일상, 연극과의 조우(遭遇) : 작품<그, 그녀 그리고 정부>, <벽>

이민선 동국대학교 2006 국내석사

If hand stretches such as Internet, newspaper, News, art program, a book, site of work is always in place that can touch. It is writer's role that do and make as writing that become well-set to do story that common mans skim. Work <he, she and a lover> and <wall> are work that add and conjure imagination on everyday. Saved speech more than necessity to create pole of action putting first than dialogue. Drama <he, she and a lover> focused in delicate emotion of man and woman to melodrama. A lover of title calls all man in common-law marriage and woman in common-law marriage's. If conduct striking off a name immorality or three-cornered relation rise . Appeared persons of this pole are two people. However, it can not be two people certainly. Third person appears that producing another play in climax. Couple wished to express jealousy and way of inferiority revealed on plain everyday and two faces of Su-II and Sunae through third person. su-II looks for value of life in spiritual something extra by man who pass age of forty. Could give up way by dying injunction cartoonist as is so. Artist tastes trouble of so much so that want to be caught that feel limit in own work. Reserved inclination does him to be alone. Second work drama <wall> is comedy. More than person's personality in draft that 'Medical treatment circle' setting in peculiarity create but with person who character is not play upon words of dialogue center was repeated and changed except all background and some persons . Wall ' meaning that is multiplex enemy be filled . Susceptibility, defense, desire to possess etc. Wall is same with a defensive measure done not look. Master three people of all this pole are knowing unskillful human relations and own death of wife. Wished to express human's image who confine own in wall done not look. After have read drama of O'Nell, Eugene Gladstone and Pinter, Harold inside wanted to write rich writing. Gruel that writer's work consists on the desk was same with person's everyday experience. Wanted to blow breath. Awake in sleep that princess of slept forest is long and character desired to revive. Step adverse situation like royal prince to get life and need something to stand up. It was 'Dream' justly. Dong-u of <wall> may be image that come from this writer's slackness with Su-II of <he, she and a lover>. Wanted to be harmful like Sunae of <he, she and a lover>, and is amorous like Jane, and is lively like nurse of <wall>.Person may be reflecting writer's mind. Couple, and man and woman of secret .It looked like persuasive that can stimulate instigation that want to look furtively. Play that writer thinks is secret art that enable peep that is human's inside mind, and person is a person who show situation through action. Drama is basis for play and pillar. Actor is not doll that recite dialogue being fixed over the stage. Spectator sees alive human and feel vitality and get emotion and interest.

위험 임박성이 사회불안에 미치는 영향 : 주의편향과 해석편향의 매개효과

이민선 계명대학교 2020 국내석사

본 연구는 위험 임박성과 사회불안의 관계에서 주의편향과 해석편향이 매개효과를 가지는지 검증하고자 하였다. 연구대상은 대구·경북권 대학에 재학 및 휴학 중인 만 18세 이상의 성인 103명이었다. 측정도구는 위험 임박성 수준을 측정하기 위해 부적응적 위험 임박성 척도, 사회불안의 정도를 측정하기 위해 Liebowitz 사회불안 척도, 주의편향 측정치를 산출하기 위해 혐오 및 행복 얼굴 자극을 사용한 탐침 탐사 과제, 해석편향 측정치를 산출하기 위해 스크램블 문장 과제를 사용하였다. 자료는 SPSS 22.0과 SPSS Macro model 4번과 6번을 사용하여 분석하였다. 본 연구의 결과를 요약하면 다음과 같다. 첫째, 혐오자극에 대한 주의편향은 위험 임박성과 사회불안의 관계를 매개하지 않는 것으로 나타났다. 둘째, 행복자극에 대한 주의편향도 위험 임박성과 사회불안의 관계를 매개하지 않은 것으로 나타났다. 셋째, 해석편향은 위험 임박성과 사회불안의 관계를 부분 매개하는 것으로 나타났다. 넷째, 위험 임박성과 사회불안의 관계에서 혐오 및 행복자극에 대한 주의편향과 해석편향은 순차적으로 매개하지 않는다는 사실이 확인되었다. 이를 통해 본 연구는 불안에 대한 인지적 취약성 요인인 위험 임박성이 모호한 상황을 부정적으로 해석하는 경향성에 영향을 미쳐 사회불안 증상을 증가시킬 수 있다는 경로를 확인하였다는 점에서 의의가 있다. 마지막으로, 본 연구의 한계점과 후속연구를 위한 제언이 논의되었다. The purpose of this study was to examine the mediating effects of attention bias and interpretive bias on the relationship between looming maladaptive style(LMS) and social anxiety. Participants were 103 adults aged over 18 who are lived in Daegu and Kyungpook area. This study used the Looming Maladaptive Style Questionnaire-Revisd(LMSQ-R) to measure level of LMS, the Liebowitz Social Anxiety Scale(LSAS) to measure social anxiety, the dot probe task using disgust and happy face stimuli to measure attention bias, and the scrambled sentence task to measure interpretation bias. The data was analyzed using the SPSS 22.0 and the SPSS Macro(model 4 and 6). The results in the study are summarized as follows. First, the relation between LMS and social anxiety is not mediated by attention bias of disgust stimuli. Second, the relation between LMS and social anxiety is not mediated by attention bias of happy stimuli. Third, the relation between LMS and social anxiety is partially mediated by interpretation bias. Fourth, the relationship between LMS and social anxiety is not sequentially mediated by attention bias(disgust/happy stimuli). The findings suggest that LMS, a cognitive style that functions as a danger schema to produce specific vulnerability to anxiety, has identified the path to increasing social anxiety by influencing the tendency to interpret the ambiguous situation negatively. Finally, the limitations of the study are discussed along with suggestions for further research.

