A Study on the Advanced Scanning Electron Microscopy : Integration and Performance Evaluation of a Reflection Electron Energy Loss Spectrometer

황준혁 과학기술연합대학원대학교 한국표준과학연구원(KRISS) 2024 국내박사

SEM을 이용한 학습 모형 설계 모형 구현

김명진 서울교육대학교 교육대학원 2001 국내석사

현장의 정보화 환경은 매우 빠르게 변화되어 가고 있으나 정보화에 대한 현장의 적응력은 많이 떨어져 있다. 특히 교과와 관련한 컴퓨터 교육은 상당히 열악한 상태에 있다. 많은 교사들은 이제야 학생들에게 올바른 정보화 교육을 할 때라고 말하고 있다. 하지만 기존의 코스웨어는 교과지도에 반영하여 학습지도를 하기에는 너무 오래된 프로그램이며, 현장의 컴퓨터와도 사양이 맞지 않다. 이에 본 논문에서 제시한 SEM(State Evaluation Model)은 컴퓨터를 이용한 교과지도에 꼭 필요한 요소를 담고 있다. 특히 정보화와 연계한 수업을 고려하고 있는 교사는 SEM을 이용하여 수업 계획을 수립하면 성공할 수 있다. SEM은 상태(State), 평가(Evaluation), 진행과정(Arc)으로 구성되어 있다. SEM은 여러 과목에 접목시킬 수 있도록 만들어졌으며, 특히 수학을 지도하려는 교사에게는 많은 도움을 준다. 우수한 학생들은 중간 단계를 거치지 않고 진행 할 수 있도록 프로그램하였으며, 평가 결과가 중위 그룹에 속하는 학생들은 문제를 더 풀 수 있도록 하였다. 이 단계를 거친 학생들은 전 단계의 학생들과 마찬가지로 최상위 과정으로 올라간다. 최하위 그룹에 있는 학생들은 좀 더 많은 수련 과정을 거치도록 프로그램 되어 있다. SEM은 사용자 등록을 먼저 거치도록 하였으며 이미 등록된 학생은 다시 등록하지 않아도 SEM을 계속 사용할 수 있도록 하였다. 제시된 문제는 자기 수준에 맞게 풀 수 있도록 하였다. 문항 별로 상, 중, 하의 난이도를 두어 진단 평가에서 얻은 결과를 바탕으로 과정을 치르도록 하였다. 본 논문에서는 수학을 예제로 풀어나갔으나, 현장에서는 수학 뿐 아니라 다른 과목에서도 사용할 수 있다. 국어, 사회, 자연 과목에서도 SEM을 이용하여 자기 수준에 맞게 문제를 해결하도록 한다. SEM의 효과는 아래와 같다. 첫째, 자기주도적으로 학습 할 수 있다. 학습의 진행 따라 스스로 공하는 방향을 제시하고 그에 맞는 문제를 제공한다. 둘째, 새로운 코스웨어를 생성한다. 학생의 입장에서 문제를 풀어나가도록 하여 수준에 맞는 코스를 선택하고 방향을 잡아주는 역할을 하는 코스를 개발한다. 셋째, 흥미로운 학습을 하도록 도와준다. 컴퓨터를 좋아하는 학생들과 그렇지 않은 학생들도 교과서를 탈피해서 문제를 대하므로 학습에 흥미를 가진다. 넷째, 새로운 교수방법에 대한 방향을 제시한다. 교사의 입장과 학생의 입장을 고려한 코스웨어의 개발로 교사에게 새로운 교수방법을 연구하는데 도움을 준다. Information environment has been changed so rapidly, there is an exception; education. The past courseware concept, which is related to CAI(Computer-assisted Instruction), cannot be applied to the education field any more. Many teachers say that it is time for information education to be done for students. Also, the previous courseware concept is too old to be as learning medium. This thesis presents SEM (State Evaluation Model) that has essential elements for computer-assisted learning. Especially, SEM can be useful for information education. SEM consists of State, Evaluation and Arc, respectively. SEM is applicable to many subjects. Particularly it is more effectively used for mathematics. The followings are the contents of SEM. 1. The advanced students can work without delay in the intermediate level. 2. The intermediate students usually need to exercise more. After this, they can move up to the advanced level. 3. The low-level students are programmed to excercise more problems. 4 . In order to use SEM, a user must register first. Once after registeration, he/she does not need to do it twice. 5. Each student can stay at the appropriate level through diagnostic test. The test has various questions depending on students' progress. Though this thesis experiments on mathematics, SEM can be applied to other subjects; Korean, social studies and science, etc.

열전자 방사형 소형 SEM의 분해능 향상을 위한 정전렌즈의 최종형태 결정

김기환 서울과학기술대학교 NID융합기술대학원 2014 국내석사

In this paper, we produced the specific electrostatic type of SEM, based on miniaturization and optimized for depth of focus mode, for the purpose of applying to other vacuum equipment. The initial configuration of the specific electrostatic type of SEM started with minimal configuration that allows people to see the mage in video. in addition, the SEM is specially designed on electron source and lens section to operate seamlessly in the combination with other vacuum equipment. After improving the stability of operation and resolution of the SEM, we had copious amounts of experimentation on identifying the characteristics and development of Einzel type lens with the reference to the demagnification lens system of SEM. Through experimentation we have focused on finding a better final shape of the lens by changing factors that affect the focus, and we removed effects from the various aberrations generated in the process by using aperture and calibration device. As a result, we found a better form of lens that has a much higher efficiency of focusing and stability of operation than conventional lens. Therefore, we could have the final shape of lens composed of two layers of focusing lens and three apertures. Because of this, the effective magnification could be up to 8000 times, and the resolution has improved up to 300 nm compared to the previous micro-region. Starting with minimal configuration we have undergone three steps of changes based on the theories and experimentations, and could determine the future research directions through confirming additional subsequent possibilities. Through this study, we learned the wide potential for the utilization of the electrostatic type of SEM, and also believe it will be able to contribute significantly in various areas in the coming convergence technology era. 본 논문에서는 타 진공장비(ex. 피니싱 장비)에 적용하여 사용할 목적으로, 소형화(miniaturization)를 기본으로 하고 피사계 심도 모드(depth of focus mode)에 특화된 정전타입(electrostatic type)의 SEM을 제작하였다. 초기의 구성은 영상을 볼 수 있는 최소한의 구성으로 시작하였고, 타 진공장비의 환경에서 무리 없이 운용할 수 있도록 전자원 선정 및 렌즈부를 설계하였다. 이후에 보다 안정적인 운용과 분해능 향상을 위해서 SEM의 반확대(demagnification) 렌즈 시스템을 참조하여 집속렌즈(Einzel type)의 특성을 파악 및 개선하는 실험을 하였다. 실험의 내용은 집속에 영향을 미치는 요소들을 변경하며 보다 나은 렌즈의 최종형태를 찾고자 하였고, 이 과정에서 발생하는 각종 수차(aberration)의 영향들을 어퍼쳐(aperture) 및 보정장치를 사용하여 제거하는 실험들을 하였다. 그 결과, 기존의 렌즈보다 집속 효율이 높고 안정적 운용이 가능한 렌즈의 형태를 찾았으며, 이를 반영하여 두 단의 집속렌즈에 3개의 어퍼쳐를 조합한 최종형태를 결정할 수 있었다. 이로 인해서, 초기에 수~마이크로 영역에 머물렀던 분해능을 300 nm까지 향상시킬 수 있었으며, 유효배율은 8000배까지 가능해졌다. 최소한의 구성으로 시작하여, 이론과 실험을 통한 근거들을 가지고 총 3단계의 변화를 거쳤으며, 이후의 발전 가능성을 추가로 확인함으로써 향후의 연구방향을 정할 수 있었다. 본 연구를 통하여 정전타입 SEM의 보다 넓은 활용 가능성을 보았고, 다가올 융합기술시대에 맞추어 다양한 분야에서 크게 이바지 할 수 있을 것으로 사료된다.

