RISS 학술연구정보서비스

검색
다국어 입력

http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.

변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.

예시)
  • 中文 을 입력하시려면 zhongwen을 입력하시고 space를누르시면됩니다.
  • 北京 을 입력하시려면 beijing을 입력하시고 space를 누르시면 됩니다.
닫기
    인기검색어 순위 펼치기

    RISS 인기검색어

      검색결과 좁혀 보기

      선택해제
      • 좁혀본 항목 보기순서

        • 원문유무
        • 원문제공처
          펼치기
        • 등재정보
          펼치기
        • 학술지명
          펼치기
        • 주제분류
          펼치기
        • 발행연도
          펼치기
        • 작성언어
        • 저자
          펼치기

      오늘 본 자료

      • 오늘 본 자료가 없습니다.
      더보기
      • 무료
      • 기관 내 무료
      • 유료
      • KCI등재

        백서의 두개골 결손부에서 탈단백우골 이식 시 흡수성악의 효과

        박영준,최근호,장정록,정승곤,김영준,유민기,국민석,오희균,유선열,박홍주,Park, Young-Jun,Choi, Guen-Ho,Jang, Jung-Rok,Jung, Seung-Gon,Kim, Young-Joon,Yu, Min-Gi,Kook, Min-Suk,Oh, Hee-Kyun,Ryu, Sun-Youl,Park, Hong-Ju 대한악안면성형재건외과학회 2009 Maxillofacial Plastic Reconstructive Surgery Vol.31 No.5

        Purpose : This research evaluates the effect of the use of absorbable membrane barrier with deproteinized bovine bone (Bio-$Oss^{(R)}$, Switzerland) on bone healing in surgically created critical-sized defects in rat calvaria. Materials and Methods : Two standardized transosseous circular calvarial defects (5 mm in diameter) are made in each calvarium of 30 rats. These rats are divided into negative control group(n=15), positive control group(n=15) and two experimental groups(n=15). In the negative control group, defects are only filled with blood clots. In the positive control group, defects are filled with autogenous bone obtained from calvarium; in the experimental group 1, defects are filled with deproteinized bovine bone; and in the experimental group 2, defects are filled with deproteinized bovine bone with absorbable membrane. At the postoperative 1 week, 3 weeks. and 6 weeks, clinical. histologic and histomorphometric evaluations of the defects are performed. Results : 1. The grafted bone without membrane in the calvarial bone defect was scattered but, the grafted bone with membrane was stable. 2. $BioMesh^{(R)}$ membrane was absorbed beginning at 3 weeks, and was absorbed considerably at 6 weeks while maintaining the structural form of the membrane. 3. The use of membrane blocked soft tissue invasion. 4. In histomorphometric analysis. it showed the greatest amount of new bone formation in the positive control group. The amount of new bone formation was greater in the experimental group 2 than experimental group 1. At 6 weeks. the amount of new bone formation was greater in the positive control group than experimental group l(p<0.005). Conclusion : These results suggest that membrane increase the stability of grafted bone and protects from soft tissue invasion, and the use of the membrane may promote new bone formation in deproteinized bovine bone graft area.