리스트(Franz Liszt)의 「스페인 랩소디(Rhapsodie espagnole)」에 관한 분석연구

이민선 목원대학교 대학원 2013 국내석사

본 논문은 프란츠 리스트(1811∼1886)의 스페인 랩소디를 다루고자 한다. 첫 번째, 19세기 낭만주의와 민족주의 음악의 특징에 대해서 다루었다. 두 번째, 리스트의 생애와 피아노 작품, 그리고 그의 음악적 특성을 제시할 것이다. 세 번째, 랩소디 음악의 특징과 변천과정을 밝혔다. 네 번째, 스페인 랩소디의 악곡 분석을 통해 작품 속에 녹아있는 스페인 민속음악의 특색과 작곡가의 독창적 작곡기법을 밝혀 작품을 분석할 것이다. 19세기에는 인간의 개성과 주관적 감정을 중시하는 낭만주의와 이에 영향을 받아 각 민족의 정치, 사회적 유대를 나타낸 민족주의 음악이 나타났다. 리스트는 19세기의 비르투오소 피아니스트이자 당대의 대표적 작곡가이다. 그는 피아노 테크닉에 대한 많은 연구를 하였다. 특히 주제변형기법을 사용하여 관현악음향을 보여주면서 다양성과 통일성을 동시에 추구하였다. 또한 폭넓고 다양한 음색과 음향의 표현을 위해 양손의 글리산도, 이중트릴, 반음계적으로 진행하는 옥타브 등 다양한 기법을 사용했다. 랩소디는 민족주의의 음악적 특색이 잘 반영된 음악 장르이다. 민속 선율, 민속 악기, 춤이 작품에 인용되거나 민족성을 가진 문학이나 민요, 역사, 생활이 소재로 사용되었다. 리스트는 19곡의 <헝가리 랩소디>와 1곡의 <스페인 랩소디>를 남겼다. 그는 집시음악을 처음으로 본인 곡에 적용시켰으며, 집시들의 애환과 열정적인 분위기를 라산과 프리스카로 대조시켜 차르다시형식을 사용 하였다. <스페인 랩소디>는 스페인의 민속춤곡인 폴리아(Follia)와 호타 아라고네사(Jota Aragonese)를 기본으로 하여 작곡되었다. 스페인 민속춤곡 특유의 선율과 생동감 있는 경쾌한 민속리듬, 민속화성, 스페인 민속 춤곡에서 연주되는 캐스터네츠와 탬버린의 음색이 피아노로 잘 표현되어있다. 이러한 민속 음악의 특징들이 리스트의 독특한 작곡기법과 조화를 이루고 있다. 주제 변형 기법, 조성과 빠르기의 변화, 기교적인 진행으로 화려함을 더하였다. 양손의 옥타브 스케일과 3도 6도 간격으로 빠르게 진행하는 반음계 스케일이 사용되었고, 길게 끄는 트릴과 트레몰로, 이중트릴, 옥타브의 도약, 그리고 반 진행으로 빠르게 연주되는 도약 기법들이 나타나 있다. 본 분석연구를 통해 알 수 있듯이 <스페인 랩소디>는 리스트의 다양하고 화려한 기교가 사용된 테크니컬한 작품이며, 민족주의의 영향을 받아 스페인 민속 특징이 잘 나타나 있는 작품이다. 이 작품은 랩소디 장르뿐만 아니라 다양한 작곡기법에 많은 영향을 끼쳤다. 특히 피아노 성격 소품에 국한되었던 랩소디가 점차 큰 규모의 다양한 악기를 위한 장르로 발전하는데 이바지하였다. 향후 리스트의 랩소디 작품에 대해 깊이 있는 이해를 위해서 <헝가리 랩소디>와 <스페인 랩소디>의 비교 분석 연구가 필요할 것이라 생각된다. 이렇듯 <스페인 랩소디>의 작곡배경과 악곡분석을 통해 리스트음악을 연주하는데에 보다 정확한 곡의 이해와 더 나은 연주해석을 의해 의의를 둔다.

컴퓨터 네트워크를 활용한 협동학습 모형의 구현 및 실험

이민선 아주대학교 교육대학원 2000 국내석사

컴퓨터 네트워크 기술의 급속한 발달은 교육에도 많은 변화를 가져왔다. 컴퓨터 네트워크와 교육의 결합에 있어서 가장 큰 강점은 시공간적 차이를 뛰어넘어 교수자와 학습자, 학습자와 학습자간의 상호 작용이 가능하다는 것이다. 때문에 많은 교육 프로그램들의 형태가 나타났는데 사이버 교실이나 온라인 강좌 등이 이러한 형태의 유형이라 할 수 있다. 한편 교육의 형태 중 협동학습의 유형은 자연스러운 지적 능력이 긍정적인 학문으로 향상되고 사회적인 변화에 올바르게 적응할 수 있는 교육 과정을 강조한다. 따라서 이러한 네트워크 환경에 협동학습이라는 유형을 적용하여 학습자들의 학업에 대한 흥미나 성취도에 영향을 줄 수 있는 교수학습 체제의 필요성이 제기되었다. 본 연구에서는 컴퓨터 네트워크 활용 협동학습 체제를 구축하기 위하여 컴퓨터 활용 협동학습 모형을 근간으로 하여 본 수업에 적용하여 구현하였다. 이를 위하여 첫째, 문헌 연구를 통하여 학습자간 상호작용을 촉진시킬 수 있는 효율적인 협동학습체제에 대한 이론과 모형을 분석하였으며, 둘째, 이를 바탕으로 컴퓨터 네트워크 환경에서 협동학습이 이루어질 수 있도록 협동학습 모형을 구현하였다. 그리고 이 모형의 타당도를 검증하기 위하여 본교 학생들을 대상으로 컴퓨터 네트워크상에서 수업이 이루어지지만 협동학습 모형을 적용하지 않은 학생들과 협동학습 모형을 적용한 학생들간을 대상으로 실험연구를 수행하였으며, 실시후 이들을 대상으로 보고서 자료의 검사와 실시간 실기 평가 검사, 설문 조사를 실시하였다. 연구결과를 요약하면 다음과 같다. 첫째, 학습 과정을 살펴보면 학습자들은 교수 학습 기간동안 컴퓨터 네트워크로 교수자와 학습자 또는 학습자와 학습 자간의 상호착용을 하면서 자신의 교수학습 진행과정에 맞추어 학습을 진행하였다. 따라서 흥미를 느끼거나 이해가 안가는 부분을 여러번 반복 시도해볼 수 있으므로 학업성취에 도움이 많이 되었다. 둘째, 제출된 보고서 분석과 실시간 실기 평가를 분석한 결과를 살펴보면 교수자와 학습자간, 학습자와 학습자간의 컴퓨터 네트워크를 활용한 상호작용이 학업성취도 향상에 좋은 결과를 가져왔다. 많은 학습자들이 매체를 사용하여 상호작용을 할 수 있다는 것에 매우 흥미를 느꼈으며 무언가를 스스로 깨닫고 만들어 나가는 과정을 만족해 했다. 셋째, 학습자 반응 분석 결과, 학습자들이 학습 프로그램에 대해 대체로 긍정적인 반응을 가졌으며, 컴퓨터 네트워크에 학습에 대하여 호기심 및 흥미도에 좋은 반응을 보였다.