저전압 전자주사현미경의 정밀도 향상에 관한 연구

안재형 서울대학교 대학원 2015 국내박사

본 논문은 메모리 반도체의 Critical Dimension(CD)의 측정 결과를 향상시키고자 전자주사현미경에서 획득되는 영상을 향상시키기 위한 연구를 수행하였다. 메모리 반도체의 경우 일반 광학계로 측정할 수 배율의 한계에 의해 일찍이 전자나 이온을 이용한 광학계를 통하여 보다 높은 배율의 영상을 이용하여 CD를 측정하고 있다. 이 중 저전압의 전자주사현미경 (SEM)은 시료표면에 손상을 최소화 할 수 있는 방법으로 메모리 표면의 CD를 측정할 수 있는 유일한 방법이 되었다. 본 논문에서는 SEM에서 보다 정밀한 CD측정을 위하여 비점수차 및 focus를 보정하는 알고리즘을 제안하였으며, 더 나아가 획득되는 영상을 이용하여 원영상을 복원하는 연구를 진행하였다. 먼저 SEM에서 발생하는 영상의 분해능을 높이기 위해서는 시료에 도달하는 전자빔의 크기를 감소시켜야 한다. 이를 위해 본 연구에서는 defocus와 비점수차 발생량을 파악하고 자동으로 보정하는 알고리즘을 제안하였다. 푸리에 변환을 통하여 영상에 발생한 defocus와 비점수차 발생량을 계산하고 이를 실시간으로 보정하도록 하였다. 또한 전자빔의 형상에 의해 발생하는 영상의 열화현상을 제거하기 위해 비등방성의 열화함수를 가정하고 디컨벌루션 과정을 수행하여 영상을 복원, 원영상을 획득하는 연구를 진행하였다. 이를 통해 영상의 분해능을 높이고, CD를 측정하여 반복도를 향상하였다. This study aims to suggest image quality improvement in CD(Critical Dimension) measurement of memory semiconductor using electron microscopy with nanometer electron beams. If a distance of lines is getting narrow and going under dozens of nm, it's impossible to measure even though using high magnification in measuring a CD of memory semiconductor. In this case, the only solution for measurement of memory surface CD is using a SEM(scanning electron microscopy) equipment which has a low voltage, electron beam. This study contains optimization of SEM column, correction method of defocus and astigmatism and Image deconvolution method. We suggest automatic detection and correction method of defocus and astigmatism in critical dimension measurement using electron microscopy with nanometer electron beams. To achieve this, the Fourier transform image is utilized for focus and astigmatism correction in critical dimension measurement using of electron microscopy. A novel algorithm is presented that analyzes this Fourier transform applied-image with adaptive image binarization and control electron beam and lens for simultaneous detection and correction to correct focus and astigmatism in real-time. The images acquired in SEM are degraded by electron beam. In order to remove such degradations, this study conducted a study on the acquisition of original images using image restoration techniques. In general, most of focus blur are explained by the isotropic distribution. However, SEM can have an anisotropic distribution depending on the shape of electron beam and accordingly, the point spread function of anisotropic distribution was assume and based on this, images were restored. Using these three methods, the limit of resolution of the images acquired could be increased and the repeatability of CD could also be improved.

