자궁경관 무력증

김용탁,류형우,송성,권흥기,이진식,조완석 대한산부인과학회 1990 Obstetrics & Gynecology Science Vol.33 No.12

1983년 9월부터 1988년 10월까지 5년 1개월간 파티마병원 산부인과에 내원한 43예의 자궁경관무력증 환자에 대하여 수술을 시행하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 자궁경관무력증 수술빈도는 총분만수 28,467예중 43예로 0.15%이다. 2. 25∼29세의 연령군에서 제일 많은 빈도를 보였으며, 기왕임신횟수와의 관계에서 3회이상이 36명(83.7%)로 가장 많았다. 3. 원인적소인으로서, 소파술로 경관손상을 받은 과거력을 가진 예가 34예(78.2%)로 제일 많았으며, 유산 및 분만후 경관열상이 7예(16.2%) 원인미상이 2예(4.6%)로 나타났다. 4. 수술방법은 McDonald술식이 40예(93%), Schrodkar술식이 3예로 실시했다. 5. 수술후 평균 입원기간은 4일로서 술후 절대안정 및 Hip elevation시켰으며 20예에서 Yutopar(19예)와 항생제(1예)를 투여했으나 비투여군 23예와의 태아 생존율에서는 유의한 차이가 없었다. 6. 수술받은 환자 43명중 36명이 추적되었고 이중 31명이 성공하여 태아생존율은 86%였다. 7. 술후 분만방법은 질식분만이 36예(83.3%), 제왕절개분만이 6예(16.7%)이었다. 8. 술후 실패한 5예는 조기진통이 3예, 조기파막이 2예였다. 9. 수술시기는 14∼15주에서 26예(60.5%)로 가장 많았으며, 이군에서 태아생존율은 91%로 매우 높았다. We surveyed 43 cases with I.I.O.C. who received the treatment of cervical cerclage at Fatima Hospital from September in 1983 to October in 1988, during the period 5 years and one month. These 43 cases were followed by 31 live births and 5 failures and 7 patients were lost to follow up. An attempt to analyze the predisposing factors, postoperative results and other concerned problems were made with a brief review of literatures.

[정책연구 2018-11] 중증장애인 공공일자리 사업 추진 방안-동료지원가 모델을 중심으로

김용탁,하경희,류구열,윤상조 한국장애인고용공단 고용개발원 2019 연구자료 Vol.2019 No.-

PECVD 법에 의해 제작된 저굴절률 차이 평판 SiON광도파로

김용탁,윤석규,윤대호,Kim, Yong-Tak,Yoon, Seok-Gyu,Yoon, Dae-Ho 한국세라믹학회 2005 한국세라믹학회지 Vol.42 No.3

Silicon oxynitride (SiON) 막은 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)으로 $SiH_4,\;N_2O$와 $N_2$ 가스를 사용하여 $SiO_2/Si$ 위해 증착되었다. 증착 변수에 따라서 SiON 막의 굴절률은 prism coupler를 사용하여 1552nm 파장에서 $1.4480\~1.4958$까지 변화하였다. 평판 광도파로 코어로 사용되는 SiON 막의 두께는 $6{\mu}m$이고, buffer 막과의 굴절률 차이(An)는 $0.36\%$이다. 또한 식각 공정으로 $SiO_2$ 막 위에 증착된 SiON 막은 건식식각을 통해서 수행되었다. 광화이버에 $1.55{\mu}m$ 파장의 레이저론 입력단에 조사하였다. 결과적으로 저굴절률 차이 SiON 광도파로를 제작하였으며, 출력단에서 single-mode 형상을 확인하였다. Silicon oxynitride (SiON) layers deposited upon a $SiO_2/Si$ buffer layer placed upon silicon wafers have been obtained by using PECVD from $SiH_4,\;N_2O$, and $N_2$. It can be seen that the refractive index, measured by using a prism coupler, for the SiON films can be varied between 1.4480 and 1.4958 at a wavelength of 1552 nm by changing the process parameters. Optical planar waveguides with a thickness of $6{\mu}m$ and a refractive index contrast ($\Delta$n) of $0.36\% have been deposited. Also, etching experiments were performed using ICP dry etching equipment on thick SiON films grown onto Si substrates covered by a thick $SiO_2$ buffer layer. A polarization maintaining single-mode fiber was used for the input and a microscope objective for the output at $1.55{\mu}m$. As a result, a low index contrast SiON based waveguide is fabricated with easily adjustable refractive index of core layer. It illustrates that the output intensity mode is a waveguiding single-mode.