잡지 『여원』에 나타난 여성 이미지 연구 : 표지화를 중심으로

이민선 홍익대학교 대학원 2015 국내석사

과제수행에 따른 ADHD 아동과 일반아동의 혼잣말 특성

이민선 단국대학교 대학원 2010 국내석사

ADHD 아동은 과제수행 시 일반아동에 비해 혼잣말의 양이 많으며, 혼잣말의 기간 또한 오래 이어지는 모습을 보이는 경우가 많다. 따라서 본 연구에서는 ADHD 아동과 일반아동을 대상으로 혼잣말 사용빈도와 유형, 내용에 대한 조사와 비교를 통해, ADHD 아동의 자기-통제결여가 혼잣말의 발달과 어떤 관련이 있는지 알아보는 데 그 목적이 있다. 연구대상은 서울에 소재한 소아정신과에 다니는 만 6세의 ADHD 아동 10명과 일반아동 10명이다. 실험은 지각과제인 모양 맞추기 과제를 수행하는 동안에 나타나는 혼잣말을 표집하여 분석하였다. 연구결과는 ADHD 아동과 일반아동의 혼잣말의 빈도, 유형, 내용범주의 차이를 알아보기 위해 ADHD집단과 일반아동 집단으로 구분하였다. SPSS 12.0 통계패키지를 이용하여 분석하였고, 두 집단의 혼잣말 빈도의 차이를 분석하기 위해 t검증을 실시하였다. 본 연구의 결과는 다음과 같다. 첫째, 혼잣말의 그룹 간 차이를 시간당(분당) 빈도의 차이로 살펴 본 결과, ADHD 아동이 일반아동에 비해 혼잣말을 많이 사용하는 것으로 나타났다. 둘째, 혼잣말의 그룹 간 차이를 혼잣말의 유형으로 살펴 본 결과, 혼잣말의 유형 중 과제와 관련되지 않은 혼잣말과 과제와 관련된 혼잣말에서는 그룹 간 유의미한 차이를 보였으나 부분 내면화된 혼잣말에서는 그룹 간 유의미한 차이를 보이지 않았다. 셋째, 혼잣말의 그룹 간 차이를 내용범주와 내용분석으로 살펴본 결과, 혼잣말의 내용범주에서는 과제와 관련 없는 정서표현과 관련 없는 것은 두 집단 모두 나타나지 않았으며, 계획과 목표를 표현하기는 일반아동 집단에서만 나타나지 않았다. ADHD 아동과 일반아동 간의 혼잣말 내용은 설명하기, 계획과 목표를 표현하기, 과제에 관해 자신에게 질문과 대답하기, 과제와 관련된 정서표현에서 유의미한 차이가 나타났으며, 알아들을 수 없는 중얼거림과 입술과 혀 움직임에서는 유의미한 차이가 나타나지 않았다. 또한 혼잣말의 내용분석에서는 내용유형별 평균발화길이는 유사한 수준으로 나타났으며, 구문분석 결과 역시 유사한 수준의 문장형태를 사용하고 있는 것으로 나타났다. 결과적으로, ADHD 아동의 경우 자기-통제결여가 혼잣말의 발달을 지연시키고 있는 것으로 확인되었다. ADHD 아동의 혼잣말은 외현화된 혼잣말이 일반아동에 비해 오래 이어짐으로써 내면화가 지연되거나 외현화된 혼잣말이 내면화된 혼잣말과 함께 사용되고 있음을 알 수 있었다. 그러므로 ADHD 아동의 혼잣말의 내면화를 위한 Self-instruction프로그램의 활용이 필요할 것으로 보인다. Children with ADHD produce more private speech than normal children during task performance, and it's likely to continue for a long time. The purpose of this study is not only investigate ADHD children's relationship between lack of self control and development of private speech, from investigation and comparing of private speech frequency in use, type, contents to children with ADHD and normal children. The subjects are 10 6 year-old children with ADHD who are taking psychology pediatric in Seoul and 10 normal children. The test analyzed sample of private speech while perceptual task was shape assembling task performance. The result of study segmented children with ADHD and normal children to know frequency of private speech, type, and content category. It analysed by using SPSS 12.0 statistics package, and from T-test to analyse private speech frequency in use to two groups' difference. The results of study were as follow. First, private speech frequency in a minute between children with ADHD and normal children has shown significantly difference. Second, the type has shown significantly difference between task-irrelevant private speech and task-relevant private speech, and partial internalization private speech hasn't shown significantly difference. Third, the result of group difference of private speech by content category and content analysis, the content category of private speech hasn't shown task-irrelevant emotion expression at two groups, and only normal children group hasn't shown expression of plan and target. Private speech contents between ADHD children and normal children has shown significantly difference in explanation, expression of plan and target, task relevant question and answer by self, emotion expression. It's not shown significantly difference in unvoiced mumble and moving of lips, tongue. Also, content analysis of private speech has shown similar level of content type MLU, and the result of order analysis has shown similar level of content type, as well. In conclusion, children with ADHD indicated lack of self-control make delay of private speech's development. Since private speech of ADHD children is more remaining than externalized private speech of normal children, internalization delayed or externalized private speech worked with internalized private speech. So practical use of self-instruction program requires in order to use ADHD childrens' internalized private speech.