Estudio sem?ntico-cognitivo del adjetivo de dimensi?n en espa?ol

문성주 서울대학교 대학원 2021 국내박사

El presente estudio tiene como objetivo analizar las características semánticas de los adjetivos dimensionales del español desde la perspectiva de la lingüística cognitiva, así como exponer su sistema semántico en español. Determinar el significado de los adjetivos es una labor complicada y difícil debido a su naturaleza. El adjetivo representa un atributo o estado del nombre al que modifica, y no una entidad concreta. Por ello, es difícil determinar su extensión ya que se debe considerar el significado intrínseco del adjetivo y también la relación que posee con el nombre. Por esta razón, es conveniente determinar el significado del adjetivo a partir de la clasificación de los significados adquiridos por un nombre modificado por un adjetivo. El presente estudio analiza los diversos significados de los adjetivos dimensionales, los cuales representan básicamente los conceptos espaciales, a partir de los diversos campos semánticos de los nombres usados en combinación con ciertos adjetivos. El concepto de espacio es una de las categorías más básicas en la función cognitiva del hombre y así entendemos la posición, la dirección, el tamaño y el estado de los objetos en el espacio. En español, el adjetivo dimensional es la categoría léxica que describe esta información espacial y, a pesar de ser una categoría de alta frecuencia en español, no ha merecido la debida atención ni investigación sobre su estructura semántica. El adjetivo dimensional en español, al igual que en otras lenguas, posee carácter polisémico, que muestra una expansión de significado a partir de su significado básico. En general, dicha extensión va desde lo espacial a lo temporal y lo abstracto. Los estudios previos se enfocaron en examinar y estructurar los sentidos espaciales y dimensionales de esta categoría, y no se ha realizado una revisión pormenorizada del sistema semántico general que incluye tanto los significados básicos como extendidos. Partimos de esta problemática para analizar los significados básicos y extendidos, pero también para proponer un sistema semántico que englobe sus características. Analizamos seis pares y un total de trece adjetivos dimensionales que son ‘alto/bajo’, ‘largo/corto’, ‘profundo/somero/superficial’, ‘ancho/estrecho’, ‘grueso/delgado’ y ‘grande/pequeño’. Son adjetivos que se utilizan frecuentemente en la vida cotidiana y los resultados del corpus evidencian su frecuencia. Asimismo, son adjetivos que los estudiantes aprenden en las primeras etapas de su aprendizaje del español cuando adquieren el concepto de espacio. En el capítulo 2, examinamos las características y los mecanismos de la lingüística cognitiva que es el marco teórico por el que optamos para analizar los significados básicos y extendidos de esos trece adjetivos en cuestión. Los fundamentos de la lingüística cognitiva se basan en la experiencia y sitúan al ser humano como medida y centro de todo, y estos argumentan que las palabras que denotan el concepto espacial como los adjetivos dimensionales son el resultado de la interpretación subjetiva del hombre y no un reflejo del mundo exterior tal y como es. Podemos afirmar que la experiencia humana está presente en la expansión de los significados de los adjetivos dimensionales. Hemos considerado y empleado algunos mecanismos de la lingüística cognitiva como la teoría de prototipo, la prominencia y la teoría de metáfora conceptual. Consideramos que estos mecanismos servirán para el análisis de la estructuración y la expansión de los significados de los adjetivos dimensionales. De acuerdo con las características semánticas de los adjetivos dimensionales, empleamos la teoría de prototipo y la prominencia para el análisis de significados básicos, y la teoría de la metáfora conceptual para los extendidos. En particular, intentamos presentar el aspecto de expansión de significado de una manera multilateral haciendo uso de las tres subdivisiones de la metáfora conceptual: conceptual, ontológica y orientacional. En el capítulo 3, nos dedicamos a describir las características de los adjetivos dimensionales del español. Tomamos como punto de partida la consideración de las propiedades comunes que posee el grupo denominado como el adjetivo dimensional. La comprensión de las propiedades de los adjetivos dimensionales debe preceder a otros análisis, dado que estos cumplen un papel importante en el entendimiento de diversos significados y de la relevancia entre ellos. Según Dixon (2004), el concepto de espacio en el lenguaje es un elemento universal, y en español este concepto se manifiesta a través de los adjetivos dimensionales, que se definen como una categoría léxica que expresa las formas, los tamaños y las posiciones que ocupan ciertos objetos visuales. Encontramos que los adjetivos dimensionales en español pertenecen a la clase de los adjetivos calificativos que, por expresar las propiedades de un objeto específico con unas características semánticas y conceptuales, se diferencia de otras subclases. Podemos sintetizar sus propiedades en tres aspectos esenciales. El primer rasgo es la intersectividad, ya que expresa una proximidad relativa en cuanto al significado del prototipo dentro de la categoría de los objetos modificados. El segundo es la graduabilidad y la medida, que indican la posición relativa en una escala cuantitativa, y esta propiedad hace posible la división en seis variables integradas en el parámetro dimensional: ‘altura’, ‘longitud’, ‘profundidad’, ‘anchura’, ‘grosor’ y ‘tamaño’. El tercero es la polaridad semántica, la cual representa la relación de oposición existente entre elementos. El cuarto se relaciona con la posición de los adjetivos dimensionales, ya que pueden ocupar una posición anterior o posterior a la del nombre mostrando así diferentes comportamientos y funciones según su ubicación. Hemos podido confirmar que los adjetivos dimensionales, en su significado básico al denotar la cantidad que ocupa algo en el espacio, tienden a ubicarse después del nombre (posición no marcada) con una función especificativa. Por otro lado, los adjetivos dimensionales con significados extendidos van antes del nombre, cumpliendo una función evaluativa o enfática de las propiedades del nombre modificado. En el capítulo 4, analizamos la estructura semántica de cada par de adjetivos dimensionales, según sus significados básicos y extendidos. Utilizamos datos de los diccionarios y de los corpus consultados que incluyen ejemplos de su uso actual. Llevamos a cabo el análisis con los datos extraídos de tres diccionarios monolingües, dos diccionarios combinatorios y dos corpus. Todos los datos se han categorizado de acuerdo con las propiedades semánticas de los nombres que acompañan. Además, hacemos una distinción entre los significados básicos y los extendidos para cada par opuesto de los adjetivos dimensionales. El significado básico se ha examinado en relación con la concepción cognitiva humana del espacio y se ha mostrado utilizando el mecanismo de la lingüística cognitiva: la prominencia. La modalidad de expansión de los significados se ha identificado a partir de las propiedades de los adjetivos dimensionales y los campos semánticos de los nombres modificados, y encontramos que se dan expansiones de significados metafóricos hacia el dominio abstracto. Además, hemos encontrado que los significados de los adjetivos dimensionales no existen de forma independiente, sino que están relacionados conceptualmente entre sí. Los resultados obtenidos del análisis de cada par de adjetivos dimensionales son los siguientes. En primer lugar, ‘alto’ y ‘bajo’ manifiestan el concepto de ‘altura’ como su significado básico y forman un campo semántico de ‘tiempo’, ‘intensidad’, ‘valoración’ y ‘cantidad’. En segundo lugar, ‘largo’ y ‘corto’ manifiestan el concepto de ‘longitud’ como su significado básico y forman un campo semántico de ‘tiempo’, ‘cantidad’ y ‘cualidad humana’. En tercer lugar, ‘profundo’, ‘somero’ y ‘superficial’ manifiestan el concepto de ‘profundidad’ como su significado básico y forman un campo semántico de ‘tiempo’, ‘intensidad’, ‘cantidad’ y ‘relación’. Además, hemos encontrado que los adjetivos ‘somero’ y ‘superficial’ no mantienen una estrecha relación de oposición, tanto en los significados básicos como en los significados extendidos. En cuarto lugar, ‘ancho’, y ‘estrecho’ manifiestan el concepto de ‘anchura’ como su significado básico y forman un campo semántico de ‘intensidad’, ‘cantidad’ y ‘relación’. En quinto lugar, ‘grueso’ y ‘delgado’ manifiestan el concepto de ‘grosor’ como su significado básico y forman un campo semántico de ‘intensidad’ y ‘cualidad humana’. Asimismo, hemos encontrado que, en algunos casos, el adjetivo ‘fino’ pertenece al par opuesto de ‘grueso’. Por último, ‘grande’ y ‘pequeño’ manifiestan el concepto de ‘tamaño’ como su significado básico y forman un campo semántico de ‘tiempo’, ‘intensidad’, ‘cantidad’, ‘valoración’ y ‘relación’. Al sintetizar los resultados del análisis, se aprecia que los adjetivos dimensionales en español forman campos semánticos de ‘tiempo, ‘intensidad’, ‘cantidad’, ‘valoración’, ‘relación’ y ‘cualidad humana’, aparte de los significados espaciales específicos. Los campos semánticos difieren entre cada par de adjetivos dimensionales, pero existen ciertos aspectos comunes que demuestran la relación semántica entre ellos. Además, hemos identificado que en español estos adjetivos son frecuentemente utilizados para describir la apariencia física o las características específicas de las prendas de vestir. En cuanto a su posición relativa con respecto al nombre, encontramos que la posposición es frecuente con los significados básicos especificando una propiedad del nombre, mientras que la anteposición, con los significados extendidos, enfatiza o refleja una opinión subjetiva del hablante, salvo algunos casos excepcionales. En el capítulo 5, presentamos el sistema semántico de los significados básicos y extendidos de los adjetivos dimensionales, a partir de los resultados obtenidos del análisis realizado en el capítulo 4. Especificamos los significados básicos mediante la teoría de prototipos de la lingüística cognitiva, y defendemos que los adjetivos dimensionales expresan propiedades específicas de uno de los lados polares del prototipo formado a partir de conceptos cognitivos, sociales y culturales. Por ejemplo, ‘perro grande’ puede significar ‘grande’ en relación con el tamaño prototípico de un perro definido en un cierto grupo cultural. Por tanto, la formación del prototipo es fundamental para comprender adecuadamente el significado básico que denota el adjetivo dimensional. Por otro lado, especificamos los significados extendidos teniendo en cuenta los campos semánticos, la posición y la relación interna de cada par de adjetivos dimensionales. Además, presentamos la relación de oposición semántica que muestra cada par de adjetivos dimensionales. En su sentido básico, los seis pares de adjetivos muestran oposiciones semánticas, pero en los sentidos extendidos, no se mantiene esta relación. Por ello, hemos deducido que, a medida que los significados se expanden hacia lo abstracto, la relación de oposición se hace opaca. Por ejemplo, en el campo semántico de ‘valoración’, el adjetivo ‘alto’ posee el significado de ‘importante’, mientras que su opuesto ‘bajo’ carece de ese sentido. Hemos incluido la lista de nombres que acompañan antes y después a los adjetivos para identificar, según su posición, los cambios de significado. Por último, proponemos algunas implicaciones para el contenido y el método para la enseñanza de los adjetivos dimensionales, a partir de los resultados obtenidos de nuestras observaciones. En primer lugar, la determinación del orden para la enseñanza de los adjetivos dimensionales será más efectiva si se realiza en función de la frecuencia de su uso, que se define como la frecuencia semántica entre los diversos significados extendidos que es posible obtener con respecto al corpus. En particular, presentamos la eficacia de exponer los campos semánticos de los nombres modificados por los adjetivos dimensionales, ya que es muy frecuente encontrar combinaciones léxicas, según las colocaciones, cuando estos se usan con un significado extendido. En segundo lugar, proponemos un método basado en el uso de la metáfora conceptual, la cual es un mecanismo de la lingüística cognitiva, para facilitar el entendimiento de los fundamentos de la expansión semántica: de lo concreto a lo abstracto, y de lo espacial a lo temporal y también a lo abstracto. Además, destacamos la posibilidad de la integración en lo que se refiere a la Semántica y la posición en el sintagma nominal de los adjetivos. El presente estudio es significativo, puesto que lleva a cabo un análisis pormenorizado de los significados de cada adjetivo dimensional en español. Al mismo tiempo, intenta aclarar su relevancia interna, así como exponer la relación semántica que mantiene cada par opuesto. Además, es uno de los pocos estudios que utiliza un gran número de datos reales del corpus existente para entender y proponer un sistema semántico sobre el mecanismo de conceptualización de las nociones espaciales, temporales y abstractas en español. Creemos necesario realizar una comparación entre la semántica de los adjetivos dimensionales en español y en otras lenguas, identificando así la universalidad de esta categoría y la individualidad de cada lengua para que sirva de base para una propuesta concreta y práctica en la enseñanza del español como lengua extranjera.