장애인 고용경험이 장애인고용인식과 채용의사에 미치는 영향

김용탁,심진예 한국장애인고용촉진공단 고용개발원 2009 장애와 고용 Vol.19 No.3

본 연구는 고용주의 장애인고용경험이 장애인고용인식과 채용의사에 미치는 영향을 분석하고 장애인고용인식의 매개효과를 검증하는데 목적을 두었다. 분석대상은 한국장애인고용촉진공단이 2008년도에 실시한 사업체 장애인고용 실태조사의 심층조사에 참여한 사업체 2,510개소이다. 분석결과 고용경험은 고용주의 채용의사와 장애인고용인식에 유의미한 영향을 미치며 장애인고용인식은 고용경험과 채용의사 관계를 부분적으로 매개하는 것으로 나타났다. 연구결과는 장애인 고용경험 유무에 따른 정책대상별 차별화된 형태의 정책적 접근의 필요성과 장애인고용인식의 개선의 중요성을 시사하고 있다. This study aims to analyze the influence of experience regarding hiring of the disabled as it pertains to the intentions and perceptions of employing the disabled and verify mediating effect of perceptions of employing the disabled. 2,510 companies participated in the in-depth research which entailed a survey on the employment status of the disabled in business in 2008. According to the research, companies hiring workers with disabilities present a positive attitude toward employing the disabled. Moreover, experience of hiring the disabled acts as a meaningful variable which improves employers’ intentions and perceptions regarding employment of the disabled. The result of the study implies that it is necessary to use a political approach which considers various political objectives according to experience, regarding hiring of the disabled. For companies not having experience regarding hiring of the disabled, disability awareness training is needed. On the other hand, for experienced companies, a strong demand to raise employer satisfaction and draw a plan of support for more employment is apparent.

고령자 고용 사업의 개선 방안 : 장애인 고용 사업과의 연계를 중심으로

김용탁,윤희숙 한국장애인고용공단 고용개발원 2012 장애와 고용 Vol.22 No.4

본 연구는 고령자 고용 사업의 현황을 검토하고 이를 통해 장애인 고용 사업과의 연계 방안을 모색하는데 목적을 두고 있다. 이러한 연구 목적을 달성하기 위하여 본 연구는 다 음과 같이 세 가지 연구 문제를 제시하였다. 첫째, 고령자 고용 사업 현황과 전담기구 필 요성은 무엇인가? 둘째, 고령자·장애인 고용사업의 연계 필요성은 무엇인가? 셋째, 고 령자·장애인 고용 사업 통합방안 및 성과는 무엇인가? 먼저, 첫 번째 연구문제는 고령 자 고용사업 현황을 살펴봄으로써 장애인 고용 사업 연계 가능성을 타진하는 것이다. 검 토 결과 두 사업 간에는 많은 유사성이 있음을 확인할 수 있었다. 즉, 취업알선, 고용지 도, 고용촉진 그리고 차별 금지 등의 사업 체계가 정책 대상만 다를 뿐 대동소이하다는 점이다. 두 번째 연구문제는 통합 필요성 과 관련하여 고용노동부의 고령자 고용 사업이 분산화, 개별화되어 있기 때문에 이를 개편할 수 있는 방안을 강구할 필요성이 있다는 점 이다. 즉, 고용노동부가 수행하고 있는 고령자 고용 사업 체계의 전환이라고 할 수 있다. 이는 일본사례를 통해 통합 필요성이 제고되었다. 세 번째 연구 문제는 두 사업간의 통합 의 의미로서 접근해야 한다. 이러한 논의를 통하여 본 연구에서는 고령자 고용을 총괄함 으로써 업무 효율성의 증가, 과도한 예산 낭비 방지와 같은 경제적 효과도 기대할 수 있 을 뿐만 아니라 고령자 사업과 장애인 사업의 공통점을 추출하여 공단 사업을 추진하는 전략적인 방향을 제시하고자 하였다. The purpose of this research is to determine how feasible it would be to link the employment programs for the elderly and the disabled that are managed by the Ministry of Employment and Labor. In order to achieve this objective, a methodology for linking, assimilating or rearranging programs was sought. Consequently, the feasibility of linking programs turned out to be greater when programs were grouped and analyzed based on their similarities of their goals and contents. Furthermore, the experience and expertise that KEAD has amassed administering disability employment programs would be an important factor in whether linking these programs could be successfully carried out. Therefore, the most reasonable way to accomplish this linkage was to integrate employment programs for the elderly with disability employment programs. This will help build an unitary structure of employment services for the elderly, and also promote the employment of the senior citizens. In addition, greater convenience and the simplification of administrative services can be expected, in addition to a reduction in budget costs.

