pH, EC, DO, SD)과 실내분석항목(COD, SS, TN, TP, Chl-a)에 대해 실시하였으며, 퇴적물조사는 TN, TP에 대해 실시 하였다. 현장 수환경조사에 따르면, 수온은 15.5~29.4 ℃(평균 23.1 ℃)으로 기온에 의한 계절적 요인에 영향을 받아 점차 감소하였으며, EC는 119~249 μS/cm(평균 178 μS/cm)로 집중강우 이후 희석효과가 있은 후 점차 증가하였고, pH(7.4~10.3, 평균 8.7)와 DO(5.6~16.0 ㎎/L, 평균 10.4 ㎎/L)는 Chl-a와 변 화양상이 유사하였으며, SD는 0.2~1.8 m(평균 0.5 m)로 8차 조사를 제외하고 0.6 m 이하의 낮은 투명 도를 보였다. 실내분석 수질항목인 COD는 3.6~43.0 ㎎/L(평균 13.5 ㎎/L), SS는 0.8~40.0 ㎎/L(평균 24.5 ㎎/L), TN은 0.771~2.446 ㎎/L(평균 1.572 ㎎/L), TP는 0.087~0.239 ㎎/L(평균 0.123 ㎎/L), Chl-a 는 2.7~112.7 ㎎/㎥(평균 49.1 ㎎/㎥)의 범위로 나타났으며, 공법적용 후 9월까지 증가하여 최고치를 보 인 후, 점차 감소하였으며, 응집제 도입 후 11월(7~8차 조사)에는 급격히 감소하였다. 반면, 퇴적물 분 석결과에 따르면, 수질과는 달리 공법적용 전에 비해 공법 적용 후, TN과 TP가 오히려 증가하는 것으로 나타났으며, 특히, 하류부인 NS3지점에서는 TN이 2,490 → 2,746㎎/㎏, TP가 879 → 1,062㎎/㎏으로 증가폭(TN 256 ㎎/㎏, TP 183 ㎎/㎏)이 가장 큰 것으로 나타났다. 본 가압부상공법은 적용초기 수질개 선효과를 보이지 않았으나, 오염물질 제거속도가 가속되면서 일부 감소한 후, 응집제 투입 후 수질개선 효과가 증가하여 COD 17.3%, SS 84%, TN 63.1%, TP 9.4%, Chl-a 79.2%의 효율을 보이는 것으로 나타났다. 그러나 퇴적물 내 영양염류는 오히려 높은 증가를 보이는 것으로 나타나, 회수되지 않은 슬러 지와 수중 영양염이 저층에 침강한 것으로 판단되었으며, 이로인한 생태계 피해가 발생할 수 있고, 또 한, 이들 퇴적물의 재부상이 이루어진다면, 오히려 더욱 부영양화를 심화시킬수 있는 잠재적인 수질오 염원으로 작용할 것으로 사료되었다. 따라서, 본 공법의 적용 시, 수질 및 퇴적물, 생태계 안전성 등을 충분히 고려한 최적 적용기법의 개발이 필요할 것으로 사료되었다.

포스터 전시 : 담도,췌장 ; 폐쇄성 황달을 일으킨 췌 내분비종양

허우영 ( Woo Young Heo ),동석호 ( Seok Ho Dong ),한요셉 ( Yo Sep Han ),장린 ( Rin Chang ),이동근 ( Dong Keun Lee ),김효종 ( Hyo Jong Kim ),김병호 ( Byung Ho Kim ),장영운 ( Young Woon Chang ),이정일 ( Joung Il Lee ) 대한소화기학회 2002 대한소화기학회 춘계학술대회 Vol.2002 No.-

<서론> 췌장의 내분비 종양은 드문 질환이지만 높은 치료율을 갖는데, 기능적 종양과 비기능성 종양으로 구분된다. 기능적 종양은 증상의 발현이 늦어 90% 이상이 악성의 경과를 갖는다. 기능성 종양은 분비하는 물질에 따라 임상적인 증상이 나타나지만 비기능성 종양은 종양 자체의 크기에 따라 또는 전이에 의한 증상이 나타나게 된다. 췌장암에 의한 폐쇄성 황달은 임상에서 흔히 접하지만 내분비 종양에 의한 폐쇄성 황달은 극히 드물게 발생하기 때문에, 본 저자들은

우측 자궁부속기에서 발견된 이소성 부신조직

김태형 ( Tae Hyoung Kim ),차동수 ( Dong Soo Cha ),한경희 ( Kyoung Hee Han ),염현식 ( Hyun Sik Youm ),현나영 ( Na Young Hyon ),정요셉 ( Yo Sep Chong ),박광화 ( Kwang Hwa Park ) 대한산부인과학회 2008 Obstetrics & Gynecology Science Vol.51 No.12

Ectopic adrenal tissue is observed in about 50% of neonates, but observed in about 1% of adults as it atrophies and disappears over time. In most cases, ectopic adrenal tissue is found in organs below the diaphragm such as liver, pancreas, kidney, transverse colon and male and female genital tract. However, ectopic adrenal tissue found in the uterine adnexa is a very rare case through the world. Ectopic adrenal tissue was incidentally found in the right uterine adnexa after total hysterectomy and bilateral salpingooophorectomy, so we report this case with a brief review of literatures.

부속난관을 동반한 자궁외임신

권민수 ( Min Soo Kwon ),최성진 ( Seong Jin Choi ),이상영 ( Sang Young Lee ),한경희 ( Kyoung Hee Han ),정요셉 ( Yo Sep Chong ),조미연 ( Mee Yon Cho ) 대한산부인과학회 2009 Obstetrics & Gynecology Science Vol.52 No.1

Mullerian duct anomalies are reported in literature, but maldevelopment of fallopian tube in isolation is rare. Accessory fallopian tubes can present as infertility, ectopic pregnancy, in association with urinary tract anomalies. We observed a case of tubal pregnancy where fallopian tube has two fimbriae with normal looking uterine and fallopian tube on the opposite side. we report a case of tubal pregnancy with accessory fallopian tube with literature review.