소형차 실제도로 주행 NOx 배출량에 대한 PEMS 및 SEMS 데이터 상관성 분석

정준우 한국교통대학교 일반대학원 2021 국내석사

최근에 이동식 배출가스 측정 장비(PEMS, Portable Emissions Measurement System)에 비해 설치가 비교적 간편하고 저가이며 작동시간의 제한이 없는 센서기반 배출가스 측정 장비인 SEMS(Sensor based Emisssions Measurement System)에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 대부분의 연구는 주로 실내 인증모드에서 수행되고 실제도로 주행 시험은 모니터링 수준에 머무르고 있으며, SEMS를 실제도로 주행 배출가스 시험에 적용하기 위한 검증이 충분히 이루어지지 않은 상태이다. 따라서 본연구에서는 실내 인증모드 및 실제도로 주행 배출가스(RDE, Real Driving Emission) 주행 경로에서 배출가스 시험을 수행하였으며 PEMS 및 SEMS 장비로 측정한 NOx 배출량을 비교 분석함으로써 SEMS 장비의 RDE 시험 적용 가능성을 확인하였다. SEMS에서 측정한 배기가스의 신뢰성을 검증하기 위해 실제도로 주행조건을 반영한 WLTC(Worldwide harmonized Light duty Test Cycle) 모드에서 정용량 시료 채취 장비(CVS, Constant Volume Sampler)와 PEMS 및 SEMS에서 데이터의 신뢰성 검증을 수행하였다. SEMS 장비의 경우 PEMS 장비와 달리 유량계가 별도로 없으므로 자기진단장치(OBD, On-Board Diagnostics)에서 취득한 흡입공기 유량, 연료 소비량의 데이터를 배기 유량으로 변환하여 NOx 배출량을 산출하였다. 실제도로 주행 배출가스 시험결과, 두 장비에서 측정한 NOx 배출량 상관관계의 그래프의 기울기가 거의 1.0에 가까우며 결정계수가 0.9인 것으로 나타나 SEMS 장비를 RDE시험에 적용 가능함을 확인하였다. 그러나, NOx 배출량 수준이 낮은 SCR 적용 차량의 경우 SEMS의 측정오차 한계가 나타났으며 이는 SCR에서의 NH3 분사로 인해 SEMS 장비의 NOx 센서가 측정 한도를 초과하기 때문인 것으로 확인하였다. 또한, 도로 경사도 조건에서 PEMS 및 SEMS 장비의 NOx 배출량을 취득하여 상관성을 비교분석을 한 결과, 주행부하가 높은 Up-hill의 경우 두 장비의 NOx 배출량 추종성이 일치하는 경향을 확인하였으나, Down-hill의 경우 NOx 배출량이 적어 상관성 그래프의 기울기와 결정계수 모두 낮은 것으로 나타났다. 이러한 결과는 낮은 농도의 NOx 배출량에서 SEMS 장비의 측정오류인 것으로 확인하였다. 외기온도 변화에 따라 냉간시동 및 열간시동 조건으로 시험한 결과, 외기온도 변화에 상관없이 PEMS 장비에서 측정한 질소산화물 농도 값과 SEMS 장비에서 측정한 질소산화물 농도값이 비슷한 경향이 나타났다. 이상의 결과를 분석한결과 본 연구에서는 SEMS 장비의 실제도로 주행 NOx 배출량 시험에 적용 가능하다고 판단하였다.

