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2004년
eng
0161-6374
2576-1579
학술저널
PROCEEDINGS-ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV
292-311 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
1566774179
Dielectrics for nanosystems: materials science, processing, reliability, and manufacturing
1st:; International symposium; 1ST
Honolulu, HI
2004; Oct
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Dielectrics in SI Nano-Devices: Roles and Challenges
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Advanced Process Modules for Scaled ULSIs