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1995년
fre
학술저널
RECENTS PROGRES EN GENIE DES PROCEDES
7-12 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
2910239160
Genie des procedes
Congres Francais; 5
Lyons; France
1995; Sep
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Analyse Et Modelisation Du Depot LPCVD De Nitrure De Silicium A Partir De Silane Et D'ammoniac
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