Tilt-SEM 을 이용한 포토레지스트 미세 패턴 분석

장유하 서울시립대학교 일반대학원 2023 국내석사

DH-SEM2를 이용한 지역난방발전 시스템의 공정 및 운전 시뮬레이션

이민경 서울과학기술대학교 2015 국내석사

Districting heating and cooling system is composed of complex energy network which are CHP(Combined heat and power plant), heat pump, renewable energy, unutilized energy and so on. Thus the optimization and integrated planning for this distributed system are important in order to save energy and reduce the cost of CHP operation. In this study, The power plant networks of KDHC(Korea district heat corporation) are simulated using the DH-SEMS package which is a suite of energy management software used to monitor, prediction, control and optimization the energy network operation. By reviewing the simulated results compared with the actual operation was carried out analyzing the convenience, economic feasibility and reliability analysis of the DH-SEMS program. In addition, the economic effects of what-if CHP, component design, new heat demand and also operating mode change were discussed based on the simulation results. On basis of simulated results, the convenience, economic feasibility and reliability of the visual modeling DH-SEMS program is confirmed as economically and conveniently compared to code base software. Also, DH-SEM2 shows about 5 times faster calculation speed than the other existing program. DH-SEM2 results were very consistent with the actual operation data. Changes in various scenarios and power plant equipment additions or changes in economic forecasting during construction and operation were also obtained excellent results easily and economically DH-SEM2 through simulation. In conclusion, the DH-SEM2 package for district heating network, network design and operation, ease of energy economics judgment shall be able to be a very useful in driving automated, integrated energy policy decisions. Keyword : District heating system, CHP, DH-SEM2, District heating system simulation, Optimum operation 지역냉난방시스템은 열병합 복합발전과, 히트펌프, 신재생에너지, 각종 미활용 에너지원 등 다양한 형태의 복합적인 에너지 생산원들로 구성되어 있어, 복잡한 광역 에너지 네트워크망을 형성한다. 이때 열병합발전시설의 최적의 에너지 생산 및 분배를 위한 운전방식과 계획이 매우 중요하다. 본 연구에서는 운전 및 설계 최적화를 위하여 개발된 프로그램인 DH-SEM2를 이용하여 수도권 A발전사의 광역에너지 네트워크망을 모사하고, 실제 운전 결과와 비교 검토함으로서 본 프로그램의 편의성 및 신뢰도, 경제성을 분석을 수행하였다. 또한 새로운 수요개발이나 발전소나 구성요소 사양 변경시 경제적 효과와 운전의 양상변화도 모사결과를 바탕으로 고찰하였다. 편의성 신뢰도와 유용성 분석에서 DH-SEM2는 컴퓨터 언어와 같은 code base를 사용하는 기존 프로그램들과 달리 Visual Modeling방식으로 새로운 발전소 증설 등의 모사하는데 광역에너지 네트워크망의 설계가 기존프로그램에 비해 매우 편리하고 경제적임을 확인하였다. 또한 시뮬레이션의 계산속도가 현재 사용되고 있는 기존 프로그램 비교하여 약 5배 빠른 것을 확인하였다. 수도권 16개 발전지사 전체 광역에너지 네트워크망의 실제 운전 데이터와 A발전사에서 운용되고 있는 K프로그램 비교 분석에서도 매우 일치하는 결과 보였다. 여러가지 가상의 시나리오로서 기기변경과 발전시설 추가 구축시 경제성과 운전예측 변화도 DH-SEM2 시뮬레이션 통해 쉽게 경제적으로 우수한 결과를 도출하였다. 결론적으로 광역에너지 네트워크망 설계와 운전에 DH-SEM2 패키지는 편의성 경제성은 운전자동화, 집단에너지 정책결정에 매우 유용하게 활용될 수 있으리라 사료된다. Keyword : 광역에너지, 에너지네트워크망, 열병합발전, 집단에너지, 지역난방, DH-SEM2, 최적화 운전

Automated alignment of semiconductor lithography patterns using deep generative model for metrology and inspection

남윤형 서울대학교 대학원 2022 국내박사

In the semiconductor industry, one of the most significant tasks for the die-todatabase, or D2DB, inspection is the alignment of the design layout with the matching scanning electron microscope, or SEM, image measured by equipment.The conventional image alignment methods known as image registration methods are composed of area-based method and feature-based method. In addition to those, semiconductor industry has developed vector matching method in order for accurate alignment both of D2DB and of die-to-die, or D2D (alignment between SEM images and SEM images). However, due to the fact that the image style, pattern shape and quality of design layouts that are represented as computer-aided design (CAD) are significantly different from those of grayscale SEM images with noise, it is still challenging to align them precisely. Therefore, the manual alignment of SEM images and design layouts is being performed as the primary method in the industrial worksite. Since manual alignment is such a time-consuming and inefficient work, only a limited number of wafers can be examined at any one time. This is also a waste of human resources. In other words, manual alignment cannot perform the inspection efficiently when taking into consideration the process of inspection. Regardless of the choice of alignment method, the most important issue is to extract equally salient and distinct features between two comparison images. In order for this, the proposed alignment approach in this study adopts the deep generative model, which specially is image-to-image translation, or I2I. The primary goal using I2I approach is to convert SEM images into the relevant design layouts as a feature. The converted images becomes salient and distinct features extracted from the SEM images for alignment. Since the feature images converted from SEM images have same image style and pattern shape with similar image quality as real design layouts, precise alignment is possible if the converted images are aligned with the real design layouts using conventional alignment method. After that, original SEM images, which correspond to the converted images are located correctly in that aligned position. Area-based alignment method has the best alignment performance in the proposed approach. Finally, we present a fully automated alignment method for inspection of lithography patterns using the I2I. 반도체 산업에서 D2DB (다이-데이터베이스)의 가장 중요한 작업 중 하나는 장비로 측정한 해당 주사전자현미경 (SEM) 이미지와 설계 레이아웃을 정렬하는 것이다. 이미지 정합 방식으로 알려진 기존의 이미지 정렬 방법은 영역기반과 특징기반 방법으로 나누어진다. 이외에도 반도체 산업에서 D2DB와 D2D (다이-다이)의 정확한 정렬을 위해 벡터 정합 방법이 개발되었다. 그러나 CAD (Computer-Aided Design)로 표현되는 설계 레이아웃의 이미지 스타일, 패턴의 모양 및 품질이 노이즈가 있는 회색조 SEM 이미지와 크게 다르기 때문에 이를 사용하여 정확하게 정렬하는 것은 여전히 매우 어렵다. 따라서 SEM 이미지와 설계 레이아웃의 수동 정렬은 산업 현장에서 주요한 방법으로서 수행 되고 있다. 수동 정렬은 시간이 많이 걸리고 비효율적인 작업이므로 한번에 제한된 수의 웨이퍼만 검사 할 수 있다. 이것은 또한 인적 자원의 낭비이다. 즉, 검사 과정을 고려할 때 수동 정렬은 검사를 효율적으로 수행하지 못한다. 정렬 방법의 선택과는 상관없이 정렬을 위해 가장 중요한 문제는 두 비교 이미지 간에 동일하게 두드러지고 뚜렷한 특징을 추출하는 것이다. 이를 위해 본 연구에서 제안하는 정렬 접근 방식은 특히 이미지 대 이미지 변환 (I2I)인 심층 생성 모델을 채택한다. I2I 접근 방식을 사용하는 주요 목표는 SEM 이미지를 관련 설계 레이아웃으로 변환하는 것이다. 변환된 이미지는 SEM 이미지에서 추출된 두드러지고 뚜렷한 특징이 된다. SEM 이미지로부터 변환된 특징 이미지는 실제 설계 레이아웃과 유사한 이미지 품질로 동일한 이미지 스타일과 패턴 모양을 갖기 때문에 변환된 이미지를 기존의 정렬 방법을 그대로 사용하여 실제 설계 레이아웃과 정렬하면 정확한 정렬이 가능하다. 이후 변환된 이미지에 해당하는 원본 SEM 이미지가 정렬된 위치에 놓이게 된다. 영역 기반 정렬 방법이 제안된 접근 방법에서 최고의 정렬 성능을 보인다. 마지막으로 I2I을 사용하여 리소그래피 패턴의 검사를 위한 완전한 자동 정렬 방법을 제시한다.