핵심역량 강화를 위한 중학교 합창 교육 프로그램 모형 연구 : 자율적 협동학습(Co-op Co-op) 모형을 적용하여

이민선 연세대학교 교육대학원 2022 국내석사

Compared to the previous curriculum, the revised National Curriculum of 2015 maintains the basic vision of an educated person, but directs emphasis in the core competencies in music by adding the Characters section. Jang (2019) points out that music teachers are not fully aware of the exact meaning of the subject competencies presented in the curriculum and that there is a lack of materials or information to refer to in class. To address these problems, she proposes to arrange practical measures such as designing a music subject competency-oriented class and developing an evaluation tool linked to it. She also mentions that music as a subject is not helpful for students in college admission and that the textbooks are not provided as obstacles to successful differentiation between the newly proposed music subject competency class under National Curriculum of 2015 and the existing music class. Yang (2017) argues that despite having conducted several studies on the meaning and application of the competencies presented in the curriculum, the lack of discussion on the relationship between the newly proposed music subject competencies and the core competencies necessitates exploration of possibilities on understanding and applying the relationship among core competencies and subject competencies, teaching/learning contents and activities. Cho and Jung (2020) mentions the need to provide an environment that helps students achieve the direction pursued by the curriculum in the classroom by developing and distributing guides or textbooks for differentiated music subject competency teaching, learning and evaluation. Based on this, this study aims to develop an educational program to strengthen core competencies through choral singing, which is the most frequently used activity in the field of public education music instruction. To this end, an autonomous cooperative learning model was applied to maximize individual roles and competencies in the large-scale community activities of school music classes and to encourage independent in-class participation. In addition, practical measures that music teachers can utilize were attempted, such as various teaching and learning activities with consideration of music subject competency along with suggestions of class design and related evaluation tools. This study was targeted at the second year students in middle school. It developed and utilized multilingual online chorus activity, a genre of choral music unexplored by previous studies. The activity included sign language chorus, online chorus, and translating the Korean lyrics to foreign languages, thus enhancing the multifaceted musical experience of the students while remaining in the familiarity of choral activities. Lee Jeok's “Natural Things” (Dangyeonhan Geot-deul) was selected as the song for this program. It has a range that does not overwhelm the various musical expression activities experienced over a total of 5 lessons, and has the lyrics that reflect the current events that allow students to relate and discuss. Taking advantage of the characteristics of the song originally sung by a single person, the program was designed to create a novel and unique video work by freely presenting creative opinions with a structure of solo-unison singing rather than traditional division of voices. The ultimate purpose of the study lies in enhancing specifically the 'musical creativity and convergence thinking competency' and 'music information processing competency' among the music subject competencies. In addition, students are expected to experience singing and performing the song in sign language, with translated lyrics, in an online setting. They are to work together in groups to finish a choral work in the new genre of multilingual online chorus activity. Based on this, students will be able to enhance their core competencies and check the results of their experiences autonomously, thus improving their problem-solving abilities in real life while enjoying the music experiences in the learning process. 2015 개정 교육과정은 이전의 교육과정과 비교하여 기본적인 교육 목표와 인간상을 유지하지만 성격항을 다시 신설하여 ‘음악과의 역량’을 명시하는 개정 방향을 갖고 있다. 장근주(2019)는 2015 개정 교육과정에서 제시하고 있는 핵심역량과 교과 역량들의 정확한 의미를 음악 교사들이 충분히 인지하지 못하고 있음과 수업에 참고할 자료나 정보가 부족함을 지적하였다. 이러한 문제점 인식과 함께 음악교과 역량을 중심으로 한 수업 설계 및 연계된 평가도구의 개발과 같은 실질적인 방안 마련을 제안하였다. 또한 음악 교과가 진학에 도움이 안 되는 점과 교재가 지원되지 않아 음악 교과 역량 수업과 기존의 음악 수업의 차별화를 이루지 못함을 이야기 하였다. 양종모(2017)는 그 동안 교육과정에서 제시하는 역량의 의미와 적용에 대한 여러 연구가 진행되었지만 새롭게 제시된 음악 교과 역량이 핵심역량과 어떤 관계를 맺고 있는지에 대한 논의가 부족하며 핵심역량과 교과 역량, 교수·학습 내용과 활동 간의 관계를 이해하고 실제 적용할 수 있는 가능성의 탐색이 필요하다고 주장하였다. 조혜영과 정주연(2020)은 차별화된 음악 교과 역량 교수학습과 평가에 대한 지도안이나 교재가 개발되고 보급되어 교육과정이 추구하는 방향성을 수업 현장에서 이룰 수 있도록 돕는 환경 제공의 필요성에 대해 언급하였다. 이를 근거로 본 연구에서는 공교육 음악 지도 현장에서 가장 많이 활용되는 활동 방식인 합창으로 핵심역량 강화를 위한 교육 프로그램을 개발하고자 하였다. 이를 위해 다수의 인원으로 진행되는 학교 음악 수업의 공동체 활동에서 개인의 역할과 역량을 극대화 하며 자주적으로 수업에 참여할 수 있도록 이끌기 위하여 자율적 협동 학습 모형을 적용하였다. 또한 음악 교사들이 활용할 수 있는 음악 교과 역량을 고려한 교수학습 활동의 다양한 사례 제시와 음악 교과 역량 중심 수업 설계 및 연계된 다양한 평가도구 제시로 실질적인 방안을 마련하고자 하였다. 중학교 2학년을 학습 대상으로 삼은 본 연구에서는 선행 연구에서 다루어지지 않았던 합창의 장르인 ‘다중 언어 랜선 합창’ 활동을 새롭게 개발하여 수어 합창과 랜선 합창, 가사를 외국어로 직접 번역하여 부르는 합창까지 합창의 친숙함을 활용하여 학생들이 다면적인 음악적 경험을 할 수 있도록 연구하였다. 제재곡으로 선정한 이적의 <당연한 것들>은 총 5차시에 걸쳐 경험하는 다양한 음악 표현 활동에 무리가 가지 않는 음역대를 가지고 있으며 시대적 상황을 반영하여 학생들이 친숙하게 음악을 느끼고 공감대를 형성하며 이야기 나눌 수 있는 가사를 담고 있다. 기존에 독창 형식을 가지고 있던 가요의 특징을 살려 성부의 분할이 아닌 독창-제창의 구조를 가져 창의적인 의견 제시를 통해 참신한 영상 작품을 만들 수 있도록 설계하였다. 본 연구는 음악 교과 역량 중 ‘음악적 창의·융합 사고 역량’과 ‘음악정보처리 역량’이 중점적으로 증진되고, 자율적 협동 학습 모형을 적용한 ‘다중 언어 랜선 합창’이라는 새로운 장르에서 수어와 랜선, 외국어로 번역한 가사로 부르는 합창을 경험하며 모둠원들과 함께 하나의 작품으로 완성하는데 궁극적인 목표를 두고 있다. 이를 바탕으로 핵심역량들을 함양하고 함양된 결과에 대해 학습자 스스로 확인하여 학습 과정에서 경험한 음악을 즐기며 실생활에서 활용할 수 있는 다양한 문제 해결력이 향상되길 바란다.