비경제활동 장애인의 취업의사에 미치는 영향

김용탁 한국장애인고용공단 고용개발원 2018 수시과제보고서 Vol.2018 No.-

고령장애인 고용촉진 방안

김용탁 한국장애인고용촉진공단 고용개발원 2007 연구개발 Vol.- No.17

I. 연구의 필요성 및 목적 현재 우리나라는 인구의 급속한 고령화에 따른 위기에 대응하기 위하여 다양한 대비책 마련에 부심하고 있다. 예를 들어 국가 차원에서 저출산 고령사회위원회 등을 구성하여 운영하고 있는 것이 그 단적인 사례이다. 특히 그 중에서도 고용과 관련된 문제는 고령자의 일할권리와 더불어 생존권의 측면에서 중요한 정책적 과제라 할 수 있다. 장애인 정책도 마찬가지이다. 사회 취약계층에 대한 정책의 필요성에 근거하여 노동시장으로의 진입을 도모할 수 있는 장애인 고용 정책에 대한 국가 사회적관심이 확대되고 그에 따라 다양한 논의가 폭넓게 진행되고 있다. 그러나 고령과 장애를 동시에 갖고 있는 고령 장애인은 여전히 사회적·정책적 관심의 대상에서 배제되어 왔다. 고령자 고용 정책이나 노인 고용정책 그리고 장애인 고용정책에서도 '고령과 장애'를 포괄하는 정책적 접근이 간과되었던 것이다. 더군다나 고령 장애인 개념조차도 제대로 규정되지 않고 있는 것이 현실이다. 하지만 각종 실태 조사 등은 고령 장애인의 경제적 어려움이 상대적으로 열악하다는 점과 특히 고령 장애인의 취업 욕구가 크다는 점을 분명히 보여주고 있다. 이는 고령 장애인에 대한 다양한 지원 중에서 특히, 고용에 대한 정책적 지원이 적극적으로 마련될 필요가 있음을 말해주는 것이라 하겠다. 이러한 필요성에 근거하여 본 연구는 장애와 고령이라는 중복소외를 경험하고 있는 고령 장애인에 대한 다양한 정책적 접근과 더불어 이들의 고용을 활성화할 수 있는 방안을 강구하는데 목적을 두고 있다. II. 연구문제 첫째, 고령 장애인의 개념과 이론적 및 법규상의 규정은 어떠한가? 둘째, 고령 장애인의 고용 현황은 어떠한가? 셋째, 고령 장애인의 고용에 대한 현행의 정책적 접근은 어떠한가? 넷째, 고령 장애인의 고용을 도모하기 위한 정책 방안은 무엇인가? III. 연구방법 본 연구는 고령 장애인의 경제적 현황과 고용 상태 등을 파악하고 이를 바탕으로 관련 정책에서 고령 장애인에 대한 고용 정책은 어떻게 나타나고 있는지에 대한 분석을 시도하고 있다. 이러한 분석을 위해 본 연구는 문헌연구와 2차 자료 분석의 방법을 주로 사용하였다. 이를 구체적으로 보면 다음과 같다. 첫째, 고령 장애인 개념 정립을 중심으로 한 이론적 검토이다. 이를 위해서 선행연구와 법령상의 관련 개념 규정에 초점을 둔 문헌 분석의 방법을 사용하였다. 둘째, 고령 장애인 및 그 고용문제의 상황과 추이를 파악하기 위해서는 정부 통계자료와 장애인 실태 조사 자료 등의 2차 자료를 활용하여 이를 분석하거나 재구성하였다. 셋째, 고령자 고용촉진법, 노인복지법 그리고 장애인 복지법 등의 분석을 통하여 법제도적인 측면에서의 문제점을 분석하였다. 마지막으로, 정책 분석의 기본적인 연구틀을 바탕으로 정책을 분석하고, 그 과정에서 시사점을 도출하고자 하였다. 