      • KCI등재

        웹 서비스 동적 연동을 위한 클라이언트 에이전트 프레임워크

        박영준,이우진,Park, Young-Joon,Lee, Woo-Jin 한국정보처리학회 2009 정보처리학회논문지 A Vol.16 No.5

        일반적으로 웹 서비스에 접속하기 위해서는 .NET 또는 자바 런타임 등의 무거운 프레임워크를 사용하여야 한다. 이러한 프레임워크들은 기본적으로 PC 급 이상의 리소스를 가진 경우에 사용할 수 있으므로 센서 노드와 같이 제한적인 리소스를 가진 경우에는 웹 서비스를 사용할 수 없다. 이 논문에서는 이러한 클라이언트 노드에서 웹 서비스를 사용할 수 있는 클라이언트 에이전트 프레임워크를 제안한다. 클라이언트 에이전트 프레임워크는 충분한 리소스를 가진 제 3의 서버에서 관리되며, 실제 클라이언트 노드는 에이전트 서버에 접속하여 해당 클라이언트 에이전트의 웹 서비스 연동 기능을 이용한다. 클라이언트 에이전트는 클라이언트 요청 시에 WDSL 정보를 활용하여 동적으로 생성된다. 이러한 웹 서비스 연동 방법을 이용하면, 센서 노드나 모바일 단말에서 최소의 리소스로 웹 서비스를 연동할 수 있으므로 다양한 유형의 서비스를 구현할 수 있다. In order to connect web services, clients generally should use heavy frameworks such as .Net framework and Java run-time environment, which require high performance hardware resources like a personal computer. Therefore, it is impossible for sensor nodes to handle web services due to their limited resources. In this paper, a client agent framework is proposed for dynamically connecting web services in the client node with limited resources. A client agent, which is managed by the framework in other server, has full capability for connecting web services, while a real client has a simple connection module with the client agent. In this framework, a client agent is dynamically generated using the WSDL in the web service server. By using the framework, sensor nodes or mobile devices can enhance their functionalities and services by accessing web services with minimum resources.

      • KCI등재

        임신성 당뇨 과거력의 여성에서 제2형 당뇨병 발생과 LEP 및 LEPR 유전자의 연관성 분석

        박영준 ( Young Joon Park ),김세련 ( Se Ryun Kim ),김종욱 ( Jong Wook Kim ),김민형 ( Min Hyeung Kim ),양재혁 ( Jae Hyug Yang ),김형진 ( Hyeong Jin Kim ),조율희 ( Youl Hee Cho ),정성노 ( Sung Ro Jung ) 대한산부인과학회 2008 Obstetrics & Gynecology Science Vol.51 No.2

        목적: 임신성 당뇨 과거력의 여성이 산후 약 반수에서 제2형 당뇨병으로 발병하는 것으로 알려져 있다. 몇 가지 임상적 위험 인자가 제2형 당뇨병 발생에 관여하는 것으로 알려져 있으나 유전자와의 관련성에 대한 보고는 아직 없다. 본 연구는 leptin 및 leptin receptor 유전자가 임신성 당뇨의 과거력을 가진 여성에서 향후 제2형 당뇨병으로의 발병에 관여하는지 알아보고자 하는데 있다. 연구방법: 1992년 1월 1일부터 2002년 12월 31일까지 산부인과에 내원하여 임신성 당뇨로 진단된 여성을 대상으로 하였다. 연구 시점에서 제2형 당뇨병으로 확인된 경우를 제2형 당뇨병 양성군, 확인이 안 된 경우를 제2형 당뇨병 음성군으로 정의하였다. 임신성 당뇨 진단시와 연구 시점에서의 임상적 자료를 분석하였다. 관련이 있는 유전자를 알아보기 위해 leptin 및 leptin receptor 유전자와 8개의 SNP (LEP-632G>A, +4950G>A, +4998A>C, and LEPR-141013T>C, -186A>G, +5193G>A, +7187A>C, +27265A>G)를 선별하였다. 두 군 간에 유전적 위험도를 분석하고 두 군간에 통계적으로 차이를 보이는 SNP가 있는지 조사하였다. 결과: 임신성 당뇨 과거력을 가지고 있는 54명이 참여하였고, 제2형 당뇨병 양성군이 20명, 음성군이 34명으로 확인되었다. 임신성 당뇨 진단시 제2형 당뇨병 양성군과 음성군 간에 HbA1c와 50g 및 100g 당부하검사, 인슐린 농도 등이 통계적으로 유의하였다 (P<.05). 연구 시점에서 두 군간에 산과력 (P<.001) 외에는 통계적으로 유의한 차이가 없었다. 임신성 당뇨 진단 후 제2형 당뇨병 발생으로의 유전적 위험도 분석에서 두 군간에 유의한 차이를 보이는 SNP는 없었다. 결론: 임신성 당뇨의 과거력을 가진 여성에서 향후 제2형 당뇨병으로 발생하는데 관여하는 유전자는 본 연구에서는 없었다. 향후 더 많은 유전자와 더 많은 대상을 가지고 연구한다면 임신성 당뇨에서 제2형 당뇨병으로의 발생에 관여하는 유전자를 찾아낼 수 있을 것으로 판단된다. Objective: The history of gestational diabetes (GDM) is a high risk for the development of type 2 diabetes mellitus (T2DM). The purpose of this study is to investigate the genetic association of LEP and LEPR gene polymorphisms and the development of T2DM in Korean women of history of GDM. Methods: Women diagnosed as GDM during pregnancy from January 1992 to December 2002 were recruited. Those women with a T2DM at the time of study were classified as T2DM positive group, and without T2DM, as T2DM negative group. 2 genes (LEP and LEPR genes) and 8 SNPs (LEP-632G>A, +4950G>A, +4998A>C, and LEPR-141013T>C, -186A>G, +5193G>A, +7187A>C, +27265A>G) were selected. The TaqMan assay for genotyping and the statistical analysis for phenotypic and genetic factors between 2 groups were analyzed. Results: A total of 54 women, T2DM positive (n=20) and T2DM negative (n=34) were enrolled. At the time of diagnosis of GDM, HbA1c, 50g and 100g oral glucose tolerance test, and insulin level were significantly associated between T2DM positive and negative groups (P<.05). In analysis of genetic risk to T2DM, the significant association related with any SNPs was not shown between T2DM positive and negative groups. Conclusion: In Korean women having past history of GDM, there was no relationship between 2 genes and the development to T2DM. To clarify a effect of candidate genes related with development of T2DM, there will need more samples and genes.

