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예시)

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저자

Gallegos, P. ; Stillian, J. ; Rasmussen, J.
발행기관

Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference
학술지명
SEMICONDUCTOR PURE WATER AND CHEMICALS CONFERENCE
권호사항

Vol.19 No.- [2000]
발행연도
2000년
작성언어
eng
주제어

SPWCC ; semiconductor pure water ; chemicals
자료형태
학술저널
원정보자원
SEMICONDUCTOR PURE WATER AND CHEMICALS CONFERENCE
수록면
114-141 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
회의자료명
Semiconductor pure water and chemicals conference
회의명
19th
대체회의명
Nineteenth annual semiconductor pure water and chemicals conference
회의장소
Santa Clara, CA
회의날짜
2000; Mar
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