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2015년
eng
0734-2101
1520-8559
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
Journal of vacuum science & technology.A.Vacuum, surfaces, and films
041505-041505 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Influence of oxygen on characteristics of Zn(O,S) thin films deposited by RF magnetron sputtering