      • KCI등재
      • KCI등재

        時調와 하이쿠의 主題意識 比較硏究

        朴榮俊(Park, Young-Joon) 한국시조학회 2011 시조학논총 Vol.35 No.-

        본고는 韓日 양국의 대표 정형시가인 시조와 하이쿠(俳句)에 나타난 주제의식 중 無常感을 중심으로 해 양국의 시가를 비교한 논문으로 양 시가에서 형상화된 무상감의 대상물을 통해 다소나마 문화의 차이점을 밝히는데 그 목적이 있다. 먼저 懷古를 통해 본 무상감은 크게는 한 나라의 興亡盛衰가, 작게는 개인의 喜怒哀樂, 生者必滅을 통해 드러난다. 시조에는 역사적 사건을 통해 무상감을 깨달은 바, 추상적이고 관념적이었던 무상감은 사회화되고 역사화된 측면이 강한 반면, 하이쿠는 주로 역사적 인물을 회고함으로써 생자필멸을 주로 노래하고 있다. 전자의 기반이 佛敎의 盛者必滅의 사상이라면 후자는 感傷的 諸行無常 사상이라 할 수 있다. 이런 측면에서 양국 모두 불교문화의 색채가 강하지만, 시조가 무상감을 직접적 진술로 드러낸 반면에 하이쿠는 여운을 남기듯이 무상감을 표출하고 있는 점에 큰 차이가 있다. 白髮嘆老의 경우, 인간의 生老病死 중 늙어감을 백발에 비유해 무상감을 형상화하고 있다. 이러한 무상감은 인간 본래의 性情에서 비롯된 것으로 哀傷的, 詠嘆的, 情緖的 경향이 강한 것이다. 특히 하이쿠에서는 돌아가신 어머님의 유품인 머리칼(서리)을 보고 슬픔과 무상감을 표출하고 있다. 이러한 무상감은 시조에는 나타나 있지 않다. 이것은 한일 간의 葬式文化가 다른 점에 기인한다. 自然物을 매개로 해 무상감을 표출한 시조와 하이쿠는 그다지 없었지만 ‘달’과 ‘물’, ‘매미’를 중심 시어로 해 무상감을 형상화하고 있다. ‘달’은 四季 모두 각각의 정취가 있지만, 그 중 가을 달이 가장 淸明하다. 그러한 달을 시적 화자들은 세월에 비유해 무상감을 드러내고 있다. 특히 곤충인 ‘매미’를 중심 시어로 해 인생의 무상감을 표출한 것은 하이쿠 밖에 없음도 알 수 있다. ‘매미’(매미의 날개 모양으로 만든 翼蟬冠)는 청백리와 五德의 상징으로 유교적 색채가 강한 곤충인 반면에 하이쿠에서 매미는 윤리적 측면과 다른 이미지로 쓰였음을 알 수 있다. 따라서 시조가 儒家的 文化를 반영한 시가라 한다면 하이쿠는 卑近한 生活文化 속에서 소재를 찾는 시가라 할 수 있다. This article makes comparative study of the vanity as a theme in Sijo and Haiku to shed light on cultural differences in two contries. The vanity by recollection is realized through historical events in Sijo, while it is realized through historical figures. Sijo emphasizes that all life is mortal while Haiku emphasizes that all is vanity. Both have Buddhism colortone. Haiku expresses the grief and vanity by the keepsake hair of late mother. But there is no such Sijo. This results from the difference in funeral culture. There are not many Sijos and Haikus which express the vanity by the natural things. However the moon and cicadas are used as thematic words to express the vanity. The moon is the figurative expression of time. Cicadas are used only in Haiku as a main metaphorical word of vanily of life.