본 연구에서는 특히 Gilbert와 Specht의 논의를 중심으로 연구의 분석틀을 제시하였다. 이는 정책대상, 정책 내용 그리고 정책 전달체계, 정책 수행을 위한 재원 등으로 분류하였는데, 정책 분석의 용이함과 더불어 정책 대안을 제시함에 있어서도 큰 의미가 있기 때문이다. IV. 연구결과 본 연구를 통하여 다음과 같은 분석 결과를 도출하였다. 첫째, 고령장애인의 개념과 이론적 및 법규상의 규정 차원에서 몇 가지 의미 있는 사실을 발견하였다. 그것은 고령 장애인의 개념을 구성하는 고령의 의미가 고령, 노령, 노인 등의 의미가 혼재되어 있어 고령 장애인의 개념도 모호하다는 것이다. 특히 연령을 기준으로 보았을 때,「고령자고용촉진법」의 규정에 의한 50세부터의 준고령자, 55세부터의 고령자,「노인복지법」의 규정에 의한 65세부터의 노인이나 노령 그리고「국민연금법」의 60세이상 규정 등으로 서로 각기 다르게 규정되어 있었다. 따라서 정책대상으로서 고령 장애인의 범주를 규정하기에 어려움이 있다는 것을 확인할수 있었다. 둘째, 고령 장애인의 고용 현황은 어떠한가 하는 점이다. 먼저, 고령장애인은 전체 장애인의 62%를 차지하고 있다. 특히 우리나라의 경우 전체 인구의 고령화와는 달리 장애인의 고령화가 더욱 심각하게 진행되고 있다는 것을 알 수 있었다. 비장애인과 동등하게 65세 이상의 장애인비율은 전체 장애인의 32.4%로서 초고령 사회의 기준보다 훨씬 높게 나타난 것이다. 또한 고령 장애인의 경제적 어려움이 비장애 고령자보다 매우 높으며, 비고령 장애인에 비해서도 더 열악하다는 것을 확인할 수 있었다. 이는 평균 소득, 연금 가입 여부, 노후대책 등에서 특히 구분되고 있다. 고용과 관련한 분석 결과는 고령 장애인의 경제활동참가율이 비장애 고령자보다 훨씬 낮게 나타났으며, 실업률은 상대적으로 매우 높았다는 점을 확인할 수 있었다. 이는 경제활동에 제대로 참가하지 못하거나 참가한다 하더라도 실업상태에 빠져있는 경우가 많다는 것을 의미한다. 그러나 실제 고령 장애인의 욕구 중에서 취업의 욕구가 있음을 실태 조사를 통해 알 수 있었다. 이러한 결과는 고령 장애인에 대한 고용 정책이 필요하다는 점을 보여주는 사례라고 할 수 있다. 셋째, 고령 장애인 고용에 대한 현행의 정책적 접근은 어떠한가 하는 점이다. 본 연구에서는 고령자, 노인 그리고 장애인 고용 정책 분석을 통해 그 과정에서 고령 장애인의 고용에 대한 의미를 찾고자 하였다. 현행 법제도 등에서 '고령 장애인'에 대한 독자적인 정책이 제대로 마련되지 있지 않기 때문이다. 그런 의미에서 고령 장애인을 포함시킬 수 있는 정책 분석을 바탕으로 고령 장애인의 위상과 현실태를 파악한 것이다. 이 분석을 통해 다음과 같은 결과를 도출하였다. 첫째, 정책 대상의 문제로서, 고령과 노인 사이의 개념 혼재로 인해 정책 대상을 제대로 규정할 수 없다는 점이다. 