알루미늄합금 진공용기의 기체방출 특성 = Outgassing characteristics of an aluminum-alloy vacuum chamber

국문 초록 (Abstract)

기계가공으로 제작되고 알칼리 화학세정을 거친 알루미늄합금(A5083) 진공용기에 대한 기체방출 특성을 조사하였다. 상온배기를 시작한 후 가열탈기체 처리를 하기 전 까지 배기곡선은 ~$t^{-1.15}$ 모양을 따랐다. 이 알루미늄 진공용기에 대한 배기곡선을 비교적 간단한 모델들을 사용하여 용기의 내표면에 흡착되어 있는 물의 1차 방출로 분석하였다. ~$10^{-5}-10^{-8}$Torr 압력구간에서 물분자는 ~17 - 22 kcal/mol사이의 탈리에너지 값을 가지는 몇 개의 흡착석에서 방출됨을 알 수 있었다. 한편 $100^{\circ}C$, 24 시간 가열 탈기체 처리후 알루미늄용기에 대한 기체방출률은 상온에서 ~1$\times$$10^{-13}$ Torr$\ell$/s $\textrm{cm}^2$로 측정되었다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

We measured the pumpdown curves of an A5083 vacuum chamber and analyzed the outgassing in terms of desorption energies of water. The outgassing curves follow a ~$t^{-1.15}$ behavior before bakeout, which can be described by the first-order desorption of water molecules in the oxide layer. Analysis of the curves reveals that there exist several adsorption sites on the surface for water in the pressure range of ~$10^{-5}\;-\;10^{ -8}$Torr. Measurements utilizing the throughput method show that the room temperature outgassing rate is ~1{\times}10^{-13}$ Torr $\ell$/s $\textrm{cm}^2$ after 24 - h bakeout at $100^{\circ}C$.