      • KCI등재

        단기간 동안 경험한 조기분만의 임상적 고찰

        박영준(Young Joon Park) 대한산부인과학회 2002 Obstetrics & Gynecology Science Vol.45 No.6

        목적 : 본원에서 단기간 경험한 조기분만의 임상적 특징들을 알아보기 위한 목적으로 수행되었다. 연구 방법 : 2000년 1월 1일부터 2001년 6월 30일까지 본원 산부인과에 입원하여 조기분만된 산모 49예와 조산아 52예를 대상으로 임상병력지를 중심으로 결과를 분석하였다. 결과 : 조기분만 건수는 총 49예로 19.7%를 보였으며 36주가 12건 (24.5%)으로 가장 많았는데, 34주 이후에서 37주까지가 71.5%, 34주 이전이 28.6%였다. 산모의 평균 연령은 31.4세였고 호발연령은 31-34세 (44.9%)였다. 조기분만의 원인으로는 조기양막파수를 동반한 조기진통이 27건, 조기양막파수가 없었던 조기진통이 16건으로 조기진통으로 인한 조기분만이 가장 많았다 (87.8%). 분만 방법에서는 질식분만이 67.3%였는데 이중 49.0%에서 회음절개술을 시행하였다. 분만전에 스테로이드를 사용한 경우가 26.5%였다. 모든 경우에서 신생아 호흡곤란증후군이 발생하지 않았다. 결론 : 조기분만이 주산기 신생아 사망의 중요한 원인이다. 따라서 조기분만을 예방, 치료하며 조산아에 대하여 특히 신생아 호흡곤란증후군을 예방하는 것이 이러한 사망을 줄이는데 필요하다. 본원 산부인과에서 짧은 기간 동안 분만을 관찰한 결과 조기분만과 신생아 호흡곤란증후군의 예가 빈약하였다. 향후 더 많은 조기 분만의 예를 가지고 분석하는 것이 필요할 것으로 판단된다. Objective : This study was undertaken to evaluate for the clinical characteristics of preterm birth experienced during the short term at Myongii hospital. Methods : This study was done 49 pregnant women and 52 preterm infants who were admitted and delivered under the diagnosis of preterm birth at Myongji hospital from Jan. 1, 2000 to Jun. 30, 2001. The data were collected retrospectively and all charts were reviewed. Results : 1. The incidence of preterm birth was 19.7% (49/249) 2. Age distribution of cases was showed the highest frequency at 36 gestational weeks (24.5%). The mean age was 31.4 years old and peak age was between 31-40 years group. 3. The causes of preterm birth were the preterm labor with premature rupture of membrane (55.1%), the preterm labor without premature rupture of membrane (32.7%), pregnancy-induced hypertension (8.2%), and placental abnormality (4.0%). 4. The incidence of vaginal delivery was 67.3% and the incidence of episiotomy was 49.0%. 5. The incidence of use of steroid before delivery was 26.5%. 6. Respiratory distress syndrome (RDS) was not noted among the all cases. Conclusion : Preterm birth is one of the major causes of perinatal mortality. Several trials including tocolytic agents, steroid, and surfactant are being used for prevention or treatment of preterm birth and RDS. In the future, many cases are needed for the exact evaluation of preterm birth.

