돼지분뇨슬러리의 액비조내 저장깊이별 고형물 및 질소, 인의 함량분포에 관한 연구

정광화,정의수,박치호,곽정훈,최동윤,유용희,Jeong, Kwang-Hwa,Chung, Eui-Soo,Park, Chi-Ho,Kwag, Jung-Hoon,Choi, Dong-Yoon,Yoo, Yong-Hee 한국축산환경학회 2006 축산시설환경학회지 Vol.12 No.3

본 연구는 돼지분뇨 슬러리의 액비화시 저장깊이(매 30m 깊이별)에 따른 액비의 수직 적층형 단면을 구분하여 각 단면별로 유기물 및 질소와 인의 농도변화 및 고형물의 분포 형태를 분석하여 액비의 수직 단면별 특성을 구명하고자 수행되었으며 주요 결과는 다음과 같다. 1. 침전깊이가 깊어짐에 따라 총고형물 농도는 증가하는 경향을 보인 반면에 총고형물중에 함유된 용해성 물질은 감소하였다. 2. 침전깊이별 오염물 농도는 깊이에 따라 증가하여 저장조 전체깊이 대비 약 70% 정도 내외에서 급격하게 증가하는 경향을 보였다. 3. 총질소와 총인 역시 침전깊이가 깊어짐에 따라 증가하는 결과를 보였는데, 이러한 경향은 총 인의 경우에 있어 더 뚜렷했고 질소의 농도변화는 상대적으로 적었다. 4. 저장 깊이가 깊어짐에 따라 Cr과 Ni 등의 함량도 증가하는 경향을 보였고 그 증가 경향치는 SS의 농도변화와 유사하였다. This paper describes the changes of characteristics of pig slurry according to storing depth. Most of the substances containing pollutants, such as were Management of manure and wastewater from animal confinement facilities is a critical factor for pollution control. With proper treatment processing method in both solid and liquid forms, it can be used as a fertilizer and soil conditioner. In Korea, liquid-manure handling system is very popular because its treatment and application is easy and labor saving. In the storage tank treatment, the period of fermentation process and solids-liquid separation averages six months and the supernatant liquid is being used as a fertilizer. In this study, the changes in chemical characteristics of pig slurry at varying depths of the storage tank were investigated. Results showed that the pH value of the fermented pig slurry was > 7, while the major pollutants such as BOD, SS, N and P were highest in the bottom of the tank. Therefore, the above findings proved that varying depths in the storage tank can influence the concentration of pollutants of the fermented pig slurry.

CVD 공정의 전구체 잔존량 실시간 진단방법 연구

윤주영,신용현,정광화,Yun Ju-Young,Shin Yong-Hyoen,Chung Kwang-Hwa 한국진공학회 2005 Applied Science and Convergence Technology Vol.14 No.3

본 연구는 화학증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 시스템에서 전구체 소모량을 모니터링 하기 위한 방법이다. 전구체는 가격이 매우 비싸기 때문에 이를 모니터링 하기 위한 효과적인 방법이 요구된다. 하나의 예로서 용기내 수위진단을 할 수 있는 초음파 센서를 들 수 있는데 이는 비접촉식이고 가격이 저렴한 유리한 점이있다 본 연구에서는, CVD 시스템에서의 전구체 소모량 모니터링을 위한 초음파 진단기술 개발에 관해 연구한다. 또한 반도체 생산라인에 적용이 가능한 실제 진단장치를 개발, 적용한다. This study proposes an accurate method of monitoring precursor consumption in chemical vapor deposition (CVD) systems. Since precursor costs are significant, finding an efficient method to monitor precursor consumption is necessary One example is the use of non-contact and inexpensive ultrasonic sensors for determining the liquid level in a container. In this study, sensors based on ultrasonic techniques have been developed for monitoring the precursor consumption in a CVD system. Moreover, the prototype sensors developed in this study can be useful in the field of semiconductors.

저진공 내 시료가열판과 시료의 열전달

박현재,오수기,신용현,정광화,Park, Hyon-Jae,Oh, Soo-Ghee,Shin, Yong-Hyeon,Chung, Kwang-Hwa 한국진공학회 2008 Applied Science and Convergence Technology Vol.17 No.4

