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Montes, L. ; Xu, X. ; Bercu, B. ; Potie, A. ; Lime, F. ; Morvan, S. ; Dupont, F. ; Baron, T.
2010년
eng
Mems ; Moems ; Microsystems
학술저널
DESIGN TEST INTEGRATION AND PACKAGING OF MEMS MOEMS -CD-ROM EDITION-
2 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
Symposium on design, test, integration and packaging of MEMS/MOEMS; DTIP 2010
Seville, Spain
2010; May
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