      • KCI등재

        암 보험에서 보장하는 암의 정의에 관한 연구

        박영준 ( Park Young Joon ) 단국대학교 법학연구소 2020 법학논총 Vol.44 No.4

        암은 우리나라 사람들의 사망 원인 중 가장 많은 경우를 차지하고 있고, 사망 발생건수가 과거보다 계속 증가하고 있다. 때문에 암보험에 가입하는 사람들도 많아졌다. 그러나 암보험은 그 보험금 지급을 둘러싸고 보험회사와 보험계약자 사이에서 분쟁이 빈발하고 있다. 분쟁의 발생원인에는 여러 가지가 있지만 그 중에서도 암진단과 관련하여 현재 피보험자에게 발생한 질병이 과연 ‘암’인지 여부에 대한 판단 여부에서부터 분쟁이 발생하고 있다. 이 논문에서는 암보험에서의 보험사고인 암의 정의에 관하여 살피고 이와 관련된 여러 가지 법적 문제에 관하여 연구하고 해당문제의 해결을 위한 바람직한 방안을 제시하고 있다. 우리 암보험약관은 암의 정의를 자체적으로 규정하지 않고, 한국표준질병사인분류(KCD)상의 악성신생물을 암의 개념으로 받아들이는 것으로 규정하고 있다. 이러한 암의 정의와 관련한 독특한 구조 때문에 발생하는 법적 문제점 중 본고에서 살펴본 것은 크게 3가지이다. 첫째, KCD를 약관으로 인정할 것인가의 여부이다. 우리 대법원은 KCD를 약관으로 인정하고 있다. 때문에 KCD의 해석에 있어서도 약관규제법상의 작성자 불이익 원칙의 원칙이 적용되어야 한다고 본다. 둘째, 보험계약시와 발병시 KCD의 내용이 변경된 경우 어떠한 KCD 규정에 따라야하는 가하는 점이다. 현행 약관의 해석으로는 보험계약시 KCD와 발병시 KCD 중 어느 한쪽에라도 암으로 규정되어 았다면 암보험금을 받는 것으로 해석된다, 이러한 현행 규정은 암치료에 관한 의료기술의 발전을 제대로 반영하지 못하고 있다고 생각된다. 때문에 약관을 개정하여 암보험금을 지급하는 기준은 발생시 KCD에 의한다는 것을 명확히 규정하는 것이 필요하다고 생각된다. 셋째, 암의 진단주체가 누구인가하는 것이다. 현재 약관에서는 병리의사의 판단을 우선시 하면서 “병리학적 진단이 가능하지 않을 때”에는 임상의사의 판단에 따르도록 규정되어 있다. 그러나 기존의 대법원 판례 중에는 병리의사의 판단과 다른 임상의사의 판단을 인정하여 암으로 판정한 경우도 꽤 많이 있었다. 약관의 객관적 획일적 해석의 원칙에 따라 “병리학적 진단이 가능하지 않을 때”를 명확하게 해석하는 것이 필요할 것으로 생각되며 향후 약관에 보다 구체적으로 명시하는 것이 필요할 것으로 생각된다. Cancer is the largest number of deaths among Koreans, and the number of deaths continues to increase compared to the past. Because of this, many people subscribe to cancer insurance. However, cancer insurance has frequent disputes between insurance companies and policyholders over the payment of the insurance. There are various causes of the dispute, but among them, disputes arise from whether or not the disease that occurred to the insured is indeed “cancer” in relation to cancer diagnosis. This paper examines the definition of cancer, which is an insurance accident in cancer insurance, studies various legal issues related to this, and presents a desirable plan for solving the problem. Our Cancer Insurance Terms and Conditions do not define the definition of cancer by itself, but rather stipulate that malignant neoplasms under the Korean Standard Classification of Diseases (KCD) are accepted as the concept of cancer. Among the legal problems that arise due to the unique structure related to the definition of cancer, there are three major issues that have been examined in this paper. First, it is whether or not to accept KCD as terms and conditions. Our Supreme Court recognizes KCD as a terms and conditions. For this reason, I believe that the principle of the author's disadvantage in the terms and conditions regulation law should be applied to the interpretation of KCD. Second, if the contents of the KCD are changed at the time of insurance contract and at the time of an outbreak, what KCD regulations must be followed. The interpretation of the current terms and conditions is that if either KCD at the time of the insurance contract or KCD at the time of an outbreak is defined as cancer, it is interpreted as receiving a cancer insurance payment.These current regulations do not properly reflect the development of medical technology related to cancer treatment. do. Therefore, it is necessary to clarify that the standard for payment of cancer insurance by revising the terms and conditions is based on KCD when it occurs. Third, who is the subject of cancer diagnosis. In the current terms and conditions, while prioritizing the judgment of the pathologist, it is stipulated that the judgment of the clinician should be followed when “when pathological diagnosis is not possible”. However, among the existing Supreme Court cases, there were quite a few cases where the judgment of the pathologist and the judgment of the clinician was recognized as cancer. It is believed that it is necessary to clearly interpret “when pathological diagnosis is not possible” according to the principle of objective and uniform interpretation of the terms and conditions, and it is necessary to specify more concretely in future terms and conditions.