NF3/NH3 remote plasma를 이용한 건식 세정 반응 연구 및 응용

이민선 연세대학교 대학원 2015 국내석사

As the pattern size of the semiconductor continues to decrease under the 10nm, chemical dry cleaning process technique using NF3 and hydrogen-containing gas, such as H2 and NH3, has been well studied for the removal of SiO2 layer in name of chemical oxide removal(COR) or native oxide removal (NOR). In this paper, we have investigated the NF3/NH3 plasma dry cleaning mechanism and cleaning efficiencies. The SiO2 layer etching mechanism by NF3/NH3 plasma process was revealed as follows: The reaction of NF3/NH3 gas with SiO2 generated ammonium hexafluorosilicate (NF4)2SiF6 as a byproduct. And then, the compound is readily vaporized by sample annealing at 180 oC. And we have found that the NF3/NH3 dry cleaning has high etch rate and high selectivity (SiO2/Si3N4) with 1:2 (NF3/NH3) gas ratio at 70W of plasma power. In general, SiO2 dry cleaning technique was mainly used for high aspect ratio (HAR) trench etch and contact hole bottom clean, as an alternative to the wet cleaning technique. In this study, the novel application of NF3/NH3 dry cleaning technique was proposed by a post gate cleaning. We have found that a post-gate dry cleaning using the NF3/NH3 plasma can incorporate fluorine into HfO2 and reduce the interfacial SiOx layer without any significant degradation in the electrical properties. Moreover, the fluorinated HfO2 gate stack with a monolayer-thin interfacial layer showed the better electrical properties in terms of gate leakage current and EOT compared to the non-cleaned HfO2 gate stack. Although the further study should be done to understand the mechanism, we suggest that the interfacial layer of HfO2 gate stack can be controlled using the novel NF3/NH3 dry cleaning process technique. 본 논문은, 반도체 소자의 고 집적화에 대응하기 위한 고효울, 고선택비를 가지는 NF3/NH3 gas를 이용한 플라즈마 건식 세정 기술에 관한 것이다. 일반적인 습식 세정 공정은 미세 패턴의 종횡비가 증가하면서 표면에 고르게 세정액이 침투되지 않아 세정력이 감소되고, 세정액의 표면 장력에 의한 패턴 무너짐 등의 큰 문제점이 있다. 그리고 미세 패턴에서 습식 세정 공정의 한계와 낮은 선택비, 그 외에도 환경오염 및 비용증가와 같은 습식 세정의 단점들로 인하여 건식 세정에 대한 관심과 연구 개발이 급격하게 증가, 활용되고 있다. 건식 세정 공정 중, 플라즈마 건식 세정 법은 플라즈마를 이용하여 반응물을 활성화 시켜, 반응물과 기판의 화학적 또는 물리적 반응을 이용하여 세정한다. 이런 건식 세정은 고 선택비를 가지고 저온 공정이 유리하다는 장점이 있다. 하지만 건식 플라즈마 세정 공정 시 플라즈마 에너지가 기판을 식각 하면서 표면을 거칠게 만들거나, 플라즈마에 의해 활성화된 원소가 기판 표면에 흡착 하거나 침투하여 결함을 야기 시킬 수 있는 단점이 있다. 