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      Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry

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      https://www.riss.kr/link?id=O45960833

      • 저자
      • 발행기관
      • 학술지명
      • 권호사항
      • 발행연도

        2006년

      • 작성언어

        eng

      • 주제어
      • Print ISSN

        0011-4626

      • Online ISSN

        1572-9486

      • 등재정보

        SCI;SCIE;SCOPUS

      • 자료형태

        학술저널

      • 원정보자원

        CZECHOSLOVAK JOURNAL OF PHYSICS

      • 수록면

        B1103   [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]

      • 회의자료명

        Plasma physics and technology

      • 회의명

        22nd:; SYMPOSIUM

      • 회의장소

        Prague

      • 회의날짜

        2006; Jun

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