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2013년
eng
1938-5862
1938-6737
학술저널
ECS TRANSACTIONS
73-82 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
9781623320751
Chemical mechanical polishing
Symposium; 12th
Honolulu, HI
2012; Oct
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Metal Oxide Nano Film Characterization for CMP Optimization
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