진공 챔버 내부에서 열접촉된 시료가열장치와 시료 사이의 열전달 현상을 고찰하였다. 열전달은 가스 유량과 기체 압력에 따른 대류현상, 시료와 접촉하는 기판가열장치의 표면 거칠기 및 접촉압력에 따른 전도현상, 기판가열장치의 표면 방사율에 따른 복사현상으로 나누어 푸리에 식과 슈테판-볼츠만 식을 이용하여 열흐름 값을 분석하였다. 실험은 시료가열장치의 온도를 $100\;-\;500^{\circ}C$ 사이에서 일정하게 유지하면서 300 mTorr - 1 Torr 사이의 압력에 따른 시료의 온도를 측정하고, 푸리에 식과 슈테판-볼츠만 식을 이용하여 열흐름 값을 계산하였다. 열흐름 값의 산출에 사용된 푸리에 계수의 정확성을 확인하기 위해, 역으로 열흐름 값으로부터 온도차를 구하는 방법을 사용하였으며 0.33 % 오차 내에서 재현됨을 확인하였다. Heat transfer between substrate and substrate-heater in low vacuum was investigated. The convection related with gas flow and pressure, the heat conduction considering surface roughness and contact pressure, and the heat loss by radiation depending on the surface emissivity were considered. The coefficient of heat conduction $h_c$ in the Fourier's law were determined experimentally from the temperature difference between the substrate and the substrate-heater in the range of substrate-heater temperature $100\;-\;500^{\circ}C$, in the pressures of 300 mTorr - 1 Torr. The temperature difference was then calculated in the reverse way for the purpose of verification, using the heat flow and the experimentally determined coefficients. The verified temperature differences were thus obtained within 0.33 % error.

텅스텐 선으로 만든 porous plug의 conductance

임재영(Jae-Young Leem),정광화(Kwang-Hwa Chung),박재홍(Jae-Hong Park),홍승수(Seung-Soo Hong),신용현(Yong-Hyun Shin),이철로(Chul-Rho Lee) 한국진공학회(ASCT) 1992 Applied Science and Convergence Technology Vol.1 No.1

작은 구멍속에 텅스텐 선을 넣어 만든 porous plug의 conductances를 이론적으로 계산하고, 실험적인 값과 비교하여 기하학적 인자 K를 구현하였다. K값은 텅스텐 선을 넣지 않았을 경우 0.91-1.00, 3개의 텅스텐 선을 넣었을 경우 0.77-0.78, 4개의 텅스텐 선을 넣었을 경우 0.85-0.88이었다. 한편 제작된 porous plug를 가지고 대기중에 노출시킨 시간에 따른 conductance의 변화를 측정한 결과 0.4% 오차 범위 내에서 일치하였다. The conductances of the porous plugs, which are made by inserting tungsten wires into small holes, are calculated and compared with values measured by experiment. For the porous plug with no wire, the ratio K of C_(exp) and C_(theo) is in the range 0.91-1.00, and in the range 0.77-0.78 and 0.85-0.88 for plugs with three and four wires, respectively. The variations in conductances as a function of exposure time to the air were measured and in no case have variations of more than +0.4 per cent been observed.

한국 KRISS와 이태리 IMGC간의 고진공 국가표준의 국제비교

홍승수(Seung-Soo Hong),신용현(Yong-Hyeon Shin),정광화(Kwang-Hwa Chung),G. Rumiano(G. Rumiano),M. Bergoglio(M. Bergoglio),A. Calcatelli(A. Calcatelli) 한국진공학회(ASCT) 1995 Applied Science and Convergence Technology Vol.4 No.2

Spinning Rotor Gauge(SRG)를 전달표준기(transfer standard gauge)로 사용하여 한국표준과학연구원(KRISS)의 고진공표준과 이태리 표준연구소인 IMGC(Istituto di Metrologia Gustavo Colonnetti) 고진공표준의 국제비교를 실시하였다. 그 방법은 SRG의 accommodation coefficient(s)를 각 연구실의 고진공표준기로 측정하여 그 결과를 비교하였다. 이 결과 두 기관에서 교정한 SRG 볼의 σ값의 평균차이는 0.696%로서 양국의 고진공표준은 오차범위내에서 일치하는 것으로 나타났다. The international intercomparison of high vacuum standards between two national standards laboratories, KRISS of Korea and IMGC of Italy, was carried out using a spinning rotor gauge (SRG) as a transfer standard. The difference in accommodation coefficient(σ) of a SRG ball determined by each laboratory was 0.696%, thus it is concluded that the high vacuum standards of two national laboratories agree within the uncertainty limit.

高眞空 國家標準의 國際比較

홍승수(Seung-Soo Hong),신용현(Yong-Hyeon Shin),정광화(Kwang-Hwa Chung),M. Hirata(M. HirataA),S. Suginuma(S. Suginuma) 한국진공학회 1997 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.- No.-

1~105Pa 영역의 저진공 표준 확립

홍승수(Seung-Soo Hong),신용현(Yong-Hyeon Shin),정광화(Kwang-Hwa Chung) 한국진공학회(ASCT) 1996 Applied Science and Convergence Technology Vol.5 No.3

초음파간섭원리를 이용한 액주형압력계를 개발하여 측정범위가 1 Pa(7.5^(-3) torr) 에서 10^5 Pa(대기압)이고 오차가 ±(30 ppm of pressure+12 mPa)인 저진공영역의 국가표준을 확립하였다. 이 표준기가 개발되므로서 이 영역의 전달표준기인 용량형진공계의 교정이 가능하여 산업체등과의 측정표준의 소급성을 유지 할 수 있게 되었을 뿐만아니라, 용량형진공계를 이용한 국제비교를 통해 국가표준기의 신뢰성을 높이고 측정능력을 향상시킬 수 있는 기반을 마련하였다. The Ultrasonic Interferometer Manometer(UlM) which can calibrate from 1 Pa to 10^5 Pa has been developed, and its uncertainty is evaluated less than ±(30 ppm of pressure+12 mPa). We can calibrate Capacitance Diaphragm Gauge(CDG) used as a transfer standard gauge in the low vacuum field. The VIM enables to maintain the measurement traceability for industries. In order to improve the UIM's accuracy, we will perform the international intercomparison with other national standards laboratories.

