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      MOCVD of Cr-based coatings using Cr (NEt~2)~4 as single source precursor

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      https://www.riss.kr/link?id=O39792200

      • 저자
      • 발행기관
      • 학술지명
      • 권호사항
      • 발행연도

        1996년

      • 작성언어

        eng

      • 주제어
      • Print ISSN

        1266-0167

      • 자료형태

        학술저널

      • 원정보자원

        INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON TRENDS AND NEW APPLICATIONS IN THIN FILMS

      • 수록면

        179-181   [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]

      • 회의자료명

        Trends and new applications in thin films

      • 회의명

        International symposium; 5th

      • 회의장소

        Colmar; France

      • 회의날짜

        1996; Apr

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