      • KCI등재

        時調와 하이루(俳句)의 美意識 : 형식적 측면을 중심으로

        朴榮俊(Park Young-Joon) 중앙어문학회 2010 語文論集 Vol.43 No.-

        Any part of a literature was not born in a perfect form from the start, Sijo and Haiku were shaped as they are now after many changes. Korean and Japanese put their thought and emotions in the present forms of Sijo and Haiku. This article studies the forms of Sijo and Haiku in the relation to esthetic sense. First, hath Sijo and Haiku pursued the odd beauty from insufficiency, unbalance and imperfection Next, Sijo and Haiku share the form with cheerful and vivid rhythmical beauty. Thirdly, They are in such a short form that have restraint and moderation. On the other hand, Sijo ard Haiku are quite different as follows. First, Sijo shows the beauty of stability and balance and the completion through its final line and Haiku is lack of stability but accounts the margin by kireji. Secondly, Sijo pursues the beauty of uniformity but Haiku pursues the diversity. Thirdly, Sijo pursues the writer's idealistic beauty while Haiku pursues the reader's beauty. It is possible to enjoy beauties of Sijo and Haiku only after we understand the fundamental characteristics and differences of their forms.

      • KCI우수등재

        후 열처리에 의한 cubic - BN 상과 hexagonal - BN 상 혼합 막의 안정성 향상

        박영준(Young-Joon Park),최제형(Jae-Hyung Choi),이정용(Jeong Yong Lee),백영준(Young-Joon Baik) 한국진공학회(ASCT) 2000 Applied Science and Convergence Technology Vol.9 No.2

        이온빔보조증착법을 이용하여 e-BN(70%)/h-BN(30%) 혼합막을 합성하였으며, 이를 후속 열처리로 안정화 시켰다 보론은 e-beam evaporator로, 질소는 end-hall type 이온 건으로 공급하였으며, 기판에는 -400과 -500V의 DC 바이어스를 각 각 인가하였고, 700℃로 가열하였다. 보론의 기화속도는 1.2 Å/see였고, 질소이온의 에너지는 약 l00eV였다. 막 합성 후 같은 진공에서 후속열처리를 700℃ 및 800℃에서 l시간동안 각 각 행하였다. 후속열처리를 하지 않은 경우에는 공기 중에 노출된 직후에 막이 기판에서 박리된 반면, 800℃에서 후속 열처리를 한 경우에는 안정하였다 후속 열처리에 의하여 막 전체의 응력은 4.9 ㎬에서 3.4 ㎬로 감소하였으나, c-BN 상의 응력은 변화하지 않았다. 이러한 결과는 c-BN 상의 응력 해소를 주요 안정화 기구로 보고한 기존의 결과와 다른 것으로, 후속 열처리 동안에, 비정질이나 결함이 많은 h-BN 상의 구조적, 화학적 relaxation에 의하여 막의 안정화가 진행될 수 있음을 의미한다. c-BN 상의 분율이 작은 혼합막의 경우 비 e-BN 상의 안정화가 막 전체의 안정화에 매우 중요할 것으로 판단된다. BN films composed of c-BN(70%) and h-BN(30%) phases have been synthesized by the ion beam assisted deposition (IBAD) process and stabilized by post-anneaing. Boron was e-beam evaporated at 1.2 Å/sec and nitrogen was ionized and accelerated at about 100 eV by the end-hall type ion gun. Substrates were negatively biased by DC 400 and 500 V, respectively, and heated at 700℃. Synthesized BN films were in-situ post-annealed at 700 or 800℃, respectively, for 1 hr without breaking vacuum. BN films without post-annealing were peeled off from substrates immediately when they were exposed to the air while those with post-annealing at 800℃ were stabilized. Post annealing reduced the film stress from 4.9 ㎬ to 3.4 ㎬, but no considerable stress release in the c-BN phase was observed, contrary to previous reports that the stress relaxation in the c-BN phase is the main mechanism for the stabilization. Structural and chemical relaxation of non c-BN phase is supposed to be responsible for the film stress reduction and, in turn, stabilization, especially when the c-BN content of the film is not high.