본 연구에서는, 건식 세정 반응 시 기판 표면에 박막 형태의 by-product를 형성하여 플라즈마에 의해 활성화된 입자로 인한 물리적, 전기적 손상을 최소화하고, 고 선택비를 확보하기 위하여 NF3와 NH3를 반응가스로 사용하였다. 그리고 기판 표면의 손상이 적도록 플라즈마로 여기된 반응가스를 안정화시켜 기판의 반응 표면에 전달하는 간접 플라즈마(Remote Plasma) 방식을 채택하여 연구하였다. NF3/NH3 플라즈마 건식 세정 기구는 반응(Reaction)단계와 어닐(Anneal)단계로 나누며, 각각의 단계에서의 화학 반응식은 아래와 같다. SiO2(s) + 2NF3(g) + 4NH3(g) → (NH4)2SiF6(s) + 2H2O(g) +2N2(g) (반응단계) (NH4)2SiF6(s) → SiF4(g)+ 2NH3(g) +2HF(g) (어닐 단계) 반응단계에서 생성되는 (NH4)2SiF6는 기판 표면에 고체상으로 존재 하고, 어닐(180℃) 단계에서 기화 되어 제거 된다. 이때 SiO2의 제거 반응에 주로 참여하는 것은 HF2- ion으로 NF3/NH3 gas가 플라즈마 상태에서 이온화 되고, 이온화의 정도는 NF3/NH3 gas의 비율과 plasma power에 의해서 달라지게 된다. 본 연구 결과에서는 NF3/NH3 gas의 비율이 1:2 이고 plasma power가 높을수록 이온화 밀도가 높아, SiO2의 제거율이 높은 것으로 나타났다. 그리고 NF3/NH3 gas의 비율에 따라, 공정 진행 후 기판 표면의 거칠기가 달라졌다. NF3/NH3 gas의 비율 1:2 조건에서의 기판 표면 거칠기의 변화는 없었으나, 1:1 조건에서는 거칠기가 30% 이내로 증가 하였으며, 이것은 SiO2의 제거 반응에 주로 참여하는 HF2- ion 과 다른 ion (HF, F 등)의 생성 비율이 NF3:NH3 gas 비율에 따라 달라지고 각각의 ion이 다른 mechanism으로 SiO2 제거 반응이 이루어지기 때문인 것으로 판단된다. 또한 Si3N4 막질과 SiO2 막질과의 선택비도 이들 ion의 생성 비율과 관계가 있는 것으로 나타났다. HF2- ion 이 가장 많이 생성되는 NF3/NH3 gas의 비율 1:2 조건에서 선택비(12) 1:1 비율 조건(6)보다 높았다. 따라서 NF3/NH3 gas의 비율이 1:2이고 plasma power가 70W 일 때, 높은 식각률과 고 선택비, 저 손상의 세정 효율을 얻을 수 있었다. 건식세정 시에 사용 되는 NF3 gas에 기인한, SiO2 제거 반응에 관여하는 F 원자는 전기음성도가 거 Si Wafer 표면에 잘 흡착 된다. 특히 DHF를 사용한 습식 세정에서는 wafer 표면이 Si-H로 종단(termination)되는 반면 건식 세정에서는 F으로 종단되는 비율이 높다. 이렇게 세정 후 표면에 남는 불소(F)은 기판 표면을 친수성으로 만들고, 전기음성도가 커 다른 오염물들을 잘 흡착 하게해 계면특성을 저하시켜 소자의 quality를 저하 시키는 원인이 될 수 있다. 본 연구에서 건식 세정 후 표면에 잔류하는 불소(F)를 제거 할 수 있는 방법으로, 건식 세정 후 post treatment로 H2 anneal과 O2 plasma를 제시하였다. 그리고 NF3/NH3 플라즈마 건식 세정을 HfO2 게이트 스택(gate stack)의 후속 cleaning 공정에 응용하여, HfO2 gate stack의 화학적, 물리적, 전기적 특성을 확인하였다. 건식 세정 후 HfO2 박막의 화학적으로 중대한 변화는 없었으며, Si wafer와 HfO2 박막 사이에 계면 층 (Interface Layer, SiO2)이 감소하였고, EOT와 leakage current의 전기적 측면에서 소폭 향상된 결과를 얻었다. 그러나 본 연구에서 사용한 NF3/NH3 플라즈마 건식 세정조건은 HfO2 게이트 스택(gate stack)에 최적화된 조건이라고 할 수는 없으며, HfO2 박막에서의 NF3/NH3 플라즈마 건식 세정 mechanism을 규명하기 위한 후속 연구가 더 필요할 것으로 보인다. 따라서, 본 연구에서는 NF3/NH3 플라즈마 건식 세정 반응 mechanism을 제시하였고, 이를 통하여 고효율/고선택비를 가지며, 표면 손상이 없는 공정 조건을 제시하였다. 그리고 이것을 이용하여 HfO2 gate stack의 후속 cleaning 공정에 응용하여 HfO2 gate stack의 전기적인 특성 저하 없이 F defect passivation과 계면 층(Interfacial Layer) 제거의 가능성을 보여주었다. 향후 HfO2 gate stack의 후속 cleaning 공정 최적화를 통해, 물리적 화학적 전기적으로 향상된 HfO2 gate stack의 성능을 기대할 수 있을 것으로 보인다.