둘째, 정책 내용에 있어서 각각의 정책을 추진하고 있지만 그 내용에 실질적인 고령 장애인 관련 내용이 없으며, 셋째, 정책 전달체계도 마찬가지로 고령 장애인에 대한 배려 사항이 전혀 없다는 것을 볼 수 있었다. 넷째, 고령 장애인 고용 관련 재원의 경우에도 고령자나 노인 그리고 장애인 부문에서 일반회계와 기금을 통해 지원하고 있지만 이 중에서 고령 장애인에 대한 특화된 지원은 찾아볼 수가 없었다. 네 번째의 연구문제로서 고령 장애인의 고용을 도모할 수 있는 정책적 방안은 어떠한가에 대한 결과는 다음과 같이 네 가지 측면으로 제시하였다. 첫째는 정책 대상으로서 고령 장애인 개념을 명확히 해야 한다는 점이다. 특히 고용정책의 대상으로서 고령 장애인을 규정할 경우, 획일적인 고용관련 기준보다 서비스 수혜대상 차원에서의 연령 기준을 적용하는 방안, 비장애인과 다른 기준 도입, 고령화된 장애인과 노인성 장애인의 구분 등을 고려해야 한다. 또한 장애 정도와 소득 여부에 따라 각각의 대상자를 구분, 그에 맞는 고용 정책을 추진할 필요가 있다. 둘째, 제도개선과 프로그램 개발을 통해 고령 장애인의 고용 촉진을 도모할 수 있는 방안을 제시하였다. 고령자 고용에 따른 장려금 지급시 '장애'에 대해 인센티브를 제공하는 방안, 고령자 적합 직종, 노인일자리창출사업에 '장애'관련 직종 창출 및 포함, 고령 장애인 단기 직업훈련 프로그램 개발, 고령 장애인의 특성을 반영한 일자리 창출 등과 같은 노력이 필요하다. 셋째, 고용지원체계 구축방안으로서 고령- 노인- 장애인 고용 관련기관간의 네트워크를 구성하여 공동프로그램 추진, 고령 장애인 지원 사업단신설 그리고 장기적 차원에서 고령자와 장애인의 고용을 포괄하는 고용지원 전문 기구 설립 등을 긍정적으로 검토해야 할 것이다. 넷째, 고령 장애인 고용관련 재원에 대해서는 현재의 고용보험기금이나 장애인고용촉진 및 직업재활기금에서 고령 장애인 관련 예산을 편성하는 방법, 그에 따라 일반회계 지원을 강화하는 방안 등을 구체적으로 마련해야 할 것이다. 특히 향후 예산 편성 등에 있어서 고령 장애인을 복지가 아닌 고용의 영역으로 포함시키고자 하는 적극적 노동시장 정책을 지향해야 할 것이다. 나아가 '고령'과 '장애' 인지적 관점으로 예산 편성이 이루어질 수 있는 관점의 전환도 필요하다 하겠다. V. 연구의의 본 연구는 정책 대상인 '고령 장애인' 개념이 불분명한 상황에서 논의를 시작하였기 때문에 고령 장애인 고용 정책에 대한 탐색적인 연구로서의 의미를 갖는다. 둘째, 고령 장애인에 대한 정책을 고령자와 노인 그리고 장애인 각각의 정책 분석을 통해 접근하였기 때문에 향후 후속 연구에 있어서 각 정책의 특성에 따라 실효성 있는 정책 방안을 마련할 수 있는 토대가 될 수 있을 것이다. 셋째, 고령 장애인의 고용문제를 연구 목적으로 함으로써 고령 장애인에 대한 복지정책의 한계를 넘어 고용으로 시각을 확대하는 계기가 될 수 있을 것이다. 마지막으로 본 연구에서 제시된 활성화 방안을 토대로 법·제도적 개선이나 예산 편성 등에 있어서 고령 장애인이 그 정책 대상으로서 고려될 수 있는 근거를 마련했다는데 그 의의를 찾을 수 있겠다.