도시 유원(遊園)의 Recreation 매력 Mechanism 연구 : 중국 싱타이시(邢台市)를 사례로

서진립 우석대학교 일반대학원 2024 국내박사

As a type of park green space, Urban garden are featured on independent land use, small scale, and diverse shapes, convenient for recreation of residents nearby. Gardens are not only an important node for improving the urban ecological network and exerting ecological value, but also provide outdoor activities for citizens, undertake leisure and recreational functions, and become an important supplement to urban garden with easy accessibility and diverse functionality, certainly an important vehicle for people to contact nature. As urban residents have increasingly higher requirements for garden environment, gardens have gradually become an important part of urban park green spaces construction. However, there are still some problems in the existing urban garden in terms of distribution pattern, area size and internal structure and facility configuration of the garden. The problems has seriously affected residents' use of urban garden, and hindered the improvement of residents' quality of life, resulting that urban garden construction, though largely invested, received little effect, the functions provided have not been fully and effectively utilized. Recreation attraction is an invisible factor that allows tourists to choose recreation areas and methods based on the richness of recreation resources. It is a quantitative index that reflects the ability of a recreational area or facility to attract tourists. It is also one of the important criteria for judging the quality of recreation. It has a unique resting environment and factors that are powerful enough to encourage tourists to go there and experience it further. Xingtai City has a 3,000-year historical and cultural heritage. As an important hinterland for the integrated development of Beijing, Tianjin and Hebei, in recent years, the Xingtai Municipal Government has considered the needs and expectations of the people to transform the urban "hand land", corner land, and idle land into a urban garden city that benefits the people with convenience and diversified functions, improves the residents' environment and realizes opening the door to see the garden opening the window to see the greenery." Xingtai city has built 209 park and garden squares to facilitate residents' recreational activities in outdoor space, expecting to enhance people's happiness. The study on the recreation attractions of urban garden in Xingtai City is representative with practical significance. Six urban garden in four districts of Xingtai City were selected for field research. The regional garden in the city, widely covered, can provide more data for further analysis and understanding to the specific impact of urban garden on the recreational attraction of urban residents. This study took six urban garden in four districts of Xingtai City as examples to conduct a study on recreational attractions. The main research contents are as follows. The first chapter briefly describes the research background of the paper, determines the research content as the recreational attraction of urban garden, and clarifies the research purpose. The second chapter is about the relevant concepts of the research content and domestic and foreign research trends, and explains the recreational attraction of urban Garden. The third chapter is about the research scope and research methods. It analyzes the general situation of Xingtai City green spaces and identifies six urban Garden for research. The fourth chapter analyzes the survey results and data of urban recreation parks, and uses research methods to conduct related research on recreation attractions. The first step is to conduct a qualitative analysis through the literature and use the grounded theory method to determine the three-level indicators of recreation attractiveness. The second step uses the Analytical Hierarchy Process (AHP) to conduct expert scoring and determine the index weights. The third step uses structural equation method (SEM) to build up a hypothesis model, set up the recreation attraction mechanism, and verify the hypothesis. The fourth step leverages the data scored by experts and the data scored by residents to conduct weight analysis and build up a recreation attraction evaluation system. Chapter 5 is the conclusion, summarizing the research. This paper concludes with the following main contents: First, in view of the research on the recreation attractiveness of urban Garden in Xingtai City, propose the purpose and methods of the research to address the shortcomings of existing research. This paper uses a method that combines the Analytical Hierarchy Process (AHP) and the Structural Equation Modeling (SEM) method to revise the model of the urban recreation attraction mechanism and calculate the index weights. Second, this paper takes qualitative analysis, applies grounded theory to extract the factors that affect the attractiveness of urban gardens and recreation. This study summarizes seven secondary categories: plant landscape(A), recreational facilities(B), site space(C), environmental construction(D), accessibility(E), recreational motivation (F), and urban humanities(G). The indicators include a total of 40 evaluation content of influencing factors. An in-depth analysis of these influencing