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PI-VM을 이용한 용량 결합 Ar/SF6/O2 플라즈마에서의 전력 인가 에지 링 식각 특성 조사
김곤호, 이현주,송재민,박태준,김남균 한국반도체디스플레이기술학회 2023 p.7-12
NF3 / H2O 원거리 플라즈마 건식 세정 조건 및 SiO2 종류에 따른 식각 이방 특성
오훈정, 박세란,김규동,고대홍 한국반도체디스플레이기술학회 2023 p.26-31
홍상진, 김민호,박현근 한국반도체디스플레이기술학회 2023 p.53-58