FHD법에 의해 증착된 실리카막의 도펀트 첨가에 의한 굴절률 제어

김용탁,서용곤,윤형도,임영민,윤대호 한국세라믹학회 2003 한국세라믹학회지 Vol.40 No.6

실리카 평판광회로는 다양한 광수동소자에 응용이 되고 있으며, 이를 구성하는 SiO$_2$와 GeO$_2$-SiO$_2$ 막은 화염가수분해증착에 의해 증착되었다. SiO$_2$ 막은 산-수소 토치에 SiCl$_4$, POC1$_3$와 BCl$_3$를 주입하여 화염가수반응에 의해 생성되었으며, POC1$_3$/BC1$_3$ 유량비가 증가함에 따라 P 농도는 2.0-2.8 at%까지 증가하였고, 굴절률은 1.4584-1.4605로 증가하였다. GeO$_2$-SiO$_2$ 막의 굴절률은 GeCl$_4$ 유량에 의해 제어되었으며 30-120 sccm으로 증가함에 따라 1.4615-1.4809로 증가하였다. Silica based Planar Lightwave Circuits (PLC) have been applied to various kinds of wave-guided optical passive devices. SiO$_2$ (buffer) and GeO$_2$-SiO$_2$ (core) thick films have been deposited by Flame Hydrolysis Deposition (FHD). The SiO$_2$ films were produced by the flame hydrolysis reaction of halide materials such as SiCl$_4$, POCl$_3$ and BCl$_3$ into an oxy-hydrogen torch. The P concentration increased from 2.0 to 2.8 at% on increasing the POCl$_3$/BCl$_3$ flow ratio. The refractive index increased from 1.4584 to 1.4605 on increasing the POC1$_3$/BC1$_3$ flow ratio from 0.6 to 2.6. The refractive index of GeO$_2$-SiO$_2$ films was controlled by the GeCl$_4$ flow rate. The refractive index increased from 1.4615 to 1.4809 on increasing the GeCl$_4$ flow rate from 30 to 120 sccm.

