http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
https://www.riss.kr/link?id=O138511580
1991년
eng
2166-2746
2166-2754
SCIE
학술저널
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
3601-3605 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0
상세조회0
다운로드
Structural damage induced by Ga+ focused ion beam implantation in (001) Si
Criterion to judge whether the resist heating effect will occur