기능에 기초한 한국어 문법 교수 방안 연구

이민선 연세대학교 교육대학원 2004 국내석사

This study considers a teaching scheme for Korean grammar based on the concept of function by addressing how elements of grammar are utilized during real language use. In this case, the research focuses on sentence endings and their relationship to the intention of an utterance as directed by the speaker toward the listener during language use. This research was undertaken due to existing problems in the failure of language learners to properly utilize sentence endings taught in the classroom in practical situations. The first chapter of this study outlines the relevance and goals of this research and gives an overview of its scope and methods, as well as presenting a review of previous related studies. In addition to form and meaning, actual language use should also be considered in the teaching of grammar. However, there is a general lack of existing research on this particular topic and so it was decided that further investigation was required. The second chapter develops an understanding of the concept of function in the teaching of Korean grammar. The chapter first considers changes in the way language is understood in the teaching of grammar. Language education is shown to have evolved, under the influence of the communicative approach, with a shift away from treating the function of language as what one can do with language and toward an understanding that emphasizes communicative function. Through the study of textbooks for learning Korean, the nature of items labeled as `function'' was determined. In this process, it was discovered that the idea of `function'' in the textbooks contained the three concepts of grammar content, task and function mixed together, and so it is proposed in this study that each should be isolated and addressed separately. Thus function is defined as the intention of an utterance as directed toward the listener when the utterance is made by the speaker. The characteristics of function in its relationship with grammar, linguistic form and task are then considered. One essential aspect of language is that a certain element of grammar, in addition to meaning, can have a large range of functions according to the conditions and situation of the discourse context. Based on this idea, the functions of different sentence endings are then classified according to type. The third chapter analyses the functions of grammatical elements and presents specific examples. The analysis of function focuses on some specific sentence endings using actual examples of speech from the daily conversations of native speakers in order to determine how the concept of function and its characteristics appear in the Korean language. It was found that the fundamental meaning of a grammatical element changes according to the different functions it can have in the various conditions and situations of the discourse context. The fourth chapter presents a proposed teaching method for sentence endings based on an understanding of function as derived from the research presented in the second and third chapters. By using the concept of function, errors related to meaning can be reduced. This means a learner, through language education, can achieve a level of ability beyond that of just passive comprehension that allows taught expressions to be put to active use. A method utilizing the idea of function for teaching students during the different stages of a lesson is thus outlined, along with a teaching model with example grammatical elements. The fifth chapter presents a summary of this study while also considering its significance and limitations. The chapter also outlines possible directions for further research into the utilization of the concept of function. 본 연구는 문법 항목이 실제 언어사용에서 어떻게 쓰이는가 하는 ‘기능’에 관한 것으로, 기능에 기초한 한국어 문법 교수 방안을 연구하는 데에 그 목적을 두고 있다. 이를 위해 언어사용에서 말하는 이의 듣는 이에 대한 발화 의도와 관계가 있는 종결표현을 그 연구 대상으로 삼았다. 본 연구는 한국어 교육 현장에서 교수되는 종결표현을 학습자들이 실제 사용에 있어 상황적으로 적절하고 의미적으로 명료하게 사용하지 못하고 있다는 문제점에 대한 반성으로부터 기인된 것이다. Ⅰ장에서는 본 연구의 필요성과 연구의 목적을 밝히고 선행 연구를 검토하였으며 연구 범위 및 방법을 기술하였다. 문법 교육을 할 때 형태․의미 교육 이외에 실제 언어사용을 고려해야 한다는 데에 대한 구체적인 선행 연구가 부족하였다는 것을 살펴보았으며 실제 언어사용을 고려한 문법 교육이 필요함을 밝혔다. Ⅱ장에서는 한국어 문법 교수에 있어서의 기능에 대한 연구를 하였다. 먼저 언어교수법에 있어 언어를 보는 관점이 어떻게 바뀌어갔는지를 살펴보았다. 이로써 언어가 어떤 영역의 일을 가능하게 하는가 하는 언어의 기능을 다루던 관점이, 의사소통적 접근법의 영향을 받으면서 언어가 곧 의사소통이라는 의사소통 기능을 중시하는 관점으로 옮겨가면서 언어교육을 발전시켜 나갔다는 것을 고찰하였다. 한국어 교육에 있어서는 교재 분석을 통하여 기능으로 설정되어 있는 항목의 성격을 살펴보았다. 그 과정에서 문법 내용, 과제, 기능의 세 가지 개념이 기존 교재의 기능에 혼재되어 있음을 지적하고 각각의 개념을 분리시켜야 한다는 것을 제안하였다. ‘기능’에 대하여 화자가 발화할 때 청자에게 가지는 발화 의도라고 정의하고 기능의 특징을 문법, 언어형식, 과제와의 관계 속에서 논의하였다. 또한 담화 상황의 조건과 환경에 따라 문법 항목이 의미 이외의 다양한 기능을 갖게 된다는 언어의 본질적인 측면을 살펴보고 한국어 종결표현이 가진 기능을 유형별로 범주화하여 분류하는 시도를 하였다. Ⅲ장에서는 특정 문법 항목의 기능을 분석하여 문법 항목이 갖게 되는 기능을 실례를 통해 보였다. 기능 분석은 모어화자의 일상대화 전사자료를 활용하여 몇 가지 종결표현을 중심으로 하였다. 이는 앞장에서 논의한 기능의 개념과 특징이 한국어에서 어떻게 실현되는지 보고자 함이었다. 이러한 기능 분석을 통하여 문법 항목의 기본 의미가 실제 언어사용에서는 담화 상황으로 인하여 다양한 기능으로 확장된다는 것을 살펴볼 수 있었다. Ⅳ장에서는 Ⅱ장과 Ⅲ장에서 연구하고 분석한 내용을 바탕으로 기능에 기초한 종결표현 교수 방안을 제시하였다. 이것은 기능을 활용함으로써 학습자로 하여금 언어사용 측면에서 의미적인 오류를 줄이고 또한 이해 수준의 언어교육 차원을 넘어서 표현 언어로 사용할 수 있게 하기 위한 것이다. 이를 위하여 수업의 각 단계에서 기능을 어떻게 활용해야 하는가 하는 교수 방안을 제시하였으며 특정 문법 항목을 예로 들어 수업 모형을 제시하였다. Ⅴ장에서는 본 연구의 내용을 정리하고, 연구에 있어서의 제한점과 의의를 밝히며 기능을 활용한 후속 연구를 위한 제언을 덧붙였다.