      • KCI우수등재

        이온빔보조증착법으로 합성한 hexagonal BN막의 hexagonal ring의 배열과 결정성

        박영준(Young-Joon Park),한준희(Jun-Hee Hahn),이정용(Jeong Yong Lee),백영준(Young-Joon Baik) 한국진공학회(ASCT) 1999 Applied Science and Convergence Technology Vol.8 No.1

        이온빔보조증착법으로 h-BN을 증착하여 이온에너지 및 기판온도에 따른 hexagonal ring의 배열 및 결정성의 변화를 연구하였다. 보론은 전자빔으로 1.5 Å/sec의 속도로 증발시켰으며, 질소는 end-hall 형 이 온건으로 60, 80, 100eV의 에너지로 공급하였다. 기판의 온도는 상온 (no heating), 200, 400, 500, 800℃로 변화시켰다. 질소이온에너지가 증가할수록 hexagonal ring의 c-축은 기판에 평행하게 배열하여 100 eV의 질소이온 에너지에서 가장 좋은 배열을 나타내었다. 이는 이온에너지가 높을수록 합성 막에 큰 압축응력이 발생하기 때문으로 생각된다. 기판온도에 따라서는 온도가 증가함에 따라 배열이 증가하다가 약 400℃에서 최대가 되고 그 보다 높은 온도에서는 배열이 감소하였다. 그리고 결정도는 온도가 증가할수록 향상되었다. 이러한 경향들은 온도가 증가함에 따라 원자 이동도는 증가하고 응력발생은 어려워지는 경향으로부터 잘 설명된다. 또한 nano-indentor로 측정한 h-BN막의 경도는 c-축의 배열정도와 같은 경향을 보였다. 이온빔보조증착법은 hexagonal ring의 배열을 통한 h-BN막 성질의 최적화에 효과적인 방법으로 판단된다. We have studied the alignment and the lattice quality of hexagonal rings of h-BN films synthesized by ion beam assisted deposition (lBAD) method. Boron was e-beam evaporated at 1.5 Å/sec and nitrogen gas was ionized using end-hall type ion gun at 60, 80, and 100 eV, respectively. Substrate was either not heated or heated at 200, 400, 500, and 800℃, respectively. As nitrogen ion energy increases, c-axes of hexagonal rings tend to align parallel to the substrate, which is explained by larger compressive stress at higher ion energies. Alignment of c-axis increases with temperature and shows maximum around 400℃. The lattice quality of hexagonal rings improves with temperature. Such behaviors can be understood from two counter trends of increasing the atomic mobility and decreasing compressive stress with temperature. Hardness of h-BN films shows the same trend with the alignment of c-axis. Ion beam assisted deposition method seems to be effective for aligning hexagonal rings and optimizing h-BN properties.

      연관 검색어 추천

      이 검색어로 많이 본 자료

      활용도 높은 자료

      해외이동버튼