사중극 질량분석기에 의한 초고진공 응용시스템 진단

임채영(Jae-Young Leem),이철로(Cheul-Ro Lee),정광화(Kwang-Hwa Chung),노삼규(Sam-Kyu Noh),이연환(Yeon-Han Lee) 한국진공학회(ASCT) 1994 Applied Science and Convergence Technology Vol.3 No.2

박막성장을 위한 초고진공 응용시스템을 제작하고 이것의 특성을 사중극질량분석계로 측정하였다. 초고진공 시스템을 박막성장에 활용하기 위해서는 챔버 뿐만 아니라 펌프, 이온게이지, 전자총 등도 베이킹이 요구되었다. 또한 이온게이지와 전자총은 적어도 박막성장 20분 전에 탈가스를 하여야함을 알았다. 이 시스템으로 달성된 진공도는 7×10^(-11) torr이었다. An ultra high vacuum application system for growing thin film has been fabricated, and characteristics of the system have been measured by quadrupole mass spectrometer. Pumps, ion gage, electron gun as well as main chamber in order to use the system for thin film growth have to be baked. And also, Ion gage and electron gun must be degassed during at least 20 min before growing thin film. An ultra high vacuum of 7×10^(-11) torr was achieved using the system.

점성진공계 특성연구

홍승수(Seung-Soo Hong),신용현(Yong-Hyeon Shin),임종연(Jong-Yeon Lim),정광화(Kwang-Hwa Chung) 한국진공학회(ASCT) 1997 Applied Science and Convergence Technology Vol.6 No.4

점성진공계(spinning rotor gauge, SRG)는 고진공영역인 1×10^(-5)~100 Pa에서 전달표준기(transfer standard gauge)로 사용되고 있는 진공게이지이다. 제조회사가 각각 Leybold-Heraeus와 MKS회사인 두 개의 SRG에 대해서 질소가스를 사용하여 장기안정성과 적응계수(accommodation coefficient, σ) 결정에 영향을 미치는 변수들인 측정압력, 온도, 최대도달압력(base pressure), 신호분산(signal scattering), 영점(offset)변화에 대한 특성을 10개월에 걸쳐 조사하였다. 이 결과 장기안정특성 및 입력변수들에 의한 영향이 SRG 고유오차인 ±1.0% 이내에 있음을 확인하였다. Spinning Rotor Vacuum Gauge (SRG) is used as a high vacuum transfer standard gauge in the 1×10^(-5) to 100 Pa range. We have measured and characterized long-term stability of 2 SRGs during 10 months for N₂ gas, which were produced by Leybold Heraeus and MKS. The variations of accommodation coefficient values of them with several pressure, temperature, base pressure, signal scattering, offset value conditions have been measured also. It is concluded that the characteristics of long-term stability and variation of σ values were within their uncertainty.

진공표준의 국제비교 연구

홍승수(Seung-Soo Hong),신용현(Yong-Hyeon Shin),임종연(Jong-Yeon Lim),이상균(Sang-Kyun Lee),정광화(Kwang-Hwa Chung),David Simpson,Fiona Redgrave,Michael Perkin,Bernard Waller,M. Hirata$ 한국진공학회(ASCT) 1997 Applied Science and Convergence Technology Vol.6 No.4

Capacitance Diaphragm Gauge(CDG)를 전달표준기로 사용하여 한국과 영국의 저진공표준의 국제 비교를 수행한 결과 양국 표준기에서 교정한 CDG의 압력비의 차이는 0.05% 이었다. 또한 두 개의 Spinning Rotor Gauge(SRG)를 이용하여 한국과 일본의 고진공표준의 국제비교를 수행한 결과 양국 표준기에서 교정한 SRG의 accommodation coefficient(σ)의 차이가 0.4% 이내이었다. CDG와 SRG를 이용한 한국과 영국의 저진공표준기 및 한국과 일본의 고진공표준기의 국제비교 결과 CDG 및 SRG 자체의 고유오차범위 이내에서 결과가 일치함을 확인할 수 있었다. The international intercomparison of low vacuum standards between Korea and United Kingdom was performed using a Capacitance Diaphragm Gauge (CDG) as a transfer standards. The resultant difference in pressure of the CDG was 0.05%. Similialy, the difference in accommodation coefficient of a spinning rotor gauge (SRG) between Japan and Korea was verified within 0.4% for high vacuum standards. The intercomparisons of low and high vaccum standards of Korea, United Kingdom, and Japan using a CDG and SRG show that the vacuum standards agree within the inherent uncertainty limits.