전기도금 방법으로 제작한 BiTe 박막의 열전특성 = Thermoelectric Properties of Electroplated BiTe Thin Films

국문 초록 (Abstract)

전기도금 방법으로 BiTe 박막을 제작하였는데, 전해액의 조성과 도금 전압을 변화시킴으로써 BiTe의 성분비를 조절하였다. 도금 공정의 변화에 따른 BiTe 박막의 결정성, 입도 및 전기전도 특성을 조사하고 열전특성의 하나인 전력 상수를 측정하였다. 도금 박막에 대한 열처리를 통하여 박막의 입도와 결정성의 변화를 유도하였는데, 일반적으로 열처리 시간의 증가에 따라 입도는 증가하는 경향을 보였다. 다양한 BiTe 박막 중 주로 (110)의 결정성을 지닌 박막에 대하여 전력 상수를 측정한 결과 시료 양단간의 온도차가 10 $^\circ$C일 때 가장 큰 전력 상수를 나타낸다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

We fabricated BiTe thin films by using electroplating methods. The compositions of the thin films were controlled by applying different process conditions, such as the electrolyte's composition and the plating potential. We investigated variations in the cystal orientations and the grain sizes due to changes in the process parameters. We also measured the power factor of the films, which is one of the most important parameters for thermoelectric elements. We induced changes in the grain size and the crystal orientation by using high-temperature annealing. Generally, the grain sizes increased proportionally with increasing annealing time. A thin film that was mostly composed of BiTe(110) exhibited the largest power factor when the temperature difference was 10 $^\circ$C.

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