우리나라 장애인 고용부담금의 성격에 관한 연구

김용탁 한국장애인고용촉진공단 고용개발원 2006 장애와 고용 Vol.16 No.1

본 연구는 장애인의무고용제도를 됫받침하는 가장 중요한 제도 중의 하나인 장애인 고용 부담금의 성격을 짚어보고 그 속에서 어떤 문제점을 내포하고 있는가를 분석하는데 그 목적을 두고 있다. 먼저, 장애인 고용 부담금은 행정의무이행확보수단으로서의 성격과 유도적, 조정적 성격을 갖고 있는 것으로 분석되었다. 즉, 사업주들의 장애인 고용 의무를 이행시킴과 동시에 장애인 고용사업주와 미고용사업주간의 형평성을 도모하는 특성을 갖고 있다는 것을 알 수 있다. 그러나 실제 부담금 제도 운용은 많은 문제점을 내포하고 있다. 첫째, 부담금의 역할이 모호하다. 즉, 부담금이 장애인 고용을 촉진하는 제도로서 제 기능을 발휘하지 못하고 있는 것이다. 둘째, 부담금의 부담 기초액 산정 방법이 비합리적이다. 부담금 산정 원칙을 장애인 고용사업주와 미고용사업주간의 고용 손실 비용 보전에 두고 있으면서 실제, 부담 기초액은 장애인 고용에 따른 특별비용과는 별개로 산정되고 있다는 것이다. 셋째, 부담금 용도의 불명확성이다. 부담금의 납부 근거는 장애인 고용사업주에 대한 비용 보전임에도 불구하고 실제 용도는 장애인고용촉진및직업재활기금에 편입시켜 지출하고 있다는 것 이다. 마지막으로 장애인 고용 장려금의 지급기준이 부담 기초액 산정과 연동되고 생산성 손실에 대한 고려를 통해 지급되어야 함에도 불구하고 그렇지 못하다는 것이다. 부담금제도가 안고 있는 이러한 문제점을 해소하기 위해서는 무엇보다도 부담금에 대한 명확한 성격 규명과 그 성격에 합당한 제도의 개선이 이루어져야 할 것이다. Thls thesis examines the characteristics of one of the most important system supporting the employment quota system for the disabled, the employment levy system. The purpose of this study is to evaluate the problems of the current employment levy system. The employment levy system functions as a method to acquire administrative performance, inducement, and mediation, in other words, the levy system influences employers to employ people with disabilities as well as controlling economic burden between those employers hiring and not hiring the disabled. However, there are some problems in implementing the system. Flrst, the effects of the levy is ambiguous. The purpose of the levy system is to enhance the employment of the disabled. However, the actual effects are minimal. Second, the method of deriving the initial burden amount is unclear. The principle for deriving the initial burden amount is based on the need to preserve the employment cost generated by the employers that hire the disabled. Thlrd, the implementation of the levy system is unclear. Even though the purpose of the levy system is to preserve the costs of employing the disabled, in reality the levy is incorporated into the Employment Promotion and Vocational Rehabllltation Fund. Flnally, the basis for providing employment incentives does not take into account the loss of productivity. Thls should be linked with the initial burden amount. The principle of the employment levy system - derivation, process, and implementation - should be reexamlned to resolve the above mentioned problems.

실리카 광도파로용 SiON 후막 특성에서 RF Power와 $SiH_4$/($N_2$O+$N_2$) Ratio가 미치는 영향

김용탁,조성민,서용곤,임영민,윤대호 한국세라믹학회 2001 한국세라믹학회지 Vol.38 No.12

플라즈마 화학기상증착(PECVD)법을 이용하여 실리카 광도파막의 코어로 이용되는 규소질산화막(SiON)을 Si 웨이퍼 위에 SiH$_4$,$N_2$O, $N_2$가스를 혼합하여 저온(32$0^{\circ}C$)에서 증착하였다. Prism coupler 측정을 통해 SiON 굴절률 1.4663~1.5496을 얻었으며, SiH$_4$/($N_2$O+$N_2$) 유량비와 rf power가 각각 0.33과 150W에서 8.67$mu extrm{m}$/h의 증착률을 나타내었다. 또한 SiH$_4$/($N_2$O+$N_2$) 유량비가 감소함에 따라 SiON막의 roughness는 41~6$\AA$까지 감소하였다. Silicon oxynitride (SiON) thick films using the core layer of silica optical waveguide have been deposited on Si wafer by PECVD at low temperature (32$0^{\circ}C$) were obtained by decomposition of appropriate mixture of (SiH$_4$+$N_2$O+$N_2$) gaseous mixtures under RF power and SiH$_4$/($N_2$O+$N_2$) ratio deposition condition. Prism coupler measurements show that the refractive indices of SiON layers range from 1.4663 to 1.5496. A high SiH$_4$/($N_2$O+$N_2$) of 0.33 and deposition power of 150 W leads to deposition rates of up to 8.67 ${\mu}{\textrm}{m}$/h. With decreasing SiH$_4$/($N_2$O+$N_2$) ratio, the SiON layer become smooth from 41$\AA$ to 6$\AA$.