서울 지역 박물관 활동지 분석을 통한 문제점 및 개선방안 연구 : 초등학생용을 중심으로

이민선 경희대학교 교육대학원 2009 국내석사

20세기부터 박물관의 교육 기능에 대한 관심이 확산되고 체계적인 교육에 대해 연구를 확대하게 되면서 20세기 말에는 본격적으로 박물관에 수요자 중심의 큰 변화가 일어나기 시작하였다. 이로 인해 평생교육의 장인 박물관은 교육프로그램과 교육 자료에 대한 연구 개발에 힘쓰게 되었지만 교육프로그램에 대한 연구에 비해 교육 자료에 대한 연구가 부족하여 관람객들은 감상을 위한 보조 자료 활용에 어려움을 겪고 있다. 박물관의 전시 관람을 돕는 교육 자료는 현재 오디오 가이드나 설명문, 전시 안내 가이드, 정기간행물, 활동지 등으로 이루어져 있다. 이 중 활동지는 전문가 없이 박물관을 관람할 때 쉽게 이해할 수 있도록 도움을 주는 하나의 보조 자료로써 2000년대 초부터 연구 개발되고 있다. 연구 개발이 초기단계이기 때문에 아직까지 현재 그 현황에 대한 연구는 매우 부족한 실정이다. 또한 활동지의 개념과 정의에 대한 정립도 미흡한 상황이므로 현재 개발된 서울 지역의 박물관에서 사용하는 활동지의 현황을 파악하고 활동지의 개념이나 의의에 대해서도 고찰해볼 수 있는 기회를 갖고자 하였다. 또한 본 연구를 통해서 그 활용가치를 높이고 일반인들에게 활동지에 대한 인식을 넓히는 데 목적을 두었다. 2장에서는 박물관의 교육 자료인 활동지에 대해 알아보기 전에 박물관 교육의 개념과 필요성은 무엇인지에 대해 알아보았다. 또한 활동지의 개념과 필요성에 대해 조사하였고 한국박물관협회에 등록된 서울 지역 박물관 93곳에 대상연령에 관계없이 활동지가 있는지의 여부에 대해 전반적으로 조사하였다. 3장에서는 서울 지역 박물관의 초등학생용 활동지의 현황을 통해 그 유형에 따른 분류를 알아보고 기준에 따라 각 박물관의 내용을 분석하였다. 초등학생을 대상으로 한 상설전의 활동지에 한하여 10곳의 박물관을 대상으로 초등학교 저학년과 고학년용이 구분되어 개발된 사례와 공통으로 개발된 사례를 구분하여 구체적으로 알아보았다. 이를 통해 주제별 도판분석이나 내용, 문제의 유형, 분량 등에 대해 조사하고 세부적인 구성에 대해 분석하였다. 4장에서는 현재 개발되어 있는 활동지의 문제점과 개선방안에 대해 알아보았다. 문제점은 활동지라는 용어의 불일치와 개념의 불명확성 때문에 그 분류가 곤란하거나 혹은 일반인들이 다른 용어로 제작된 활동지를 찾아보기가 어렵다는 것이다. 또한 활동지에 대한 인식과 홍보가 부족하여 활동지가 무엇인지 혹은 어떻게 어디서 구해서 사용해야 하는지 모른다는 점을 들 수 있다. 초등학생들이 활동지를 활용할 때에는 무엇보다 교사와 학부모의 역할이 중요하다. 그러나 학부모와 교사용 활동지에 대한 연구개발이 턱없이 부족한 실정이다. 마지막으로 전문가들 역시 활동지에 대한 필요성 인식이 부족하여 적극적인 연구개발과 투자가 이루어지지 않은 형편이다. 이에 따른 개선방안으로는 활동지에 대한 개념과 용어를 통일하여야 한다. 또한 인식의 확대와 홍보를 활성화하며 초등학생의 경우 학부모와 교사의 도움이 필요하므로 학부모와 교사용 활동지에 대한 연구개발이 확대되어야 한다. 마지막으로 활동지에 대한 적극적인 연구개발과 재정적인 지원의 확충이 필요하다. 이와 같이 서울 지역 박물관의 활동지 현황을 통해 그 내용을 분석하고 문제점과 개선방안을 모색해보았다. 이번 연구를 통해 활동지의 용어와 개념을 명확히 하여 인식을 확산하는 계기를 마련하고자 하였다. 또한 박물관의 소장품, 전시품들을 잘 이해시키기 위해 주의를 끌만한 보조 자료로써 활동지의 연구 개발에 밑거름이 되고자 한다. As the interest on the educational function of museums and the beginning of research on systemic education were increasing in the 20th century, a sea change has happened toward customer centric operation at the end of last century. Museums, as the center of continuing education, have made an effort to develop educational programs and materials. Compared to educational programs, researchers neglect the development of educational materials resulting in visitors' inconvenience. Educational materials are in various forms such as audio guides and explanations, exhibition guides, periodical publications and work-sheets. Among these, work-sheets have been developed during the last decade as an assistance tool that helps the understanding of exhibition without the guidance of experts. Since work-sheets are at the early stage, progress on research and development is necessary. Concepts and definitions on work-sheets still vary. To summarize work-sheet' usage and conceptualization, I reviewed currently deployed work-sheets in the Seoul area. There search objects are to enhance work-sheet' usage and perception on the public. In chapter 2, concept and necessity of educational function of museums are noted before researching on work-sheets. Availability and requirements of work-sheets are surveyed on 93 museums registered in The Korean Museum Association. In chapter 3, collected work-sheets are classified into categories and analyzed within classification. A total of 10 work-sheets targeted to elementary school students are the primary source. Common work-sheets for all grade and separated work-sheets for low grade and high grade are analyzed. In a specific analysis, tablets, contents, volumes and detail structures are evaluated. In chapter 4, primary concerns are addressed, also possible alternatives are suggested. Due to terminology inconsistency and unclear conceptualization, it is difficult to classify and even get work-sheets that named in other materials. The lack of perception and promotion make the right use of work-sheets even harder. Parents and teachers’ roles are important when elementary school students utilizing work-sheets. The research is required for this use. Experts also unaware of its necessity, resulting low investment in research and development effort. The agreement on the concept and definition is an alternative. Promotion is required to increase perception. In case of elementary school student, the development of work-sheets must be extended to both teachers and parents alike. Lastly, proactive effort and financial support would be necessary. As mentioned above, this thesis analyzes the current situation of museum work-sheets in the Seoul area. Problems and alternatives are discussed. Terminologies and concepts need to be clearly defined. Contribution of this work is to enhance the research and development effort for work-sheets as useful assistance tools that can attract exhibition.