factors forms a recreation attraction target layer, which provides an important foundation and reference material for building an urban recreation attraction mechanism. Third, based on the factors that influence recreation attractiveness screened out by grounded theory, build a method of the Analytic Hierarchy Process (AHP) structure model of the expert assignment method, determine the influencing factors of recreation attractiveness and their importance-related weights, including the hierarchical structure model and the construction of a judgment matrix , weight determination and consistency test. Measuring the importance of indicators that influence recreational attractiveness, the ranking of indicators at the criterion level is recreation motivation F(0.2016), environmental construction D(0.1805), site space C(0.1686), recreation facilities B(0.1564), and plant landscape A(0.1473 ), accessibility E(0.1132), urban humanities G(0.0325). Fourth, this article uses SEM to determine the urban garden recreation attraction mechanism model, and with correlation correction index to get great overall goodness of fit of the model . Compared with the initial model, the individual index IFI and CFI index have greatly improved, both reaching the test standard of 0.90, which shows that the mechanism of the ultimate recreation attraction model is ideal. Fifth, use the SEM method to build up a recreation attraction impact model as the basis for verifying the recreation attraction mechanism of urban Garden. The model verification of the attraction of urban gardens to residents' recreational behavior is based on trust and trustworthiness verification. The results of the analysis show that the investigation of 8 latent variables shows that there are 7 verification hypotheses. The research hypotheses are verified and the feasibility for the attraction mechanism of urban gardens recreation is proved. Sixth, unite the AHP method and the SEM method to correct the indicator system, from the advantages and disadvantages of the two methods, scientifically and rationally designing the weight of the complex indicator system. Take the SEM method to analyze the urban resident survey data and the AHP method to measure the expert scores, determining the criterion layer weight ranking. The SEM method criterion layer weight ranking was site space (C,25.93%) > environment construction (D,17.07%). > Recreational facilities (B,14.97%) > Recreational motivation (F,14.35%) > Plant landscape (A,11.43%) > Accessibility (E, 8.94%) > Urban humanities (G,7.31%). The weight order of the AHP method is as follows: recreation motivation (F,20.16%) > environmental construction (D,18.05%) > site space (C,16.86%) > recreation facilities (B,15.64%) > plant landscape (A,14.73%) > accessibility (E,11.32%) > urban humanities (G,3.25%). In the SEM method, the weight of site space ranks first, while in the AHP method, the ranking of recreational facilities is first. Despite this, the weights calculated by the two methods are not completely consistent, the subsequent ranking of indicators is basically consistent, and both methods produce similar results. In addition, the reliability and validity of the AHP method and SEM method used in this paper to construct the recreational attraction model mechanism have also been proven. Seventh, from the recreation attraction mechanism set up by SEM method, the research hypothesis was verified, and each index data was obtained through the analysis of the recreation attraction evaluation system, and corresponding suggestions were proposed. Eighth, a differentiated analysis of the AHP-SEM method was carried out, showing that residents ʻrecognition of indicators is more concentrated, in the SEM method, urban residents' recognition of each indicator at the indicator level is very concentrated, and the top five are concentrated at the venue space(C) of criterion level. The AHP method expert scores are highly sensitive to indicators, and the top five are evenly distributed. The indicators at each criterion level are distributed. The first is the ornamental value of plant landscape A5(0.0600), and the second is contacting with nature F6 (0.0562), the third is environmental post-maintenance D6(0.0465), the fourth is road connectivity C3(0.0443), and the fifth is safety status D5(0.0392). In the indicator layer, both methods have different results. Only the 13th ranked physical exercise F2(AHP, 0.0257) (SEM, 0.0319) has the same ranking, while other indicators are different, indicating that urban residents and experts are sensitive to indicators. Both degree and recognition are different. After considering the error value, the arithmetic mean was used to re-rank the indicators. Ninth, the weight values obtained by the AHP method and the SEM method were arithmetic averaged, obtain the final comprehensive weight of the urban garden recreation attractiveness evaluation system. In the indicator layer, road connectivity C3(0.0491), rich activity venue types C4(0.0453), and plant landscape ornamental value A5(0.0416) rank among the top three most important. Landscape sketches unique G1(0.0109), characteristic buildings G3(0.0107), popular science education G4(0.0093) ranked last. Compared with urban comprehensive parks, urban Garden are more oriented to local urban residents and should pay more attention to the actual use of residents. Urban humanities play more of a role in promoting the city. In cities, The construction of the amusement park can be weakened accordingly. The final study shows that it is feasible to set up a recreational attraction mechanism, which provides a basis and reference for the future renovation and construction of urban garden in the middle and south area of Hebei Province and the integration of Beijing, Tianjin and Hebei, create urban garden that meet the needs of urban residents for the well-being of urban residents. 