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      KCI등재 SCI SCIE SCOPUS

      Evaluation of 1/f Noise Characteristics for Si-Based Infrared Detection Materials

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      https://www.riss.kr/link?id=A103381009

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      Silicon antimony films are studied as resistors for uncooled microbolometers. We present the fabrication of silicon films and their alloy films using sputtering and plasma-enhanced chemical vapor deposition. The sputtered silicon antimony films show a low 1/f noise level compared to plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)-deposited amorphous silicon due to their very fine nanostructure. Material parameter K is controlled using the sputtering conditions to obtain a low 1/f noise. The calculation for specific detectivity assuming similar properties of silicon antimony and PECVD amorphous silicon shows that silicon antimony film demonstrates an outstanding value compared with PECVD Si film.
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      Silicon antimony films are studied as resistors for uncooled microbolometers. We present the fabrication of silicon films and their alloy films using sputtering and plasma-enhanced chemical vapor deposition. The sputtered silicon antimony films show a...

      Silicon antimony films are studied as resistors for uncooled microbolometers. We present the fabrication of silicon films and their alloy films using sputtering and plasma-enhanced chemical vapor deposition. The sputtered silicon antimony films show a low 1/f noise level compared to plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)-deposited amorphous silicon due to their very fine nanostructure. Material parameter K is controlled using the sputtering conditions to obtain a low 1/f noise. The calculation for specific detectivity assuming similar properties of silicon antimony and PECVD amorphous silicon shows that silicon antimony film demonstrates an outstanding value compared with PECVD Si film.

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      참고문헌 (Reference)

      1 P.W. Kruse, "Uncooled Infrared Imaging Arrays and Systems" Academic Press 1997

      2 M. Garcia, "IR Bolometers Based on Amorphous Silicon Germanium Alloys" 338 : 744-748, 2004

      3 M.H. Unewisse, "Growth and Properties of Semiconductor Bolometers for Infrared Detection" 43-54, 1995

      4 W. Herschel, "Experiments on the Refrangibility of the Invisible Rays of the Sun" 90 : 284-292, 1800

      5 P.L. Richards, "Bolometers for Infrared and Millimeter Waves" 76 (76): 1-24, 1994

      1 P.W. Kruse, "Uncooled Infrared Imaging Arrays and Systems" Academic Press 1997

      2 M. Garcia, "IR Bolometers Based on Amorphous Silicon Germanium Alloys" 338 : 744-748, 2004

      3 M.H. Unewisse, "Growth and Properties of Semiconductor Bolometers for Infrared Detection" 43-54, 1995

      4 W. Herschel, "Experiments on the Refrangibility of the Invisible Rays of the Sun" 90 : 284-292, 1800

      5 P.L. Richards, "Bolometers for Infrared and Millimeter Waves" 76 (76): 1-24, 1994

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      2020-01-01 평가 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) KCI등재
      2005-09-27 학술지등록 한글명 : ETRI Journal
      외국어명 : ETRI Journal      		 KCI등재
      2003-01-01 평가 SCI 등재 (신규평가) KCI등재
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      기준연도 WOS-KCI 통합IF(2년) KCIF(2년) KCIF(3년)
      2016 0.78 0.28 0.57
      KCIF(4년) KCIF(5년) 중심성지수(3년) 즉시성지수
      0.47 0.42 0.4 0.06
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