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1993년
dut
0167-9317
1873-5568
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
MICROELECTRONIC ENGINEERING
139-142 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
Microcircuit engineering 93
International conference on microfabrication
Maastricht; The Netherlands
1993; Sep
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