공원 녹지로 분류되는 유원(遊園)은 용지가 독립적이고 규모가 작으 며 모양이 다양하여 주민들이 주변에서 편리하게 입장할 수 있다. 공 원 녹지와 마찬가지로 도시녹지개방공간의 중요한 구성 부분으로서 유원은 도시 생태 네트워크를 개선하고, 생태적 가치를 발휘하는 중 요한 분기점이다. 또한, 시민들에게 야외활동 장소 제공과 레저 및 레 크레이션 기능을 담당하고, 편리한 접근성과 다양한 기능으로 도시공 원의 중요한 보완재가 되어 사람들이 자연과 접촉하는 중요한 매개체 역할을 한다. 시민들의 도시 유원 환경에 대한 요구가 점점 높아지면서 유원은 점차 도시공원 및 녹지 공간 건설의 중요한 부분이 되었다. 그러나 기존의 도시 유원에는 분포 방법과 면적 및 유원 내부 구조와 시설 구성에 여전히 몇 가지 문제가 있어 주민들의 도시 유원 사용에 심각 한 영향을 미친다. 또한, 주민들의 삶의 질 향상을 저해하여 도시 유 원 건설에 많은 투자를 하지만, 효과가 명확하지 않고 제공되는 기능 이 충분히 효과적으로 발휘되지 못한다. ʻ레크레이션 매력'은 방문객이 풍부한 레크레이션 자원을 바탕으로 레크레이션 지역과 레크레이션 방식을 선택하는 데 있어 보이지 않는 요소이다. 그것은 레크레이션 장소 또는 레크레이션 시설의 방문객 유치 능력을 반영하는 정량적 지표이며, 레크레이션 품질의 중요한 판단 기준 중 하나이다. 특색있는 레크레이션 환경과 요소를 갖추고 방문객들에게 다가가고 한 단계 더 경험할 수 있도록 하는 힘이다. 싱타이시(邢台市)는 3000년의 역사 문화유산을 보유하고 있으며, 베 이징(북경, 北京)-톈진(천진, 天津)-허베이(하북, 河北) 통합 개발의 중 요한 배후지로서 최근 싱타이시 정부는 사람들의 요구에 따라 도시 ʻ 자투리땅', 변두리, 유휴지를 사람들에게 편리하고 기능이 다양한 ʻ도 시 유원으로 만들어 주민 환경을 개선하고 있다', ʻ문을 나서면 유원이 있고, 창문을 열면 녹음이 보인다(出门见园, 推窗见绿)'를 실현하고 있 으며, 싱타이시는 209개의 유원 광장을 건설하여 주민들이 야외 공간 에서 레크레이션 활동을 편리하게 하고, 대중의 행복을 향상하고 있 다. 따라서 싱타이시 도시 유원에 관한 연구는 대표적이고 실질적인 의의가 있다. 현장조사를 위해 싱타이시 내 4개 구의 6개 도시 유원을 선정했으 며, 선정된 싱타이 지역의 넓은 범위 덕분에 포괄적인 데이터를 확보 할 수 있었고, 도시 유원이 도시 거주자의 레크레이션 매력에 미치는 구체적인 영향을 이해하기 위한 심층 분석이 가능했다. 본 연구에서는 싱타이시 내 4개 구 6개 도시 유원의 레크레이션 매 력을 관련 사례를 통해 연구를 수행하였으며, 주요 연구 내용은 다음 과 같다. 제1장에서는 도시 유원의 연구 배경을 간략히 설명하고, 연구 내용 을 여가 매력으로 파악하여 연구 목적을 명확히 하였다. 제2장에서는 연구 내용과 관련된 개념과 중국 내외 연구를 살펴보고 레크레이션 매력에 대한 해석했다. 제3장은 연구범위와 연구 방법으로 싱타이시 의 녹지 개요를 분석하고, 연구 대상 도시 유원 6곳을 선정하였다. 제 4장에서는 도시 유원의 조사 결과와 데이터를 분석하고, 연구 방법을 사용하여 유원 매력에 관한 관련 연구를 수행하였다. 첫 번째 단계는 문헌을 통해 정성 분석을 수행하고, 근거 이론을 사용하여 유원 매력 의 세 계층 지표를 결정했다. 두 번째 단계에서는 계층 분석법(AHP) 을 활용해 전문가 점수를 매기고, 지표 가중치를 결정했다. 세 번째 단계에서는 구조방정식(SEM)을 활용하여 가설 모델을 설정하고, 가설 검증을 통해 레크레이션 매력 메커니즘을 규명하였다. 네 번째 단계 에서는 전문가가 채점한 데이터와 주민이 채점한 데이터를 결합하여 가중치 분석을 시행하고 레크레이션 매력 평가체계를 구축하였다. 제 5장은 결론 부분으로, 연구 결과를 요약했다. 본 논문에서는 이러한 연구 분야를 보다 풍부하게 하도록 최근 여 러 도시에 고밀도로 조성된 도시 유원을 연구 대상으로 선정하였으 며, 유원의 레크레이션 매력 메커니즘 구축에 관한 주요 연구 결과는 다음과 같다. 첫째, 본 논문은 싱타이시 도시 유원 레크레이션 매력에 관한 연구 경과를 체계적으로 검토하고, 기존 연구의 단점을 고려하여 연구의 목적과 방법을 제시하였다. 또한, 계층 분석법(AHP)과 구조방정식 모 델링(SEM)을 결합하여 도시 유원 레크레이션 매력 메커니즘의 모델을 수정하고 지표의 가중치를 산출하였다. 둘째, 정성적 분석을 통해 도시 유원의 레크레이션 매력에 영향을 미치는 요인을 근거 이론을 활용하여 추출하였다. 본 연구에서는 식 물 경관(A), 레크레이션 시설(B), 장소 공간(C), 환경건설(D), 접근성(E), 레크레이션 동기(F), 도시 인문(G)의 7가지 2차 지표와 총 40개의 평 가 영향요인을 심층 분석하여 이들 영향요인에 대한 레크레이션 매력 대상층을 구성하였으며, 이는 도시 유원의 레크레이션 매력 메커니즘 구축에 중요한 기초 참고자료를 제공했다. 셋째, 근거 이론에 의해 선별된 레크레이션 매력 영향요인을 바탕으 로 전문가 할당법의 계층 구조 모델을 설정하여 레크레이션 매력 영 향요인 및 중요 가중치를 결정하는 방법에는 계층 구조 모델, 판단 행렬 구성, 가중치 결정 및 일관성 검정이 포함된다. 레크레이션 매력 지표의 중요도를 측정하기 위해 기준 수준에서 얻은 지표는 레크레이 션 동기 F(0.2016), 환경건설 D(0.1805), 장소 공간 C(0.1686), 레크레이 션 시설 B(0.1564), 식물 경관 A(0.1473), 접근성 E(0.1132), 도시 인문G (0.0325)의 순서로 나타났다. 넷째, 본 논문에서는 SEM을 이용하여 도시 유원 레크레이션 매력 메커니즘 모델을 결정하고, 연관성을 통해 지수를 수정하여 모델의 전반적인 적합도를 좋게 하였다. 결과는 초기 모델과 비교하면 개별 지수 IFI 및 CFI 지수가 많이 증가하여 모두 0.90의 테스트 표준에 도 달했으며, 이는 메커니즘이 최종 레크레이션 매력 모델에 이상적이라 는 것을 나타낸다. 다섯째, SEM의 AMOS는 도시 유원지의 유인 메커니즘 검증의 기초 로 사용됩니다. 도시 주민의 유원 레크레이션 매력 모델 검증 신뢰 및 신뢰도 검증을 기반으로 경로를 분석하고, 8개의 잠재 변수를 조 사한 결과 7개의 검증 가설이 도출되었으며, 이를 통해 연구 가설을 검증하고 도시 유원 레크레이션 매력 메커니즘의 타당성을 입증했다. 여섯째, 두 가지 방법의 장단점을 결합한 AHP 방법과 SEM 방법을 조합하여 지표체계를 수정하고, 복잡한 지표체계의 가중치를 보다 과 학적이고 합리적으로 설계했다. 도시 주민 조사 데이터를 SEM 방법으로 분석하고, 전문가 점수를 측정하여 기준 계층 가중치를 매기는 AHP 방법을 사용하여 기준 계 층의 가중치 순위를 측정하였으며, 이중 SEM 방법 기준 계층의 가중 치 순위는 장소 공간(C, 25.93%) > 환경건설(D, 17.07%) > 레크레이션 시설(B, 14.97%) > 레크레이션 동기(F, 14.35%) > 식물 경관(A, 11.43%) > 접근성(E, 8.94%) > 도시 인문(G, 7.31%)으로 나타났다. AHP 방법 기준 계층 가중치 순위는 레크레이션 동기(F, 20.16%) > 환경건설(D, 18.05%) > 장소 공간(C, 16.86%) > 레크레이션 시설(B, 15.64%) > 식물 경관(A, 14.73%) > 접근성(E, 11.32%) > 도시 인문(G, 3.25%) 순이었다. SEM 방법에서는 장소 공간이 가중치 측면에서 1위를 차지한 반면, AHP 방법에서는 레크레이션 시설이 1위를 차지했다. 그러나 두 방법 에서 산출된 가중치는 정확히 동일하지 않으며, 후속 지표의 순위는 기본적으로 동일하며, 두 방법 모두 유사한 결과를 도출했다. 또한, 본 연구에서는 AHP 방법과 SEM 방법을 이용한 레크레이션 매력 모 델 구축 메커니즘의 신뢰성과 타당도도 입증되었다. 일곱째, SEM 방법을 통해 정립된 레크레이션 매력 메커니즘을 통해 연구 가설을 검증하고, 레크레이션 매력 평가 시스템의 타당도를 입 증하였다. 여덟째, SEM-AHP 방법에 대한 차별화된 분석을 통해 주민들이 지 표에 대한 인지도가 더 집중되어 있음을 알 수 있었다. SEM 방법에서 주민들은 지표층의 다양한 지표에 대한 인지도가 매우 집중되어 있으 며, 상위 5개 지역은 정확한 측정 계층의 장소 공간 지표에 집중되어 있었다. 전문가 점수가 지표에 더 민감한 반면, 상위 5개는 더 고르게 분포 되어 있으며 각 측정 계층의 지표가 분포되어 있었다. 1위 식물 경관 의 관상성과 2위 자연 접촉 등은 지표층에서 두 가지 방법이 다른 결 과를 보였다. 또한, 13위 신체 단련만 동일한 방식으로 정렬되고 다른 지표는 동일하지 않아 도시 주민과 전문가의 지표에 대한 민감도 및 인식이 동일하지 않음을 나타냈다. 따라서 오차 값을 고려한 후 산술 평균을 사용하여 지표를 다시 정렬했다. 아홉째, 레크레이션 매력 메커니즘 지표 단계에서는 도로 연결성 C3(0.0491), 다양한 행사장 유형 C4(0.0453), 식물 경관의 관상성 A5(0.0416)가 가장 중요했으며, 독특한 경관 소품 G1(0.0109), 특색있는 건물 G3(0.0107), 대중 교육 G4(0.0093)가 최하위로 나타났다. 도시 종 합 공원과 비교하여 도시 지역 주민을 위한 도시 유원은 더 많은 주 민의 실제 사용에 초점을 맞춰야 하며, 도시 인문에서는 도시를 홍보 하는 역할과 기타 역할을 더 많이 수행해야 한다. 최종 연구는 레크레이션 매력 메커니즘 구축의 타당성을 보여주며, 이는 향후 허베이성(河北省) 남부 지역의 도시 유원 재건 및 건설과 베이징-톈진-허베이 통합 도시 주민의 삶의 행복을 통합하여 도시 주 민의 요구에 맞는 도시 유원을 만들기 위한 기초 및 참고자료를 제공 한다.